Устройство для параметрического контроля интегральных схем
ОП ИСАНИЕ
ИЗОБРЕТЕН ИЯ
К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Союз Советскик Социалнстнческнк Республик (61) Дополнительное к авт. свйд-ву (22) Заявлено 15. 04. 81 (21) 3276539/18-21 (51)М. Кд. 4 01 т1 31/28 с присоеаинением заявки М Гооударстмнный комнтет СССР (23) Приоритет (5З) УИК 621. 317..79(088.8 ) по делам нзобретеннй н открытий Опубликовано 30.12.82. Бюллетень № 48 Дата опубликования описания 30 . 12 . 82 Л.М; Скороходова и С.А. Гаврилов (72) Авторы изобретения (71) Заявитель (54 ) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ПАРАМЕТРИ4ЕСКОГО КОНТРОЛЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для параметрического контроля интегральных схем. Известно устройство для параметрического контроля интегральных схем (ИС), содержащее коммутационную матрицу, программируемый источник питания, дешифратор, счетчик выводов, генератор тактовых импульсов, измеритель, элементы И, элементы сравнения, панели коммутации (1 1. Данное устройство обеспечивает контроль параметров ИС (токов утечки в частности ) по каждому выводу после-, довательно, Однако данное устройство контроля обладает следующими недостатками: время контроля по каждом выводу ИС неизменно, а поэтому общее время конт- го роля ИС велико, кроме того, наличие большого количества коммутационных планок усложняет переход от одного типа ИС к другому типу. Наиболее близким к предлагаемому является устройство для параметричес" кого контроля интегральных схем, со" держащее сдвиговый регистр, коммутатор, коммутационную планку, измери" тельный элемент ИЛИ, элементы И, регистр, триггер, генератор тактовых импульсов (2 ). Известное устройство обеспечивает ограничение допустимого времени конт" роля по каждому выводу ИС, что дает более быстрое выделение признака годности или брака по каждому выводу ИС. Однако оно фиксирует появление признака "Брак-Годен" и не осуществляет. никаких воздействий на ИС, которые способствовали бы стоку паразитных зарядов с ИС, что препятствует ускорению измерений по каждому выводу от" дельно, а следовательно снижает npo"" изводительность известного устройства. Цель изобретения - повышение производительности контроля за-счет формирования на интегральной схеме до985755 3 йолнительных воздействий, способствующих ускорению стока паразитных зарядов с ИС. Поставленная цель достигается тем, что в устройство для параметрическо- 5 го контроля интегральных схем, содержащее триггер, генератор тактовых импульсов, элемент ИЛИ, первый, второй и третий элементы И, и первый сдвиговый регистр, соединенный первыми выходами с входами коммутационной планки и со входами коммутатора, первые выходы которого соединены с первыми выходами устройства, второй выход коммутатора соединен с первым вхо- 5 дом измерителя, первые выходы коммутационной планки соединены с входами регистра, выходы которого соединены с входами программируемого блока питающего напряжения, выход которого соединен со вторым входом измерителя, введены второй сдвиговый регистр, первый и второй электронные ключи, блок питающего напряжения, шина "Брак", шина "Пуск", шина нбоден", причем второй вход устройства соединен с выходами первого и второго электронных ключей, первый вход первого электронного ключа соединен с выходом блока питающего напряжения, второй вход первого электронного ключа соединен с выходом первого элемента И, первый вход которого соединен с вторым выходом коммутационной планки, третий выход которой соеди- зз нен с первым входом второго элемента И, выход которого соединен с первым входом второго электронного ключа, второй вход которого соединен с третьим выходом коммутатора, выход 40 .измерителя соединен с первым входом третьего элемента И, выход которого соединен с первым входом элемента ИЛИ, второй вход которого соединен с шиной "Пуск" и входом установки первого 45 сдвигового регистра и сбросовым входом второго сдвигового регистра, тестовый вход которого соединен с выходом генератора тактовых импульсов, вход которого соединен с первым выхо- so дом второго сдвигового регистра и шиной "Брак", выход элемента ИЛИ соединен с тактовым входом первого сдвиго-, вого регистра, установочным входом второго сдвигового регистра и первым входом триггера, второй вход которого соединен с вторым выходом второго сдвигового регистра, первый выход триггера соединен с вторым входом первого элемента И, второй выход триггера соединен с вторыми входами второго и третьего элементов И, второй выход первого сдвигового регистра со- единен с шиной Тоден", второй выход генератора тактовых импульсов соединен с третьим входом измерителя. На чертеже представлена структурная схема предлагаемого устройства. Устройство содержит генератор 1 тактовых импульсов, первый сдвиговый регистр 2, второй сдвиговый регистр 3, измеритель 4, триггер 5, интегральную схему 6, коммутатор 7, первый 8 и второй 9 электронные ключи, коммутационную планку 10, программируемый блок 11 питающих напряжений, блок 12 питающего напряжения, элемент ИЛИ 13, первый 14, второй 15 и третий 16 элементы И, регистр 17, шину "Пуск" 18, шину "Годен (19, шину "Брак" 20. Устройство работает следующим образом. Сигнал с шины "Пуск" 18 записывает единицу в первый разряд сдвигового регистра 2 и сбрасывает в ноль сдвиговый регистр 3. Сигнал с выхода элемента ИЛИ 13 взводит триггер 5, записывает единицу в первый разряд сдвигового регистра 3 и сдвигает единицу B сдвиговом регистре 2 на один разряд. Сдвиговый регистр 2 через коммутатор 7 подключает выводы интегральной схемы 6 к измерителю 4. Кроме того, сдвиговый