Высоковакуумная установка
А4 з-"
11767391
ОПИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕНИЯ
Союз Советских
Социалистических
Республик
К АВТОРСКОМУ СВИ ЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное н авт. свид-ву (22) Заявлено 100179 (23) 2712350/25-0б, с присоединением заявки ¹ (53)м. кл.з
F 04 В 37/14 осударственный комитет
СССР но делам нзобретеннй н открытн и (23) Приоритет
Опубликовано 300980Бюллетень ¹ 36 (53) УДК 533. 59 (088.Ч) Дата опубликования описания 300980 (72) Автор изобретения
И.Ф.Шмелев (71) Заявитель (54) ВЪ|СОКОВАКУУМНАЯ УСТАНОВКА
1 изобретение относится к области систему, включающую высоковакуумный вакуумной техники. и форвакуумный насосы 2 и 3, подИзвестны высоковакуумные установ- ключенные к объему 1 посредством ки, содержащие откачиваемый объем охлаждаемой ловушки 4. Полость лои откачную систему, включающую высоко- 5 вушки 4 посредством трубопровода 5 вакуумный и форвакуумный насосы, под- с регулирукщим вентилем б.сообщена ключенные к объему посредством охлаж- с входом форвакуумного насоса 3. даемой лбвушки (1). Высоковакуумная установка имеет также
В известных установках защита от дополнительный форвакуумный насос миграции масла механического Aopaa- fo 7 с вентилем 8. куумного насоса в высоковакуумный Описанная установка работает насос осуществляется путем создания следующим образом. потока атмосферного воздуха на вход Производится предварительная форвакуумного насоса. Влага из атмо- откачка объема 1 и охлаждаемая ловушсферного воздуха, попадая в масло 15 ка 4 заливается хладагентом. При этом насоса, отрицательно влияет на ха- на вход форвакуумного насоса 3 по рактеристики насоса. трубопроводу 5 через вентиль б поЦелью изобретения является предот- дается поток пара хладагента из ловушвращение миграции масла без .Ухудше- . ки 4, практически не содержащий влания характеристик вакуумного механи-. 20 ги. Затем включается в работу высокоческого насоса. вакуумный насос 2. В этбм случае;
Укаэанная цель достигается тем, есЛи предварительная откачка объема что полость ловушки посредством производится дополнительным форвакуум- . трубопровода с регулирующим венти- ным насосом 7, попадание масла в лем сообщена со входом форвакуумного 25 объем 1 из насоса 7 может быть предотнасоса. . вращено напуском пара хладагента из
На чертеже показана схема описы- ловушки 4 на вход насоса 7 через венваемой установки. тиль 8.
Высоковакуумная установка содержит . Подача пара хладагента, имеющего откачиваемый объем 1 и откачнув 30 низкую температуру, в форвакуумный
767391
Составитель Н. Юшин
Редактор Л. Гольдина Техред С.Мигунова
ФРФайаМ НМ
Заказ7164/30 Тираж 725 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
ВъФвб.:Мй Ь Мажмрьаь, . ъ а.
Филиал ПЛП "Патент",г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Корректор С. Мекмар насос позволяет избежать перегрева насоса.
Такое выполнение установки дает воэможность уменьшить содержание паров рабочей жидкости насоса в остаточном газе и улучшить стабиль.ность работы насоса путем предотвращения его перегрева.
Формула изобретения
Высоковакуумная установка, содержащая откачную систему, включающую высоковакуумный и 4орвакуумйый насосы, " подключенные к откачиваемому объему
i посредством охлаждаемой ловушки, отличающаяся тем, что, с целью предотвращения миграции масла иэ форвакуумного насоса, полость ловушки посредством трубопровода с
> регулирующим вентилем сообщена со входом форвакуумного насоса. .Источники информации,. принятые во внимание при экспертизе
1. Кантер Б.З. Защита вакуумной системы от паров масла механического о насоса газовым потоком. Физика и техника вакуума. Казань, Изд. Казанского университета, 1974 с. 203-206.
