Шлюзовое устройство

Авторы патента:

C23C13/08 - Покрытие металлических материалов; покрытие других материалов металлическим материалом (металлизация текстильных изделий D06M 11/83; декоративная обработка текстильных изделий местной металлизацией D06Q 1/04); химическая обработка поверхности; диффузионная обработка металлического материала; способы покрытия вакуумным испарением, распылением, ионным внедрением или химическим осаждением паров вообще (для специфических целей см. соответствующие классы, например для производства резисторов H01C 17/06); способы предотвращения коррозии металлического материала, образования накипи или корок вообще (обработка металлических поверхностей или покрытие металлов электролитическим способом или способом электрофореза C25D,C25F)

Союз Советскмх

Сот,иелнстнчесннх е еспублнн

О П И C А Н И Е,723000

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свил-вувЂ” (22) Заявлено 01,06.76(21) 2367730/18-21 (51) М. ХЛ.

2 с присоелииениент заявки,%

С 23 С 13/08

Государственный номнтет

СССР оо делан изобретений и етнрьтий (23) ПриоритетвЂ”

Опубликовано25.03.80. Бюллетень N 11 (53) УДК 621.793. . 6 (088. 8) Дата опубликования описания 30.03.80 (72) Авторы изобретения

В. Е, Минайчев, B. В. Одиноков, В. В. Савин и М. В. Михневич (7() Заявитель (54) ШЛЮЗОВОЕ УСТРОЙСТВО

Изобретение относится к поворотным : шлюзовым устройствам для ввода в вакуумные рабочие камеры или вывода из них изделий из материалов радиотехники, электронной техники и др.

Известно шлюзовое загрузочное устройство, содержашее корпус с торцовыми крышками и средства откачки $13.

Это устройство не обеспечивает сохранение ориентации загружаемых изделий.

Наиболее близким по технической сушности к изобретению является шлюзовое устройство, содержашее корпус с загрузочно-разгрузочными отверстиями и размещенный в нем ротор с цилиндрической полостью (21 .

1(ель изобретения вЂ” исключение повреждения обрабатываемых изделий.

Это достигается благодаря тому, что шлюзовое устройство, содержашее корпус с загрузочно-разгрузочными îòâåðñтиями и размешенный в нем ротор с цилиндрической полостью, снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочным отверстиям корпуса, установленным неподвижно в поlIocTH ротора, и заслоной, кинематически соединенной с ротором и расположенной в торце выходного отверстия держателя.

На фиг. 1 изображен обший вид устройства в разрезе; на фиг. 2 вЂ” разрез

А-А на фиг. 1.

Устройство состоит из корпуса 1 с полостями 2 и 3 промежуточной откачки первой ступени и второй ступени соответственно, ротора 4- с загрузочной полостью 5. К торцовой герметичной крышке 6 присоединен откачкой патрубок

7 первой ступени откачки, а в другой герметичной крышке 8 находится ввод врашения 9 вала ротора 4. Загрузочная полость 5 ротора 4 выполнена в виде цилиндра, внутри которого размешены направляюшая 10 и ось 11, скрепленные между собой. Между загрузочной полостью

5 и торцом ротора 4 расположен ввод врашения 12 для вывода и крепления оси

11 в торцовой герметичной крышке 6. з 72

Огквчнвя полость 3 соединена с откачным патрубком 13 второй ступени откачки, который закреплен нв корпусе 1. В корпусе 1 имеются загрузочное 14 и разгрузочное 15 отверстия дпя прохода транспортируемых иэделий. Для того, чтобы изделие не соприкасалось с внутрен-. ней поверхностью загрузочной полости 5 ротора 4, нв направляюшей 10 установ лен держатель 16 и заслонка 17, кинемвтически соединенная с ротором 4.

Устройство установлено на рабочей камере 18. Регулируемые упоры 19 предназначены для балансировки ротора

4 в корпусе 1.

Устройство работает следуюшим obpaзом

Через загрузочное отверстие 14 происходит загрузка изделия в загрузочную полость 5 ротора 4. Прн этом изделие размешается в направляюшей 10 и упирается в держатель 16. Прн врашении. ротора 4 загрузочная полость 5 совмешается поочередно с полостями промежуточной откачки 2 и 3, в результате чего происходит ступенчатая ее откачка.

Твк квк направляюшая 10 жестко соединена с осью 11, которая при этом закреплена неподвижно в торцовой герметичной крышке 6 через ввод врашения 12, то направляюшая 10 остается неподвижной в процессе врашения ротора 4. В момент совмешения загрузочной полости 5 с разгрузочным отверстием 15 корпуса 1 заслонка 1 7 открывает держатель 16 и изделие поступает из направляющей 10 в рабочую камеру

3000 4

18 под собственным весом сохраняя свою ориентацию.

Аналогично устройство работает при выгрузке изделий из рабочей. камеры.

Тслько установка устройства осушествИяется так, чтобы загрузочное отверстие 14 находилось со стороны вакуумной рабочей камеры 18.

В предложенном устройстве обеспечивается сохранение ориентации изделия и повышается надежность загрузки иэделия, т.е. исключена поломка изделия и выход из строя шлюзового устройства из-за попадания частиц изделия в зазоры между ротором и корпусом.

Формула изобретения

Шлюзовое устройство, содержашее корпус

20 с загрузочно-разгруэочнымиотверстиями и размешенный в нем ротор с цилиндрической полостью, отлич аюшеес я тем, что, с целью исключения повреждения обрабатываемых изделий, устройство /

25 снабжено держателем со сквозным отверстием, соосным загрузочно-разгрузочным отверстиям корпуса, установленным неподвижно в полости ротора, и заслонкой, 30 кинематически соединенной c paropoM и расположенной в торце выходного отверстия держателя.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе .

1. bourn. Voc. Sci. ТесЬпЖодч з5 1 973г. Ч 10 N 2 р. 393-397.

2. Авторское свидетельство СССР

¹ 451753, кл. С 21 д 9/00, 1973 (прототип) .

Фиг.1

Составитель E. Кукииа

Редактор Т. Смирнова Техред H. Ковалева Корректор Ю. Макаренко

Заказ 321/17 Тираж 1074 Подписное

ШАТИИ ПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, NocKsa, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент, r. Ужгород, ул. Проектная, 4