Сверхвысоковакуумный вентиль
(72) Автор изобретения
Г. Г. Писаренко (71) Заявитель (54) СВЕРХВЫСОКОВАКУУМНЫЙ ВЕНТИЛЬ!
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к вакуумной запорной арматуре, Известен сверхвысоковакуумный вентиж, содержащий клапан со штоком, резьбовая часть которого с. гайкой, закрепленной на корпусе, образует винтовую пару. Шток приводится во вращение через муфту ограничения крутящего момента электромеханическим приводом. Величина давления .между клапаном и седлом корпуса соэдаеч
1О ся в резьбе винтовой пары (17.
Недостатком этого вентиля является отсутствие постоянства давления, обусловленное изменением сил трения в винтовой паре.
Наиболее близок к предлагаемому изобретению сверхвакуумный вентиль, в корпу се которого расположены запорный орган со штоком, образующим винтовую пару с гайкой механизма привода, и узел созд ния усилия уплотнения, выполненный в ви де набора предварительно сжатых тареш чатых пружин, деформация которых при уплотнении создает усилие прижатия запорного органа к седлу (2).
В этом вентиле постепенный износ крс » мок тарельчатых пружин и уменьшение их начальной жесткости приводит к уменьшению допустимой величины измейения заданного уплотнения, что снижает надеж ность вентиля в работе.
Белью изобретения является увеличение срока службы и повышение надежности вентиля в работе путем обеспечения постоянства усилия уплотнения на клапане. б
Для этого узел создания усилия уплот пения выполнен механогидравлическим с рабочей средой, например, иэ гидропласта, а на гайке механизма привода установлены резьбовая втулка, кинематически связанная с гидропластом, и муфта предельного момента, срабатываюшая при закрытии запорного органа. Внутренняя поверхность втулки связана с наружной поверхностью гайки шлицевым соединением, а наружная с механизмом привода..
663939
ЦНИИПИ Заказ 2966/34
-- Тираж 1138 Подписное
На чертеже изображен описываемый вентиль, продольный разрез. =
В корпусе 1 вентиля установлены сильфонный узел 2, эапорный орган 3 со што- ком 4, узел создания усилия уплотнения, выполненный механогидравлическим с ра- .Ф бочей средой 5, например из гидропласта, поршнем 6 и плунжерами 7, Шток 4 связан с ведомым колесом 8 электромеханического привода 9 гайкой 10,образующей с ним винтовую пару и взаимодействующей своим торцом с порцнем 6. На гайке
10 установлена реэьбовая втулка 11, кинематически связанная своей торцовой поверхностью через плунжеры 7 с гидропластом 5 и имеющая по своей внутренней поверхности шлицевое соединение с гайкой 10, которая соединена с ведомым колесом 8 через муфту 12 предельного момента.
При закрытии вентиля вращения от ведомого колеса 8 электромеханического привода 9 и муфту 12 передается гайке
10, которая упирается своей торцовой частью в поршень 6, перемешает эапорный орган 3 до упора в седло корпуса 1 прекращает свое вращение при срабатыв нйй муфты 12 предельного момента, вели чина ограничения которой меньше создазе ния усилия герметизации. Ведомое колесо
8, продолжая свое вращение, вывинчивает из своей ступицы реэьбовую втулку 11, = котбрая, перемешаясь по шлицам остановившейся гайки 10, торцовой частью воздействует на плунжеры 7, создавая в гид ропласте 5 давление, передаваемое поршнем 6, гайкой 10 и штоком 4 запорному органу 3, обеспечивая этим усилие герметизации. Величина удельного контактного давления между запорным органом 3 и седлом корпуса 1 определяется по гидро9 ф
4 статическому давлению f3 гидропласте 5 датчиком давления, служащим для измор»нйя давления и остановки привода. При открытии вентиля его элементы срабатывают в обратной. последовательности.
Предлагаемый вентиль обеспечивает постоянство заданной величины усилия уплотнения, что определяет количество циклов срабатывания металлического клапана и приводит к увеличению срока работоспособности и повышению надежности вентиля в работе.
Формула изобретения
Сверхвысоковакуумный вентиль, в корпусе которого расположены запорный орган со штоком, образующим винтовую пару с гайкой механизма привода, и узел создания усилия уплотнения, о т л и ч а ю ш и йс я тем, «Гто с целью увеличения срока службы и повышения надежности вентиля в работе, узел создания усилия уплотнения выполнен механогидравлическим с рабочей средой, например, из гидропласта, а на гайке механизма привода установлены кинематически связанная с гидропласТоМ реэьбовая втулка, внутренняя поверхность которой связана с наружной поверхностью гайки шлицевым соединением, а наружная — с механизмом привода, и муфта предельного момента, срабатывающая при закрытии запорного органа.
Источники информации, принятые во внимание при экспертизе
1. Розанов Л. H. Вакуумные машины и установки. М. "Машиностроение", 1975, с. 120.
2. Данилин Б. С. Основы конструирова ния сверхвысоковакуумных систем, М.
"Энергия", 1971, с, 256, рис. 3-65.
2 3
Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
