Способ определения контура рисунка металлизированного слоя на диэлектрической или полупроводниковой подложке

 

0 Il N C A H K Е (ii> 792271

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советскнх

Соцналнстнчесннх

Респубпнк (61) Дополнительное к авт. свнд-ву— (22) Заявлено 26.12.78 (21) 2708723/18 -24 с присоединением заявки 1Й— (23) Приоритет

3 (51}М. Кл.

G 06 К 9/00

Гве)@арстаенны6 кенитет

СССР яо делан кзобретеннй и отерытнЯ

Опубликовано 30,12.80. Бюллетень М 48 (531 УД К 681,327 .12 (088.8) Дата опубликования описания 30.12.80 (72) Автор изобретения

А. А. Данилов

Северо- Западный заочный политехнический институт (71) Заявитель (54) СПОСОБ ОПРЕДЕЛЕНИЯ КОНТУРА РИСУНКА

МЕТАЛЛИЗИРОВАННОГО СЛОЯ НА ДИЭЛЕКТРИЧЕСКОЙ

ИЛИ ПОЛУПРОВОДНИКОВОЙ ПОДЛОЖКЕ

Изобретение относится к области автома",тики и вычислительной техники и может быть использовано для обнаружения характерных признаков изображения объекта.

Известен способ оценки качества изображения, заключающийся в сканировании изображения и выделении оптических его признаков, таких как светлота, градиент светлоты и т. д. (1).

Данный способ трудно приложить к решению задачи определения контура рисунка металли1О зированного слоя, нанесенного на плату или подложку, так как указанные оптические признаки практически не различаются фотоэлектрической системой, вследствие чего недос15 таточна точность определения контура рисунка.

Известен способ автоматизированного контроля рисунка печатных плат, заключающийся в сравнении рисунка контролируемой схемы с эталонным рисунком (2).

Для реализации этого способа необходимо использование двух синхронно работающих телевизионных систем, что ведет к существенному усложнению конструкщ;и и невозмож ности использования ее непосредственно в технологическом процессе, Известен способ обнаружения объектов, отличающихся своими характеристиками от фона, который заключается в облучении объектов двумя источниками излучения с разной длиной волны (3(Объект обнаруживается по разности сигналов с приемников излучения, детектирующих отраженные от объекта в заданном диапазоне световые потоки.

Недостатком этого способа является слож. ность его реализации, так как необходимо использование двух лазерных источников.

Наиболее близким к изобретению техническим решением является способ фотоэлектрического определения границ предмета, заключающийся в формировании сигнала зондирования при его сканировании, формировании вспомогательного сигнала, запоминании его, сравнении с сигналом зондирования и формировании информационного сигнала в момент совпадения амплитуд (41.

792271 4 зированного слоя, нанесенного на диэлектрическую или полупроводниковую подложку. При

ВНИИПИ Заказ 10136/49 Тираж 751 Подписное

Недостаток этого способа заключается в низ. кой точности и достоверности определения контура рисунка металлизированного слоя на диэлектрической или полупроводниковой подложке, так как она имеет, как яравило, полированную поверхность и уровень сигнала зондирования при сканировании практически одинаков цля рисунка металлизированного слоя и для диэлектрической или полупровод1 никовой подложки. 10

Цель изобретения -- повышение достоверности и точности определения контура рисунка.

Это достигается тем, что при способе определения контура рисунка металлизированного слоя на диэлектрической или полупроводниковой подложке,заключающемся в формировании сигнала зондирования при сканировании рисунка и регистрации отраженного светового потока, его сканирование осуществляют пучком линейно-поляризованного света, вектор электрического ноля которого параллелен плоскости подложки, а угол падения соответствует утлу Брюстера.

Сущность изобретения состоит в использовании явления поляризации при отражении света от полупроводниковых и диэлектрических материалов. Известно, что свет представляет собой электромагнитные волны. Векторы напряженностей Е и Й электрического и магнитных полей этих волн колеблются перпенди30 кулярно друг к другу и вектору скорости распространения волны, т,е. электромагнитные волны являются поперечными.

Если вектор E в направленном на объект световом потоке располагается параллельно к плоскости объекта, т.е, свет линейно — поляризован, а вектор V направлен под утлом

Брюстера к поверхности платы или подложки, то интенсивность отраженной рт диэлектрика или полупроводника волны б шзка к нулю.

Иная картина наблюдается в аналогичной ситуации при отражении света от металлического слоя: интенсивность отраженной волны практически не уменьшается по сравнению с падающей. Таким образом свойства поверхности объекта оказывают влияние на интенсивность отраженной волны.

Следовательно, по измерению интенсивности отраженной волны можно различать участки поверхности, обладающие различными свойствами, т.е. участки поверхности металла и диэлектрика, определять контур рисунка металлизированного слоя на диэлектрической или полупроводниковой подложке.

На основании указанного явления разработан способ определения контура рисунка металлисканировании такого объекта сфокусированным пучком линейно-поляризованного света, вектор электрического поля которого параллелен плоскости объекта и направлен к последнему под углом Брюстера, получается резкий перепад сигнала зондирования при переходе от . диэлектрика к металлу: от диэлектрика или полупроводника сигнал практически в этом случае равен нулю; от металла — достигает максимально возможного значения, зависящего от интенсивности падающей волны. Это позво- . ляет четко определить границу между металлом или полупроводником, т.е. определить контур металлизированного рисунка плат или подложек.

Использование явления поляризации для реализации способа определения контура рисунка плат и подложек обеспечивает существенное повышение точности срабатывания автоматических устройств, так как сигнал от металлизированного слоя примерно в 20 и более раз выше, чем сигнал от диэлектрика. При такой разности пороговых уровней сигналов надежно срабатывает любое пороговое устройство электронной схемы регистрации. Одновременно высокая крутизна фронта сигнала на границе металлдиэлектрик обеспечивает повышение точности определения границ контура.

Формула изобретения

Способ определения контура рисунка металлизированного слоя на диэлектрической или полулроводниковой подложке, заключающийся в формировании сигнала зондирования при сканировании рисунка и регистрации отраженного светового потока, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения достоверности и точности определения контура рисунка, его сканирование осуществляют пучком линейно-поляризованного света, вектор электрического поля которого параллелен плоскости подложки, а угол падения соответствует углу

Брюстера.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Авторское свидетельство СССР Р 297976, кл, 6 06 К 9/00, 1969.

2. Патент Франции Р 2094751, кл. G 01 r 31/00, 1972.

3. Патент Великобритании N 1332112, кл. G 1 А, 1973, 4. Патент СССР Р 561527, кл. 6 01 В 11/02,,1970.

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4