Устройство для перемещения объектов

 

Союз Советова

Сощналмстичеспиз

Распубпмй

< >64о (61) Дополнительное к авт. свил-ву(22) Заявлено 03. 12.74 (21} 20837 36/25 (51} М. Кл.

Н 01 L 21/ОО. (2З} Приоритет — (32) 04.12. 73

Гасударственный немпет

СССР но делам нэабретвннй и нтхрытнй (31) m Н018/175094 (33) ГДР

Опубликовано 05.02,7 9.Бюллетень № 5 (53) УДК 621.382 (088.8) .

Дата опубликования описания 09.0 Л9 Иностранцы

Франк Рингель, Райнхард Шнрингер н Хепьга Ииммерманн

{ opÐ) (72} Авторы изобретения

: Иностранное предприятие Феб епектромат»

{1 llP) (7! } Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ОБЪЕКТОВ!

Изобретение относится к оборудованию для производства полупроводниковых приборов и может использоваться, например, в установках для точного совмещения полупроводниковых пластин и фотошаблонов прн экспонировании.

Известно устройство для перемещения объектов, содерж а щее корпус и пьезоэлектрическиене элементы в виде набора пластинок, установленных между зажимами (1j

Известно также устройство для перемещения объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические элементы в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами (2).

Оба устройства обеспечивают точные микроперемещения объектов, но диапазон перемещений мал.

Целью изобретения является увеличение диапазона перемещений.

Цель достигается тем, что в устройство для перемещения объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические элементы в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами, введены пластинчатые пружины, соединяющие, по крайней мере, один из зажимов каждого набора упругих

2 пластинок с корпусом, причем плоские поверхности пружикы расположены перпендикулярно направлению продольного изменения.размеров пластинок. По крайней мере, один зажим каждого набора упругих пластинок может быть соединен посредством пластинчатых пружин с зажимом другого набора, жестко соединенного, в свою очередь, с корпусом.

На фнг, l показано устройство с двусторонним креплением зажимов к корпусу; на

1в фиг. 2 — устройство с односторонним креплением; на фнг. 3 — схема установки устройства для перемещения объектов на фундаменте; на фиг. 4 — схема установки устройства с промежуточным приводом грубого позиционирования; на фиг. 5 — варианты устройства с последовательным соединением наборов упругих пластинок: а — при двустороннем закреплении зажимов; б — при односторонном закреплении; иа фиг. 6 — варианты устройства при параллельном соединении

2в наборов упругих пластин: а — при двустороннем закреплении зажимов; б — при односторонном закреплении.

Устройство для перемещения объектов содержит пьезоэлектрический эпемент, вы2 1 !

Фиг. г.

64

3 полнепный в виде набора пл. стинок I, зажимы 2, пружины 3, соединяющие за жимы с корпусом 4.

Элемент 5 соединяет пластинки с перемегцаемым объектом. Два наружных электрода 6 и средний электрод 7 соединяют пьезоэлектрический элемент с токоподводом 8. При подаче электрического напряжения упругие пластинки пьезоэлектрического элемента прогибаются в зависимости от полярности вверх или вниз, причем возможное перекашивание зажимов компенсируется упругим прогибом пружин.

Устройства с односторонним креплением пьезоэлектрических элементов (см. фиг. 2) обеспечивают больший диапазон перемещений, но меньшие установочные усилия по сравнению с устройствами, в которых зажимы пьезоэлектрических элементов закреплены с двух сторон.

Для перемещения объектов устройство устанавливается между подвижным объектом 9 и опорой 10 (фиг. 3). При необходимости получения большего перемещения объекта между опорой и устройством может быть установлен привод 11 грубого позиционирования (фиг. 4).

При последовательном соединении наборов упругих пластинок обеспечивается оптимальный диапазон перемещения (фиг. 5), при параллельном соединении — оптимальный диапазон установочного усилия.

Формцла изобретения

I. Устройство для перемещения объектов, содержащее корпус и пьезоэлектрические эле- менты в виде наборов упругих пластинок, скрепленных по концам зажимами, отличающееся тем, что, с целью увеличения диапазона перемещений, в него введены пластинчатые пружины, соединяющие, по крайней мере, один из зажимов каждого набора упругих пластинок с корпусом, причем плоские поверхности пружины расположены перпендикулярно направлению продольного изменения размеров пластинок.

2. Устройство по п, 1, отличающееся тем, что, по крайней мере, один зажим каждого набора упругих пластинок соединен посредством пластинчатых пружин с зажимом другого набора, жестко соединенного, в свою очередь, с корпусом.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

I. М, Horner, К. Е. Hennigs, V, D, Strah25

le, Magnetostriktiver Kreuztishe zurn

«I elnjust ieren чоп Маз реп gegenuber На!

bIeiterschei Ьеп», Messtechnik, 1969, № 10, ss. 244 — 247.

2. Глозман И. А. Пьезокерамика М., «Энергия», 1967, с. 139. °

Риг. S

Составитель Ю. цветков

Редактор Т. Орловская Техред О. Луговая Корректор В. Куприянов

Заказ 122/42 Тираж 922 подписное

0КИИПИ Государственного комитета ССС» по делам изобретениИ и открьггий

I 1 3035, Москва, Ж-35, Раушская наб.. д. 4/Ь

Филиал ППП «Патент>, г. Ужгород, ул. Проектная, 4