Источник ионов
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
I (я)5 Н 01 Р 3/04
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ
ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ
ПРИ ГКНТ СССР
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ,И
К ABTOPCKOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 2198247/25 (22) 11.12.75 (46) 30.10.91. Бюл. ¹ 40 (72) Ю.П.Маишев, В.В.Алексеев, Г.Ф.Ивановский, Е.А.Жуков, Ю.А.Дмитриев, Е.С,Гендель, Б.А.Егоров и Ю.П.Терентьев (53) 621.387.424 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР
¹ 291602 от 29.06.69, МКИ Н 01 J 3/04.
Физика и применение плазменных ускорителей, Минск, 1974, стр. 34-35. (54)(57) ИСТОЧНИК ИОНОВ, содержащий соосные цилиндрические анод и катод, снабженный выпускной щелью, края котоИзобретение относится к ионно-плазменной технике, конкретно — к устройствам для получения аксиально си Метричных ионных пучков, и может быть использовано для ионного и ионна-химического травления, получения тонких пленок различных материалов путем ионного распыления, очистки поверхностей и в других целях.
Известны источники для создания радиальных потоков ионов, в которых процесс ионизации и ускорения происходит в скрещенных электрическом и магнитном полях.
Основным достоинством этих источников является возможность получения достаточно больших плотностей тока ускоренных ионов. Наиболее близким к предложенному является источник ионов, содержащий соос- ные цилиндрические анод и катод, снабженный выпускной щелью, края которой расположены в плоскостях, перпендикулярных оси анода- и катода и пересекающих поверхность анода, систему для создания магнитного поля с преимущественным направлением, параллельным указанной оси. Ы„„719371 А1 рой расположены в плоскостях, перпендикулярных оси анода и катода и пересекающих поверхность анода, систему для создания магнитного поля с преимущественным направлением, параллельным указанной оси, отличающийся тем, что, с целью увеличения суммарного ионного тока, в нем длина анода больше расстояния между анодом и катодом, а катод снабжен выпускными щелями, смещенными друг относительно друга вдоль оси, причем края этих щелей также расположены в плоскостях, перпендикулярных оси и пересекающих поверхность анода.
-. Одним из основных недостатков известного устройства является сложность увели-. чения суммарного ионйого тока на выходе из него. Возможности увеличения тока за счет увеличения ширины щели ограничены, а применение нескольких источников усложняет конструкцию всего устройства.
Целью изобретения является повышение суммарного ионного тока. Поставленная цель достигается за счет того, что в нем длина анода больше расстояния между анодом и катодом, а катод снабжен дополнительными щелями,"смещенными друг относительно друга вдоль оси, причем края .этих щелей также расположены в плоскостях, перпендикулярных оси и пересекающих поверхность анода.
Сущность изобретения пояснена на черт., где изображена принципиальная схема предлагаемого ионного источника, Источник имеет корпус 1 в виде цилиндра, закрйтого с обеих сторон торцевыми частями. В цилиндрической поверхности корпуса, являющейся одновременно уско719371
Г
Проведенные испытания источника показали, что он позволяет получить заметно больший ток, чем аналогичная однощелевая конструкция., Составитель
Редактор Е. Гиринская Техред M,Ìîðãåíòàë . Корректор И, Муска
Заказ 4632 Тираж Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб„4/5
Производственйо-издательский комбинат "Патент", г, Ужгород, ул.Гагарина, 101 ряющим электродом и катодом 2, имеются кольцевые щели 3, служащие для выхода ионов. Корпус ионного источника и внутренний стержень 4, соединяющий торцы, выполнены из магнитомягкого материала. 5
Внутри цилиндрического корпуса соосно с ним расположен цилиндрический анод 5. B торцах корпуса источника имеются отвер- стия 6 для напуска рабочего газа. Между внутренней цилиндрической поверхностью 10 анода и стержнем находится соленоид 7, служащий для создания осевого магнитного .поля в щелях. Источник питания 8 положительным полюсом подключен к аноду, а отрицательный полюсом — к корпусу.. 15
Источник работает следующим образом; после подачи рабочего газа, например, фреона и приложения напряжения между катодом и анодом в кольцевыи щелях корпуса между анодом и катодом в скрещенных электрическом и магнитном полях происхо-: дит эффективная ионизация рабочего газа и ускорение образовавшихся ионов по радиу-су от источника.