регистр 2 через коммутационную планку 10, соединен с регистром 17, который задает режим измерений на программируемый блок 11 питающего напряжения,подключаемый к выводам интегральной схемы 6 через измеритель 4, для задания измерительного напряжения. Триггер 5 блокирует выход измерителя через схему И 16 и открывает элемент И 14 по одному входу. При этом на другой вход элемента И 14 подается сигнал с коммутационной планки 1О. По этому сигналу разрешается подача напряжения с блока 12 питающего напряжения через электронный ключ 8 на подложку ИС 6. Подача напряжения с блока питающего напряжения 12 на ИС 6 через электронный ключ 8 для стока заряда осуществляется только во взведенном состоянии триггера 5, который сбра985755 6 нйх зарядов из испытуемой интегральной схемы позволяет повысить производительност ь контроля интегральных 6 схем в 2-3 раза. Формула изобретения сывается сдвиговым регистром 3, задающим временную диаграмму его рабо ты. При переходе к измерению входно го тока утечки по новому выводу ИС происходит вначале взведение триггера 5 через элемент ИЛИ.13 от измерителя 4, что приводит к подаче на пряжения от блока 12 на подложку ИС 6, и ускоряет сток паразитных зарядов с ИС 6, а следовательно ускоряет уста1О новление измеряемого тока утечки по выводу ИС 6. Затем триггер 5 сбрасывается сигналом с сдвигового регистра 3, при этом открываются элементы И t5 и И 16, снимается напряжение - 5 с,подложки ИС 6 и Происходит замер тока утечки измерителем 4 в устано-вившемся режиме, т.е. при установочном значении тока утечки. Ключ 9 обеспечивает подключение вывода подложки ИС 6 к измерителю 4 в момент времени, определяемый коммутацией на планке 10, для измерения тока утечки по этому выводу. 1 25 . Сигнал о годности ИС 6 с измерителя 4 поступает через элементы И 16, ИЛИ 13 на входы сдвиговых регистров 2 и 3. При этом сдвиговый регистр 3 приходит в исходное состояние, в сдвиговом регистре 2 происходит сдвиг 30 единицы на один разряд, а устройство переходит к измерению тока утечки к следующему выводу ИС 6. Сдвиг единицы в сдвиговом регистре 2 происходит до тех пор, пока не будут произведены измерения по всем выводам ИС 6, т.е. будет зафиксирована годность ИС 6 сигналом с выхода старшего разряда сдвигового регист1 ра 2 на шину "Годен" 19. В случае негодности ИС 6 по какому-либо ее выводу сигнал с выхода измерителя 4 на сброс регистра 3 не вырабатывается. При этом сдвиговый регистр 3 сохраняет состояние с единицей в старшем разряде, использованной для сброса триггера 5. Сигнал с выхода старшего разряда сдвигового регистра 3 блокирует работу генератора 1 тактовых импульсов и фиксирует признак бра50 ка ИС 6 на шине "Брак" 20. Таким образом, применение предлагаемого устройства позволяет активно управлять процессом контроля токов утечки интегральных схем, а не только фиксировать появление сигнала годности в заданных пределах времени. Обеспечение ускоренного стока паразитУстройство для параметрического контроля интегральных схем, содержащее триггер, генератор тактовых импульсов, элемент ИЛИ, первый, второй и третий элементы И, и первый сдви" говый регистр, соединенный первыми выходами с входами коммутационной .. планки и со входами коммутатора, первые выходы которого соединены с первыми выходами устройства, второй Выход коммутатора соединен с первым входом измерителя, первые выходы ком" мутационной планки соединены с входами регистра, выходы которого соединены с входами программируемого блока питающего напряжения, выход которого соединен со вторым входом измерителя, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью повышения производительности контроля, в него введены второй сдвиговый регистр, первый и второй электронные ключи, блок питающего напряжения, шина "Брак", шина "Пуск", шина "Годен", причем второй вход устройст" ва соединен с выходами первого и Второго электронных ключей, первый вход первого электронного ключа соединен с выходом блока питающего напряжения, второй вход первого электронного ключа соединен с выходом первого элемента И, первый вход которого соединен с вторым выходом коммутационной планки, третий выход которой соединен с первым входом второго элемента И, выход которого соединен с первым входом второго электронного ключа, второй вход которого соединен с третьим выходом коммутатора, выход измерителя соединен с первым входом третьего элемента И, выход которого соединен с первым входом элемента ИЛИ, второй вход которого соединен с шиной "Пуск" и входом установки первого сдвигового регистра и сбросовым входом второго сдвигового регистра, тактовый вход которого соединен с выходом ге" нератора тактовых импульсов, вход которого соединен с первым выходом второго сдвигового регистра и шиной "Брак", выход элемента ИЛИ соединен 7 985755 8 с тактовым входом первого сдвигового ра соединен с шиной "Годен", второй регистра, установочным входом второ- выход генератора тактовых импульсов ro сдвигового регистра и первым вхо- соединен с третьим входом измерителя. дом триггера, второй вход которого соединен с вторым выходом второго Источники информации, сдвигового регистра, первый выход принятые во внимание при экспертизе триггера соединен с вторым входом 1; Авторское свидетельство СССР первого элемента И, второй выход N 694822, кл. G 01 R 31/28, 1979. триггера соединен с .вторыми входами 2, Авторское свидетельство СССР второго и третьеГо элементов И, вто- 10 по заявке 11 2870355, рой выход первого сдвигового регист- кл. С 01 Р 31/28, 1980 (прототип). ВНИИПИ Заказ 10162/67 Тираж 717 Подписное Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4
