Устройство для двустороннего совмещения шаблонов и экспонирования подложки

 

ОПИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Союз Советских

Социалистических

Республик (и1959020 (6!) Дополнительное к авт. сеид-ву (22) За ено 19.02.81 {21) 3252324/18.-10 с присоединением заявки ¹

Р М К з

G 03 В 27/02

В 41 М 3/08

Государственный. комитет

СССР но делам изобретений и открытиЯ (23) Приоритет

Опубликовано 15,09. 82.бюллетень ¹34

Дата опубликования описания 15. 09. 82

f33) УДК 778.11 (088.8) (72) Авторьв изобретения

Г.П. Шадурский, Ф.A. Павликов, Л.В. Гома (71) Заявитель

{54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ДВУСТОРОННЕГО СОВМЕЩЕНИЯ

ШАВЛОНОВ И ЭКСПОНИРОВАНИЯ ПОДЛОЖКИ

Изобретение относится к производству изделий элекроиной техники и може быть использовано для точного ,многократного переноса изображения с, уотошаблонов на подпожки при процессах фотолитографии.

Известно устройство для двустороннего совмещения и экспонирования подложки, содержащее основание, верхний шаблонодержатель, крестовый столик с держателем подложки,.имеющим возможность вертикальных перемещений, нижний шаблонодержатель с возможностью вертикальных перемещений, распо" ложенный на другом крестовом столике, микроскоп, верхнюю и нижнюю осветите льные систеьы (1 j.

Недостатком этого устройства является. сложность конструкции и большое количество органов управления из-за наличия двух крестовых столиков.

Наиболее близким к предлагаемому является устройство для совмещения и экспонирования, содержащее основание, основной крестовый стол с центральным окном, на котором установлен держатель одного из шаблонов. На основном крестовом столе крепится дополнительный крестовый стол вместе с держателем другого шаблона. На основании закреплен поворотйый держатель подложки .с механизмом коррекции непараллельности поверхностей подложки и шаблона. Имеются также вакуумная система, микроскоп, верхний и нижний осветитель 2 .

В данном устройстве используются два крестовых стола, что приводит к значительной сложности конструкции, большому количеству органов управления.

Цель изобретения -,упрощение конструкции и повышение удобства работы.

Поставленная цель достигается тем, что устройство снабжено установленныО ми на основании и расположенным в центральном окне крестового стола полым столиком фиксации одного из шаблонов, при этом держатель подложки установлен с воэможностью возвратно-поступательного перемещения

I в плоскости, перпендикулярной к плоскости перемещения крестового стола.

На приведенном чертеже изображено устройство для двустороннегс совмещения шаблонов.и экспонирования подложки, разрез.

959020

Устройство содержит основание 1, на котором расположены поворотный крестовый стол 2, подвижный 3 и неподвижный 4 осветители, столик фиксации 5, закрепленный на подвижном осветителе 3, микроскоп б, ме- 5 ханиэм коррекции 7, расположенный на основании 1, держатели 8 и 9, размещенные на крестовом столе 2 и имеющие воэможность независимого вертикаьного перемещения, шаблоны 10 и 10

11, подложку 12 и держатель 13 шаблона 10..

Устройство работает следующим образом.

Фотошаблон 10 крепится вакУУмом на держателе 13, установленном на механизме коррекции 7. Шаблон 14. Устанавливается на .столик фиксации 5.

Держатель 8 поднимается до контакта с шаблоном 11. Происходит включение вакуума на держателе 8, затем выключение вакуума на столике 5. Таким образом, шаблон 11 оказывается закрепленным на держателе 8. Далее держатель 8 аЬднимается до контакта

25 шаблонов 10 и.11 и происходит их плоскопараллельное выравнивание и сов.мещение шаблона 11 крестовым столом

2 . Затем шаблон 11 опускается н,Р столик 5, происходит перефиксация вакуумом шаблона 11. с держателя 8 на столик 5, и:держатель 8 опускается ниже, поэтому шаблон 11 сохраняет свою ориентацию относительно шаблона 10. На держатель 9 устанавливается подложка 12, он поднимается до Ç5 контакта с.шаблоном 10, после чего подложка 12 ориентируется перемещением крестового стола 2. Далее держатель 8 подхватывает шадлон 11, е перефиксацией его вакуумом и приводйт40 в контакт шаблон 11 с подложкой 12.

Затем из рабочей зоны выводится микроскоп б, вводится подвижной осве.титель 3, и подложка экспонируется одноврейенно с двух стоРон. Оба дер- 45 жателя опускаются, шаблон 11 фиксируется на столике 5, по-прежнему сохраняя ориентацию, а экспонированная подложка снимается с держателя 9.

Такое выполнение устройства упрощает конструкцию за счет того, что отсутствует необходимость в дополнительном крестовом .столе и повышается удобство работы эа счет того, что операция совмещения шаблона и подложки производится одними и теми же органами управления.

Формула изобретения

Устройство для двустороннегб совмещения шаблонов и экспонирования подложки, содержащее расположенный с возможностью перемещения на основании крестовый стол с центральным окном, держатели шаблонов, один иэ которых связан с механизмом коррекции непараллельности рабочих поверхностей шаблонов, а другой установлен подвижно относительно крестового стола, держатель подложки, два осветителя, установленный над механизмом коррекции непараллельности рабочих поверхностей шаблонов микроскоп и вакуумную систему, о т л и ч а ю— щ е е с я тем, что, с целью упрощения конструкции и повышения удобства работы, оно снабжено установленным на основании и расположенным в центральном окне крестового стола полым столиком фиксации одного иэ шаблонов, при этом держатель подложки установлен с возможностью возвратно-цоступательного перемещения в плоскости, перпендикулярной плоскости crepe: мещения крестового стола.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1. авторское свидетельство СССР

9 414142, кл B 41 N 3/08, 1974.

2. Патент СР1 Р 225á739, кл . Н. 01 6 9/05, опублик. 1975 (прототип).

Составитель В.Гордеев

Редактор Л. Авраменко Техред Т.Фанта . . Корректор О. Билак

Заказ 7013/63 Тираж 488 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ПНП "Патент",, r.ужгород, ул.Проектная, 4