Резистивный материал
(72) Авторы изобретения
Л, И. Розенцвайг и Н. Н. Серяков (71) Заявитель (54) РЕЗИСТИВНЫЙ МАТЕРИАЛ
Изобретение относится к материалам, применяемым в радиодеталестроении, а именно. к резистивным сплавам, используемым для изготовления металлопленочных резисторов.
Известны в радиодеталестроении сплавы, содержащие кремний, железо, хром, никель, 3 алюминий, вольфрам, применяемые как реэистивные материалы для тонкопленочных резисторов (1).
Недостаток сплава — недостаточная адгезия к подложке.
1О
Наиболее близким по технической сущности является сплав (2), МЛТ No 11, который содержит следующие ингредиенты, вес.%:
Кремний 54 — 57,0
Хром 12,4 — 15,4
Алюминий 12,4 — 15,4
Вольфрам 14,7 — 18,7
Этот сплав имеет кристаллическую структуру, используется в виде порошка с размером зерна менее 125 мкм.
Пленки сплава МЛТ N 11 при толщинах в пределах 0,1 — 1 мкм позволяют получить Ro от 2000 до 20000 Ом при величине а„от
250 ° 10 KÃ go 400 10 К 1 рези
МЛТ, изготовленные с использованием данного сплава в соответствии с ГОСТ 7113 — 77 имеют ай: а) в области положительных температур
+ 1000 10- К- б) в области отрицательных температур
+ 1200 10 6К .
Недостатком известного материала является низкий выход годных изделий из-эа некачественной адгезии металлизированного слоя к керамической подложке, вследствие чего на поверхности керамики на технологических операциях появляются царапины, риски, потертости.
Цель изобретения — повышение термостабильности и улучшение адгеэии.
Поставленная цель достигается тем, что в сплав МЛТ Р 11, в состав которого входят кремний, хром, алюминий, вольфрам, дополнительно введены ванадий н титан, при следующих соотношениях ингредиентов, вес.%:
Кремний 52,5-55,5
Хром 11,5 — 14,5
Алюминий 8,5-11,5
894803
Формула изобретения
Составитель Н. Кондратов
Редактор В. Пилипенко Техред 3.Фанта Корректор Г. Назарова
Заказ 11501/83 Тираж 787 Подписное
ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий
113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5
Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная. 4
Ванадий 4,5-7,5
Титан 2,5-3,5
Вольфрам Остальное
Для получения резистивного материала готовят шихту из компонентов следующего состава, %:
Кремний 54
Хром 12,8
Алюминий 9,7
Вольфрам 14,9
Ванадий 5,8
Титан 2,8
Плавка проводится в открытом индукторе высокочастотной установки в кварцевом тигле.
Полученный слиток измельчают в щековой дробилке и механической ступке до состояния порошка с размером зерна меньше 125 мкм.
При проведении опытных работ по получению тонкопленочных резисторов с пленкой, полученной из данного порошка методом термического испарения в вакууме, получены следующие результаты:
1. Выход годных изделий увеличился на
15 — 17%.
2. Процент выхода по ся в диапазоне
+ 100 ° 10 К составляет 75% в диапазоне безнарезных i йоминалов 2 кОм — 45 кОм.
3, Диапазон аа но ГОСТ 7113 — 77 снижается с +1000 10 К до + 400 ° 10 бК .
Положительный эффект от использования предлагаемого резистивного материала состоит также в том, что его применение позволяет на существующем оборудовании наладить выпуск прецизионных резисторов, пользующихся значительным спросом.
Резистивный материал для металлопленочвых резисторов, содержащий кремний, хром, алюминий и вольфрам, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения термостабильности и улучшения адгезии, он дополнительно содержит ванадий и титан при следующем соотношении компонентов, вес.%:
Кремний 52,5-55,5
Хром 11,5 — 14,5 зо
Алюминий 8,5 — 11,5
Ванадий 4,5-7,5
Титан 2,5-3,5
Вольфрам Остальное
Источники информации, 2S принятые во внимание при экспертизе
1. Справочник по электротехническим ма1териалам. Т. 3, Л., "Энергия", 1976, с. 387..
2. ГОСТ 7113 — 77 Сплав МЛТ вЂ” 11 (прототип).
