Проекционный объектив

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕН ИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик

-е (61) Дополнительное к авт. свид-ву— (22) Заявлено 12.03.80 (21) 2893007/18-10 с присоединением заявки №вЂ” (23) Приоритет— (61) М. Кл.а

G 02 В 13/24

Государственный комнтет

Опубликовано 30.11 81. Бюллетень № 44 (53) УДК 778.22 (088.8) па делам нзобретеннй и открытий

Дата опубликования описания 05.12.81 (72) Авторы изобретения

Э. С. Гуревич и В. И. (7!) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫИ ОБЪЕКТИВ

Изобретение относится к оптическим системам и может найти применение в установках мультипликации и совмещения.

Известен объектив, состоящий из восьми компонентов (! 1.

Недостатком объектива является малое разрешение.

Наиболее близким к предлагаемому изобретению является проекционный объектив, содержащий девять компонентов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную .диафрагму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен из двухсклеенной отрицательной линзы, шестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, седьмой и восьмой компоненты выполнены из одиночных положительных линз,, а девятый компонент — одиночная отрицательная линза !2).

Недостатком объектива является малое разрешение на поле диаметром 20 мм .

Цель изобретения — увеличение разрешающей способности объектива.

Поставленная цель достигается тем, что в проекционном объективе, содержащем девять компонентов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную диафрагму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен из двухсклеенной отрицательной линзы, шестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме„седьмой и восьмой компоненты выполнены в виде одиночных положительных линз, а девятый компонент — одиночная отрицательная линза, второй компонент выполнен из одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, передний компонент состоит из двух склеенной положительной линзы, а четвертый компонент выполнен в виде одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к плоскости изображения.

На чертеже приведена оптическая схема объекти ва.

Объектив состоит из девяти компонентов — 9 и апертурной диафрагмы !0.

885953

ff 12 д д б

3 ,, г

l / 1 б

Г 4

Составитель М. Лебедев

Редактор И. Тыией Техред А. Бойкас Корректор В. Синицкая

Заказ 10539/58 Тираж 542 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам нзобретеный ы открытий.113035, Москва,. Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул Проектная, 4

Ком понент 1 — положи тел ьн ая оди ночная линза с соотношением радиусов 1:20, б, выполненная из баритового крона. Компонент 2 — положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предмета с соотношением радиусов 1:1,18, выполненный иэ сверхтяжелого крона и установленный на расстоянии равном 0,28 фокусного расстояния всего объектива от диафрагмы 10, расположенной между компонентами 1 и 2. Компонент 3 — положительная линза, склеенная из двух линз 1 и 12, . и выполненных соответственно из сверхтяжелого крона и тяжелого флинта, разность показателей преломления которых .составляет 0,0016, а разность дисперсий 18. Компонент 4 — положительный мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предмета, выполненный иэ сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:5,4. Компонент 5-отрицательная линза,. склеенная из двух линз 13 и 14, выполненных соответственно из сверхтяжелого крона и тяжелого баритового флинта, разность дисперсий которых

13,3. Компонент 6 — отрицательный мениск, обращенный .,вогнутостью к плоскости предмета из тяжелого. баритового флинта с соотношением- радиусов 1:2,3. Компонент 7— положительная двояковыпуклая линза из особого крона с соотношением радиусов

1:1,84. Компонент 8 — положительная двоя. ковыпуклая линза из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:0,76. Компонент 9 — отрицательная двояковогнутая линза из тяжелого баритового флинта с соотношением радиусов 1:17,7. Указанные конструктивные особенности позволили увеличить разрешение объектива при увеличении 1/4", что дает возможность получення минимального элемента в 2 мкм на поле диаметром 21,2 мм (!5 Х 15 мм), что повышает производительность фотолитографического оборудования, при исполь- . зовании объектива в установках мультипликации и совмещения.

Формула изобретения

Проекционный объектив, содержащий девять компон нтов и расположенную между первым и вторым компонентами апертурную диафратму, при этом первый компонент выполнен в виде одиночной положительной линзы, пятый компонент выполнен

15 из двухсклееннои отрицательной линзы, шестой в виде одиночного отрицательного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, седьмой и восьмой компоненты выполнены из одиночных положительных линз, 0 а девятый компонент — одиночная отрицательнаяа я линза, отличающийся тем, что, с целью увеличения разрешающей способности объектива, второй компонент выполнен чз одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к диафрагме, 2Ъ третий компонент состоит из двухсклеенной положительной линзы, а четвертый компонент. выполнен в виде одиночного положительного мениска, вогнутостью обращенного к плоскости иэображения.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР № 463938, кл. G 02 В 11/34, !973.

2. Авторское свидетельство СССР

35 № 605186, кл. G 02 В; 91 34., 1976.