Устройство для откачки газов и паров

 

1 ая

t -ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ щб

Союз Советских

Социалистических

Республик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 01.10.73 (21) 1965006, 25-06 (51) М. Кл,з

F 04Â 43/02 с присоединением заявки №

Государственный комитет (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.05.79. Бюллетень № 20 (45) Дата опубликования описания 30.05.79 по делам изобретений и открытий (53) УДК 621,512,8:

:534.8 (088.8) (72) Автор изобретения и (71) заявитель

В. В, Каравалис (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОТКАЧКИ ГАЗОВ И ПАРОВ

Изобретение относится к области вакуумной техники и может быть использовано для откачки газов и паров из герметичных объемов.

Известны высоковакуумные откачные системы, состоящие из откачивающего устройства (насоса) и патрубка, с помощью которого насос подсоединяется к откачиваемой емкости (1).

Однако подобные откачивающие систе- 10 мы обладают низкой производительностью, особенно при достижении глубокого вакуума, поскольку длина свободного пробега у молекул откачиваемого газа или пара возрастает из-за соударений о стенки сое- 15 динительного патрубка, через который и производится откачка, и молекулы могут опять попадать в откачиваемую емкость.

Прототипом изобретения является устройство для откачки газов, в котором име- 20 ется подвижный элемент в форме диска, укрепленный на боковом фланце корпуса дополнительной камеры, подключаемой к откачиваемой емкости. При этом подвижный элемент сообщает молекулам газа или 25 пара дополнительный импульс в направлении откачки (2).

Недостатком известного устройства является то, что подвижный элемент может сообщить молекулам газа или пара допол- 30 нительный импульс в направлении откачки лишь в один полупериод своего колебательного движения, так как фактически рабочей является лишь одна поверхность вибрирующего диска. Это снижает эффективность работы устройства.

Целью изобретения является повышение эффективности откачки газов или паров из откачиваемой емкости.

Поставленная цель достигается тем, что подвижный элемент в дополнительной камере, выполненный в виде пластины, размещают строго под входным патрубком камеры вдоль его оси, причем пластина делит камеру на два сообщающихся объема.

На чертеже показано предлагаемое устройство.

В корпусе камеры 1 имеются фланцы 2 и 3. Фланец 2 служит для присоединения к откачиваемой емкости, а фланец 3 — для присоединения к откачивающему устройству (диффузионный или форвакуумный насосы). Внутри камеры 1 вдоль оси входного патрубка 4 укреплен выполненный, например, в виде пьезокерамической пластины 5 подвижный элемент, питание на который подается по герметичным вводам 6.

Пластина 5 делит объем камеры на два сообщающихся объема 7.

Устройство работает следующим о6разом.

Молекулы газа или пара за счет работы

66512!

- 7

Составитель С. Семенюта

Техред А. Камышникова

Корректор P. Беркович

Редактор Т. Горячева

Заказ 1323j2 Изд. № 361 Тираж 779 Подписное

НПО Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Типография. пр. Сапунова, 2

3 откачивающего устройства (насоса), подсосдиненного к фланцу 3, поступают по патрубку 4 в камеру 1. При этом по вводам

6 питания осуществляют вибрацию пьезокерамической пластины 5. Молекулы газа или пара, попадая на обе поверхности вибрирующей пластины 5, получают импульс движения в направлении откачки, т. е. в сторону фланца 3 и далее удаляются из камеры 1 через объемы 7 с помощью откагивающего устройства.

Даннос устройство позволяет повысить скорость откачки газа на 45% по сравнению с прототипом.

Формула изобретения

Устройство для откачки газов и паров из закрытой емкости, содержащее подкл|очаемую к откачиваемому объему и системе предварительного разрежения камеру с входным и выходным патрубками, в которую помещен подвижный элемент, связан5 ный со средством, обеспечивающим его колебания, отличающееся тем, что, с целью повышения эффективности откачки, подвижный элемент выполнен в виде пластины, расположенной напротив входного

10 патрубка вдоль его оси и разделяющей камеру на два сообщающихся объема.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Дэшман С. Научные основы вакуум15 ной техники. М., «Иностранная литература», 1950, с. 98 — 101.

2. Авторское свидетельство СССР

М 279862 кл F 04b 43/02 1968