Устройство для загрузки изделий в вакуум
(19)SU(11)699813(13)A1(51) МПК 6 C23C14/24(12) ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯк авторскому свидетельствуСтатус: по данным на 17.12.2012 - прекратил действиеПошлина:
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ
Изобретение относится к вакуумной технике и может использоваться в различных отраслях народного хозяйства. Известно устройство для загрузки изделий в вакуум, содержащее корпус, в котором размещены карусель и держатель изделий, установленные на карусели с возможностью герметизации шлюзовой камеры, смонтированной на крышке корпуса. Недостатком устройства является обязательное наличие на шлюзовой камере клапана для напуска воздуха, имеющего отдельный, например, электромагнитный привод, на который необходимо подавать управляющий сигнал перед открытием шлюзовой камеры для загрузки-выгрузки изделий. Наиболее близкое к предлагаемому изобретению устройство для загрузки изделий в вакуум содержит загрузочную камеру с крышкой, кинематически соединенной с приводом, и клапан напуска воздуха. Недостатком такого устройства является его низкая надежность. Цель изобретения повышение надежности. Это достигается тем, что в устройстве для загрузки изделий в вакуум, содержащем загрузочную камеру с крышкой, кинематически соединенной с приводом, и клапан напуска воздуха, последний кинематически соединен с приводом крышки. На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, сечение; на фиг. 2 шлюзовая камера в момент ее герметизации, сечение. Устройство для загрузки изделий в вакуум имеет корпус 1 с крышкой 2, на которой размещена шлюзовая камера 3. На карусели 4, расположенной в корпусе 1, установлены держатели 5, которые могут герметизировать шлюзовую камеру 3 по прокладке 6 в крышке 2. Крышка шлюзовой камеры 3 имеет отверстия 7 и втулку 8, на которой установлен фильтр 9 для воздуха. На штоке 10 привода перемещения крышки шлюзовой камеры 3 закреплен подпружиненный клапан 11 напуска воздуха и смонтирован посредством эластичной прокладки 12 винт 13. Корпус 14 клапана 11 закреплен винтом 13 во втулке 8 с возможностью осевого перемещения. Устройство работает следующим образом. После герметизации держателем 5 по прокладке 6 отверстия в крышке 2 шток 10 начинает перемещаться. Клапан 11 открывает отверстие 7, и воздух через фильтр 9 и пазы 15 во втулке 8 заполняет шлюзовую камеру 3. Затем, продолжая движение, шток 10 через корпус 14 контактирует с винтом 13, закрепленным во втулке, и перемещает шлюзовую камеру 3. После загрузки-выгрузки изделий шлюзовая камера 3 перемещается в исходное положение, при этом клапан 11 герметизирует отверстие 7, камера откачивается до давления, при котором возможно шлюзование. Затем держатель 5 с изделием устанавливается на карусель 4. Карусель 4 поворачивается и устанавливает под отверстием в крышке 2 изделие, прошедшее обработку. Держатель 5 поднимается, и цикл шлюзования повторяется. Величина зазора между корпусом 14 клапана 11 и винтом 13 в исходном положении шлюзовой камеры 3 и скорость движения штока выбираются так, чтобы при контакте корпуса 14 с винтом 13 давление в шлюзовой камере 3 повысилось до атмосферного. Предлагаемая установка надежна в работе, так как в ее конструкции отсутствует отдельный привод клапана для напуска воздуха в шлюзовую камеру 3, а следовательно, и количество сигналов (команд) в системе управления меньше.
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ЗАГРУЗКИ ИЗДЕЛИЙ В ВАКУУМ, содержащее загрузочную камеру с крышкой, кинематически соединенной с приводом, и клапан напуска воздуха, отличающееся тем, что, с целью повышения надежности устройства в работе, клапан напуска воздуха кинематически соединен с приводом крышки.РИСУНКИ
Рисунок 1, Рисунок 2
