Способ просветления деталей из германия

 

О П И С А Н И Е ()932439

ИЗОБРЕТЕНИЯ

Союз Советские

Сецналнетнчееяне

Реснубпнн

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву(22) Заявлено 30. 04. 80 (21) 2920408/18-10 с присоединением заявки № (23) Приоритет

Опубликовано 30.05.82. Бюллетень № 20

Дата опубликования описания 30.05.82 (5! )М. Кл.

G 02 В 5/28 фкудеретеаеный канитет

СССР ае лелем нзееретеннв и етерытвй (53) УД1 535 345.. б(088. 8) (72) Авторы изобретения

Г. Г. Закиров и И.Б. Хайбуллин

e I .., 4р "" 4.

7л . -.:

БЫЕ7,;.",. ..Казанский физико-технический институт Ка филиала АН СССР л цд (7I) Заявитель (54) СПОСОБ ПРОСВЕТЛЕНИЯ ДЕТАЛЕЙ ИЗ ГЕРИАНИЯ

Изобретение относится к оптике, а именно к способам нанесения просветляющих покрытий на оптические детали, и может быть использовано при изготовлении светофильтров из германия.

Известны способы просветления оптических деталей, включающие облучение их поверхности пучком ионов с последующим нанесением многослойных диэлектрических покрытий (1).

Недостатками данных способов являются малый спектральный диапазон просветления и сложность осуществления.

Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является способ, заключающийся в облучении деталей пучком ионов элементов с массой 75-208 ат.ед. массы и энергией 100-300 кэВ (2).

Недостатком известного способа является малый спектральный диапазон просветления деталей из германия.

Цель изобретения — расширение спектрального диапазона просветления деталей из германия.

Поставленная цель достигается тем, что в способе просветления оптических деталей путем облучения их поверхности пучком ионов элементов с массой 75-208 ат.ед.массы и энергией 100-300 кэВ, облучение производят при плотности ионного тока до

10 мкА/см дозой 3 10 -3 10 ион/см.

На чертеже в качестве примера приведены спектры пропускания (:зависимость коэффициента пропускания Т от длины волны электромагнитного

15 излученияА) германия до (кривая a) и после облучения ионами сурьмы (кривые б, в и г).

Способ реализуется с помощью ионно-лучевого ускорителя ИЛУ-3, в вакуумную камеру которого помещается полированная пластина из германия

ГЭС-40. При этом давление в вакуумной камере составляет 10

Э 9324

10 мм рт.ст., а доза облучения иэме М

Фа нялась от 3 F10 ион/см до 3 10 а.

В этом случае кривой б соответствует. доза 3 10, кривой в - 3-10 ион/см, Я

Наибольшее увеличение коэФФициента З пропускания наблюдается при облучении пластины из германия с Противо» о ° Я, положных сторон дозой ji 10 ион/см (кривая r).

В основу изобретения положена экс- 1© периментально обнаруженная айомалия зависимости коэффициента пропускания германия от дозы облучения. Данный способ обеспечивает просветление onхраесх х деталей иэ германия в ши- 1М роком спектральном диапазоне (0,.214 мкм), причем детали обладают высокой стойкостью к атмосферным и химическим воздействиям и имеют диапа-,, зон рабочих температур от -273 С 36 до 300 С, что дает возможность увели39 ф чить срок службы светофильтPQ8 °

Формула изобретения

Способ просветления деталей из германия путем облучения их поверхности пучком ионов элементов с мас сой 75-208 ат.ед.массы и энергией

100-300 кэВ, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью расширения спектрального диапазона просветления, облучение производят при плотмОсти ионнО О тока до 10 мкА/см

2. дозой 3 10 -3 ° 10 ион/см

1т и

Источники инФормации, принятые во внимание при экспертизе

1. Авторское свидетельство СССР

Р 16407, кл. G 02 В 9/28, опублик.

1977

2. "Интегральная оптика". Под ред. Тамира, И., "Мир" (прототип).

ВНИИПИ Заказ 3778/66 Тираж 516 Подписное

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4