Способ обезгаживания арматуры высоковакуумных камер

 

0 П И С А Н И Е (п,725117

ИЗОБРЕТЕНИ Я

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Сова Советских

Социалистических

Республик (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 13.04.78 (21) 2600762/18-25 с присоединением заявки Мв (51) М,Клв

H 01J 9/39 (23) Приоритет (43) Опубликовано 30.03.80. Бюллетень РГо 12 (53) УДК 621.3.032.94 (088.8) (45) Дата опубликования описания 30.03.80

Государственный комитет по делам изобретений и открытий (72) Авторы изобретения А. П. Иванов и А. И. Холодов (71) Заявитель Ордена Трудового Красного Знамени специальное конструкторское бюро аналитического приборостроения Научно-технического объединения АН СССР (54) СПОСОБ ОБЕЗГАЖИВАНИЯ АРМАТУРЫ

ВЫСОКОВАКУУМНЫХ КАМЕР

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности, к технологии получения высокого и сверхвысокого вакуума.

Известен способ обезгаживания камер электрофизических установок путем нагрева их деталей и узлов с помощью наружных нагревателей (1). Такая обработка проводится с целью удаления газов, адсорбированных на поверхности и растворенных в глубине материала элементов камер.. 10

Этот способ требует прогрева всей толщи материала обезгаживаемых деталей и узлов при обработке поверхностного слоя.

Известен способ обезгаживания вакуумных камер, включающий откачку и нагрев 15 внутренних поверхностей камеры до температуры обезгаживания (2).

В этом способе обезга жив ание производят с помощью импульса сверхвысокочастотного электромагнитного поля в вакуум- 20 ной камере.

При этом приповерхностный слой микронной толщины прогревается до нескольких сот градусов, газ, находящийся на поверхности, выделяется в вакуум и откачивается 25 насосами. Таким образом, за несколько циклов происходит обезгаживание поверхности.

Основным недостатком известного способа является ограниченность его применения. 30

Дело заключается в том, что разогрев поверхности будет иметь место лишь в том случае, если обезгаживаемая камера представляет из себя резонансный контур для вводимого высокочастотного импульса электромагнитного поля. Кроме этого, электрофизические установки, как правило, имеют множество ответвлений, выступов, деталей и узлов, расположенных в камере, что приводит при использовании этого способа обезгаживания к неравномерности температуры по поверхности камеры. Для камер сложной конфигурации этот способ обезгаживания вообще не применим.

Целью изобретения является равномерный прогрев и хорошее обезгаживание внутренних поверхностей камер.

Поставленная цель достигается тем, что камеру заполняют газом, который затем разогревают до температуры, обеспечивающей нагрев внутренних поверхностей камеры, достаточный для их обезгаживания, после чего производят откачку, вместе с десорбированными с нагретых поверхностей газами, а также тем, что камеру заполняют газом гелием до давления 100 — 760 мм рт. ст.

В качестве газа, используемого для разогрева камеры, лучше всего использовать инертные газы, поскольку они химически не взаимодействуют с нагреваемым металлом, 725117

Формула изобретения

Составитель И. Немцов

Техред А. Камышникова

Корректоры: В. Петрова и А. Галахова

Редактор Н. Коляда

Заказ 373/10 Изд. Ма 234 Тираж 857 Подписное

НПО «Поиск» Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, К-35, Раушская наб., д. 4(5

Типография, пр. Сапунова, 2 а из инертных газов, наиболее целесообразно использовать гелий поскольку его теплопроводность при давлениях 100 мм рт. ст. и более наибольшая.

Предлагаемый способ поясняется чертежом.

Вакуумную камеру 1, внутреннюю поверхность которой 2 и арматуру 3, находящуюся в ней, требуется обезгазить, откачивают высоковакуумной системой откачки 4.

Затем камеру отсекают от откачки клапаном 5 и через клапан 6 напускают инертный газ — гелий из баллона 7 до давления

100 — 760 мм рт. ст. Включают нагреватель

8, расположенный в нижней части камеры, и нагревают напущенный газ до температуры

350 — 400 С. За счет теплопроводности напущенного газа, а также за счет конвективных потоков газ обменивается энергией с внутренними поверхностями и разогревает их.

После достижения температуры внутренних поверхностей 300 — 350 С напущенный газ откачивают и с разогретых поверхностей происходит выделение в вакуум ранее адсорбированных газов. В течение времени, пока температура разогретых поверхностей достаточна для (активной) десорбции, выделяющийся газ удаляется высоковакуумной системой откачки. Таким образом происходит очистка поверхностей от ранее адсорбированных газов.

Предлагаемый способ обезгаживания позволяет получить равномерный прогрев внутренней поверхности даже в случае наличия

«карманов» и деталей сложной конфигурации. Применение предлагаемого способа позволяет сократить время обезгаживания, поскольку отпадает необходимость в прогреве всей толщи конструкционных материалов, из которых выполнена вакуумная камера, 1. Способ обезгаживания арматуры высоковакуумных камер, включающий откачку и нагрев внутренних поверхностей камер до

15 температуры обезгаживания, отл ич а юшийся тем, что, с целью более равномерного прогрева и улучшения обезгаживания, после откачки камеру заполняют газом, который затем разогревают до температуры, 20 обеспечивающей нагрев внутренних поверхностей камеры, достаточный для обезгаживания, после чего производят откачку.

2. Способ по п. 1, отл и ч а ю щи и с я тем, что камеру заполняют газом до давления

25 100 — 760 мм рт. ст.

3. Способ по пп. 1 и 2, отличающийсяя тем, что камеру заполняют гелием.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

30 1. Авторское свидетельство СССР № 223934, кл. Н 01J 9/39, 1968.

2. Авторское свидетельство СССР № 263752, кл. H 01J 9/39, 1970 (прототип).