Устройство для перемещения полупроводниковых пластин
В(.,-ъГ о кб .ше нятоит.:(l,: ;>,((. - " "." Я
Qнбдlq 1ена lа а" Союз Советскне Социалистические республик К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) За" + 0 18.10,76 (21)2423760/18--21 (5I)М. Кл. Н 01 Ь 21/00 с прнсоединеинеее заявки М— Гвеудерстееввй еенетет СССР ее делам лэебретееей в етлеытей (23) Приоритет Опубликовано 05,12.79, Бюллетень М 45 (53) УДК 621 396. .002.5(088.8) Дата опубликования описания 10.12.79 (72) Авторы изобретения H. И, Никулин, B. Н. Комаров и И. И, Поярков (71) Заявитель (54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПЕРЕМЕЩЕНИЯ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ППАСТИ Н Изобретение относится к области ра-. диоэпектроники, в частности к устройствам для транспортировки полупроводнике вых пластин. Известны устройства дпя перемещени 5 полупроводниковых пластин, содержащие пневмотранспортер, соиентирующий рабо чий стол с каналами н кассету Я. Недостатком известных устройст.в является невозможность обеспечения выборочного перемещения пластин .и возврата их в исходное положение. Известно, также устройство для пере мвцения полупроводниковых пластин, со-держащее вакуумный носитель, кассету и рабочй и (2). Однако устройство также не обеспечивает выборочного перемещения их в исходное положение. . Цель изобретения - выборочное пере мещение полупроводниковых пластин и возврат их в исходное положение, Для етого в устройстве для перемеше ния .полупроводниковых пластин, содержа 2 щем вакуумный носитель, кассету, рабочий стол, вакуум ый носитель выполнен в виде П-образного захвата и установлен между кассетой и рабочим столом с возможностью взаимодействия внутренними сторонами боковых полок с рабочим cm лом, а внешними - со стенками кассеты. На фиг. 1 - схема общего вида устройства, на фиг.:, 2 - разрез А-А на фиг. 1. Устройство содержит кассету 1 с пласти@амй :. 2, перемещающуюся в. вертикальной плоскости на шаг, равный расстоянию между соседними пазами кассеты 1 или кратный етому расстоянию, вакуумный носитель 3, совершающий возвратно-поступательное перемещение привода. Вакуумный носитель 3 выполнен в виде полого Ф П-обравного захвата с наклонными отверстиями на верхней плоскости, Рабочий стол 4 установлен на валу S в корпусе 6. Вал 5 с помощью шестеренки 7 входит в зацепление с рейкой 8, установлен1 3 7024 ной неподвижно. Устройство также содержит эксцентрик 9, микроскоп 1 О. Устройство работает следующим образом. Вакуумный носитель 3 П-образным захватом заходит под выбранную пластину 2 кассеты 1, В это время в полость вакуумного носителя 3 подают вакуум, удерживая пластину 2 на вакуумном носителе 3, который перемешают к рабоче- 10 му столу 4. С помощью эксцентрика 9 I поднимают рабочий стол 4, при этом вакуум в полости носителя 3 отключен, а . в столе 4 включен. Таким образом, пластину 2 снимают с вакуумного носителя Э и укладывают на рабочий стол 4. Вакуумный носитель 3 возвращают в исходное положение. Корпус 6 вместе,с рабочим столом 4 совершает возвратно-поступательное движение, и рабочий стол 4 ,вращается за счет зацепления шестерни 7 с рейкой 8, Во время сложного перемещения рабочего стола 4 осуществляют визуальный контроль полупроводниковой 25 пластйны 2 с помощью микроскопа 10. После контроля пластины рабочий стол 4 останавливают, вакуумный носитель 3 заходит цод пластину 2. Рабочий стол 4 эа счет поворота эксцентрика 9 опускают, * зо отключают вакуум в рабочем столе 4., а в вакуумнЬм носителе 3 - включают. При етом пластину 2 фиксируют на вакуумном 32 4 носителе 3. Вакуумный носитель 3 подает, пластину 2 в кассету 1. При обратном перемещении вакуумного носителя 3 иэ кассеты 1 в полость вакуумного носителя 3 подают воздух, что исключает возможность смещения пластины 2 при обрат ном ходе вакуумного носителя 3, так как образуется воздушная подушка между пластиной 2 и вакуумным носителем 3. Формула изобретения Устройство для перемещения полупроводниковых пластин, содержащее вакуумный носитель, кассету и рабочий стол, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью выборочного перемещения полупроводниковых пластин и возврата их в исход« ное положение, вакуумный носитель выполнен в виде П-ебразного захвата и уста— новлен между кассетой и ра5очим столом с возможностью взаимодействия внутренними сторонами боковых полок с рабочим столом, а внешними - со стенками кассеты. Источники информации, принятые во внимание при экспертизе 1., Авторское свидетельство СССР ¹ 305746, кл. В 41 6 7/00, 06.62,70, 2. Модель 8902-США. Обзоры по электронной технике", вып. 5, 1975.
