Проекционный объектив с увеличением -1/30 @

 

ОП ИСАНИЕ

ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Соева Соввтскмх

Соцкалкстнчвеккх

Рвепублкк

<0991346 (6! ) Дополнительное к авт. свид-ву (22) Заявлено lg,02. 81 (21) 3248021/18" 10 с присоединением заявки,»«в (53)М. Кл.

G 02 В 13/14

Гевударетеенвй кемнтет

CCCP (23) П риоритет (53) УДК 778 22 (088.8) Опубликовано23. 01. 83. Бюллетень »««е 3 ве аелем нзебретеннй . и атнрмтий

Дата опубликования описания 23,01,83 (72) Авторы изобретения

T,Н.Александрова, Б.Н,Котлецов, Э.С.Гуре

Г.И.Тихончук и Л,Д,Пигулевская (7l ) Заявитель (54) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” 1/30

Изобретение относится к оптичес ким системам и может найти приме- . нение в микроэлектронике в проекционных системах экспонирования.

Известен объектив для ультрафиолетовой и видимой области спектра с увеличением " 1-25 и апертурой 0,35, состоящий иэ трех компонентов, первый из которых - плосковыпуклая линза, а второй и третий - трехлинэовые несклеенные компоненты (1 ), 1О

Однако отот объектив предназначен для микроскопов. Он иммерсионный, с.малым рабочим, отрезком и недостаточной коррекцией аберраций и поэто«5 му не может быть использован в проекционных системах экспонирования, Известен проекционный объектив с увеличением - 1/30, содержащий четыре компонента, первый иэ которых мениск, второй - положительная линза, третий - положительная двух-. склеенная линза, а четвертый — мениск, обращенный выпуклостью к плоскости

2 предметов. Объектив рассчитан для л,=404,7 нм, апертурой Я 0,35 (2).

Недостатком объектива является невозможность использования его дпя экспонирования в ультрафиолетовой области спектра из-за неисправленных аберраций в этой области спектра и наличия линз, выполненных из материалов, непрозрачных в ультрафиолетовой области спектра, а также малый рабочий отрезок и сложность конструкции.

Цель изобретения - улучшение аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра, увеличение рабочего отрезка до 0,5 фокусного расстояния объектива и упрощение конструкции, Поставленная цель достигается тем, что в проекционном объекте с увеличением — 1/30", содержащем четыре компонента, первый из которых мениск, второй - положительная линза, третий. положительная двухсклеенная линза, а

991346

Ююсюслм иэпп амелий асаими

ЬФУ/77РЮ

Составитель В.Андреев

Редактор А,Козориэ Техред м. Тепер Корректор С.йекмар

Заказ 126/63 Тираж 509 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР.по делам изобретений и открытий

113035, Москва, I-35, Раушская наб,, д, 4/5 филиал ППП "Патент", г, Ужгород, ул, Проектная, 4

3 четвертый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости, предметов, первый компонент выполнен одиночным отрицательным, обращенным вогнутостью к плоскости предметов, второй - в ви- 5 де двояковыпуклой линзы и расположен от первого компонента на расстоянии 0,58 фокусного расстояния объектива, в четвертый компонент выполнен положительным, 10

На чертеже приВедена принципиальная оптическая схема предлагаемого объектива, Объектив состоит из четырех компонентов, 15

Первый компонент - отрицательный мениск 1, выполненный из кварца с соотношением радиусов 1: 1,4, Второй компонент - двояковыпук- ; лая положительная линза 2, выполненная иэ флюорита с соотношением радиусов 1:1,7.

Третий компонент - положительный мениск, склеенный из положительной 3 и отрицательной 4 линз, выполненных из флюорита и кварца, разность показателей преломления которых составляет 0,0312, Четвертый компонент - положительный мениск, выполненный из кварца с соотношением радиусов 1:1,6. х

Объектив имеет увеличение - 1/30 апертуру А1 0,3, поле зрения 2у 7 мм. фокусное расстояние объектива Г=

13 В

Предлагаемый объектив более простой конструкции, чем известные, он рассчитан для ультрафиолетовой области спектра при высокой степени коррекции аберраций, имеет рабочий отрезок 0,5 фокусного расстояния объектива. формула изобретения

Проекционный объектив с увеличением - 1/301, содержащий четыре компонента, первый из которых мениск, второй - положительная линза, третий положительная двухсклеенная линза,.а четвертый - мениск, обращенный выпуклостью к плоскости предметов, о тл и ч à ю шийся тем, что, с целью улучшения аберрационной коррекции в ультрафиолетовой области спектра, увеличения рабочего отрезка до

0,5 фокусного расстояния объектива и упрощения конструкции, первый компонент выполнен одиночным отрицательным, обращенным вогнутостью к. плоскости предметов, второй - в виде двояковы— пуклой линзы и расположен от первого компонента на расстоянии 0,58 фокусного расстояния объектива, а четвертый компонент выполнен положительным.

Источники информации, принятые во внимание при экспертизе

1, Панов В.А, Андреев Л.Н, Оптика микроскопов. Л,, "Машиностроение", 1976, с. 127.

2, Патент Великобритании Ю 1167960, кл, G 2 J, опублик., 1969 (прототип).