Электровакуумный ввод

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Соиоз Советскик

Социалистическмк

Реслублик

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТИЛЬСТВУ (61) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено 200380 (21) 2897644/18-21 (3 ) М. Кд з

Н 017 5/46 с присоединением заявки М— (23) Приоритет Государственный комитет

СССР ио делам изобретений н открытий

/ (ЯЗ) УДК 621.387 (088.8) Опубликовано 070382, Бюллетень Йо 9

Дата опубликования описания 070382 (72) Авторы изобретения

A. Må Амадз и ев и М Х «М Абдуев (71) Заявитель

Дагестанский политехнический институт (54 ) . ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫЙ ВВОД

Ъ

Изобретение относится к вакуумной технике и предназначено преимущественно для использования в исследо- . вательских и проьыаленных герметичных устройствах и в качестве-элементов электровакуумных приборов.

Известные электрические выводы имеют металлические проводники и изолятор, который плотно соединен с металлическими проводниками и с корпусом герметизируемого объема. Аналогами предлагаемого приспособления .могут служить вакуумные электрические вводы с изоляторами из стекла, кварца, керамики (11.

Наиболее близким к предлагаемому является вакуумный электрический ввод, содержащий металлические проводники и стеклянный изолятор, имеющие близкие температурные коэффициенты расширения (2).

Недостатком данного ввода является опасность возникновения течи в стыке изолятор-проводник, например, при перепадах температуры, так как температурные коэффициенты расширения проводника н изолятора, подобранные близкими, неодинаково зависят от температуры, кроме того, они имеют разные теплоемкости и резко. отличаются по теплопроводности, что приводит при нагреве и охлаждении к разнице в температурах между ними.

5 Другим недостатком - высокая чувствительность его надежности к точности соблюдения технологии йзготовленин. Указанная опасность возрастает при увеличении количества вво10 дове

Цель изобретения - повышение надежности электрических вводов путем исключения всех швов, кроме шва, соединяющего предлагаемое приспособление с корпусом герметизируемого объема, а также электрическая изоляция ввода от корпуса.

Поставленная цель достигается тем, что в электровакуумном вводе, содержащем проводящие и изолирующие элементы, ввод выполнен в виде полупроводниковой пластины с проводящими элементами, выполненными в виде отдельных сквозных областей, тип проводимости которых противоположен типу проводимости пластины, а изо,лирующими элементами служат встречно включенные р-и-переходы между областями, а так же тем, что все сквозные области с пластиной окружены сквозным замкнутым контуром, 911645 тип проводимости которого противоположен типу проводимости пластины.

На фиг. 1 изображено приспособ-. ление в плане; на фиг. 2 - разрез

A-A на фиг. 1..

На чертеже обозначены полупровод1 никовая пластина 1 р- или и-типа проводимости, замкнутый контур 2, тип проводимости которого противопо» ,ложен типу проводимости пластины, Г области 3, тип проводимости которых противоположен типу проводимости лас. тины ..

Области в предлагаемом приспособлении служат проводниками, а изоляция областей друг от друга осуществляется за счет того, что любые два р-и-перехода островок - пластина оказываются включенными встречно.

При любой. полярности напряжения между областями тока между ними не будет, потому что если один р-и-пере.ход открыт, то другой обязательно закрыт. Если корпус, в котором установлено данное приспособление, проводящий, то вторым р-и-переходом между . областями и корпусом служит р-n-rre- 2S реход койтур - пластина. Оьыческий контакт с областями осуществляется любым известным способом.

При перепадах температуры, на границах областей разных типов 30" проводимости не возникают механические. напряжения, так как легирующие примеси име1от концентрацию, не влияющую на температурный коэффициент расширения, теплоемкость и тепло- . 35 проводность материала пластины.

Свободные от контактов области пластины используются в качестве окон для ввода или вывода излучения.

Примером исполнения служит вакуумный электрический ввод, состоящий из полупроводниковой кремниевой пластины р-типа проводимости с областями и-типа проводимости, свя занный со стеклянным корпусом. В таком исполнении области служат проводниками для ввода электричества, а свободная от контактов с областями часть пластины « окном для ввода ИК-излучения и мощных импульсов лазера на СО .

Преимуществом предлагаемого приспособления перед другими электрическими вводами является более высокая надежность герметизации, большее количество вводов на единйцу площади, технологичность при массовом производстве (все области и контур выполняются одной операцией и,трудоемкость не зависит от количества областей, т.е. вводов).

Формула изобретения

1. Электровакуумный ввод, содержащий проводящие и изолирующие элементы, отличающийся тем, что, с целью повышения его надежности, ввод выполнен в виде полупроводниковой пластины с проводящими элементамиp выполненными в виде отдельных сквозных областей, тип проводимости которых противопо ложен типу проводимости пластины, а изолирующие. элементы выполнены в виде встречно включенных р-и переходов между областями.

2. Устройство по п. 1, о т л ич а ю щ е е с я тем, что, с целью электрической изоляции областей от корпуса, они окружены сквозным замкнутым контуром тип проводимости которого противоположен типу проводимости пластины.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе .

1. Данилин Б.С., Минайчев В.E.

Основы конструирования вакуумных систем. M., Энергия, 1971, с. 12-20.

2. Розбери. Ф. Справочник по вакуумной технике и технологии. И., Энергия, 1972, с. 40-53 (прототип) .

Составитель В. Жаков

Редактор М. Янович Техред С.Мигунова ° Корректор С. Йомак

Заказ 1140/46 Тираж 758 . Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и -открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб.> д. 4/5

Филиал ППП Патент, г. Ужгород, ул. Проектная, 4