Интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВ ТВЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистичвских

Республик

<>894351 (б1) Дополнительное к авт. сеид-ву (Я)м. кл.з (22) Заявлено 21 ° 03 ° 80 (21) 2899348/25-28 с присоединением заявки М

G 01 В 9/02

Государственный комитет

СССР но делам изобретений н открытий (23) Приоритет

Опубликовано 301281 бюллетень ЙВ 48 (53) УДК 531. 715.1 (088. 8) Дата опубликования описания 30. 12. 81

Б.A. Шапочкин, Б.M. Комраков и В.А. Чудакова

Московское ордена Ленина и ордена Трудовогб-Красного

Знамени высшее техническое училище им. Н.Э. Баумана (72) Автары изобретения (71) Заявитель (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ ПАРАБОЛИЧЕСКИХ

ПОВЕРХНОСТЕЙ

Изобретение относится к оптичес кому приборостроению и может быть использовано для контроля вогнутых параболических поверхностей.

Известен интерферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения, светоделитель, микрообъектив, линзу с эталонной сферической светодели тельной поверхностью, вспомогательное плоское или сферическое зеркало с отверстием, а также систему наблюдения 1).

Недостатком устройства является 15 сложность оптической системы и ее юстировки, так как при контроле необходимо с высокОй точностью выставлять вспомогательное зеркало с отверстием. Кроме того, интерференцион-29 ная картина, получаемая на устройстве, очень чувствительна к малым смещениям светоделительной поверхности, вспомогательного зеркала с отверстием и контролируемой поверхности,что не позволяет получить стабильную во времени интерференционную картину при наличии вибраций.

Наиболее близким по технической сущности к изобретению является интер-30 ферометр для контроля вогнутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектив, свето делитель, объектив, эталонную пластину со светоделительным покрытием на одной из граней, установленную покрытием к объективу, и систему для наблюдения интерференционной картины (2) .

Недостатком известного интерферометра--является наличие двух эталонных пластин, что усложняет оптическую схему интерферометра и его юстировку.

Цель:изобретения упрощение интерферометра.

Указанная цель достигается тем, что пластина выполнена клиновидной с отражающим покрытием на одной из половин второй грани и с просветляю щим - на второй половине этой же грани.

На чертеже представлена схема интерферометра.

Интерферометр содержит источник 1 монохроматического излучения, последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектнв 2, светоделитель 3, объектив 4, эталонную плас894351

Формула изобретения

Составитель Н. Захаренко

Редактор С. Тараненко Техред Т. Маточка Корректор С. Шекмар

Тираж 645 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 11437/60

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная,4 тину 5 с клиновидностью порядка 560" и со светоделительным покрытием б на одной из граней, с отражаюцим покрытием 7 на одной из половин второй грани и с просветляющим покрытием 8 — на второй половине этой же грани, систему 9 наблюдения интерференционной картины и контролируемую поверхность 10.

Интерферометр работает следуюци л . образом.

Излучение от источника 1 проходит микрообъектив 2, светоделитель 3, объектив 4, которые образуют телескопическую,систему, выходит параллельным потоком и падает на светоделительное по.:рытие 6 пластины 5.

Часть излучения, отраженная от светоделительного покрытия б,используется в качестве эталонного пучка сравнения;

Половина прошедшего излучения, расположенная выше оптической оси интерферометра . отражается от отражательного покрытия 7 пластины .5 и при взаимодействии с эталонным пучком сравнения образует вспомогательную интерференционную картину в виде прямых равноотстоящих полос.

Другая половина излучения,расположенная ниже оптической оси, проходит через просветляющие покрытия 8 пластины 5, последовательно отражается от нижней половины контролируемой поверхности 10, от отражающего покрытия 7, вновь проходит через просветляюцее покрытие

8 и светоделительное покрытие б пластины 5.

Эта часть излучения, взаимодействуя с эталонным пучкой сравнения, при наличии ошибок формы контролируемой поверхности 10 вызывает искривление интерференционных полос, которые исследуются в системе 9 наблюдения интерференционной картины.

Таким образом, интерферометр содержит только один эталонный опти-— ческий элемент, что упрощает оптическую схему устройства, а интерференционная картина, получаемая на устройстве, стабильна во времени.

Интерферометр для контроля вогl5 нутых параболических поверхностей, содержащий источник монохроматического излучения и последовательно расположенные по ходу излучения микрообъектив, светоделитель, объ20 ектив, эталонную пластину со светоделительным покрытием на одной из граней, установленную покрытием к объективу, и систему для наблюдения интерференционной картины, о т л и2 ч а ю шийся тем,,что, с целью упрощения интерферометра, пластина выполнена клиновидной с отражающим покрытием на одной иэ половин второй грани и с просветляющим — на второй половине этой же грани.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. Пуряев Д.T. Методы контроля оптических асферических поверхностей.

М., "Машиностроение", 1976,с. 134136,, 78-82.

2. Авторское свидетельство СССР .по заявке Р 2779651/25-28,кл.6 01 В 9/02

15.06.79.