Диазосульфонаты (G03C1/56)
G Физика(403185)
G03 Фотография; кинематография; аналогичное оборудование, использующее волны иные, чем оптические; электрография; голография (воспроизведение изображений или образов путем развертки и преобразования в электрический сигнал H04N)
(10965)
G03C Светочувствительные материалы для фотографических целей (фотомеханические способы и процессы G03F); фотографические способы и процессы, например кинематографические, рентгенографические, цветные, стереофотографические; вспомогательные способы и процессы в фотографии (фотографические способы, отличающиеся применением аппаратов, как таковых, отнесенных к G03B, см. G03B; фотомеханическое изготовление рельефных поверхностей или поверхностей с рисунком G03F; электрография, электрофотография, магнитография G03G)
(2822)
G03C1 Светочувствительные материалы (светочувствительные материалы для цветных фотографических процессов G03C7; для процессов с диффузионным переносом G03C8; светочувствительное стекло C03C4/04)
(1777)
G03C1/56 Диазосульфонаты(2)
Позитивный фоторезист // 2100835
Изобретение относится к позитивным фоторезистам и может быть использовано в фотолитографических процессах при изготовлении интегральных схем в микроэлектронике, радиоэлектронике. .
Способ копирования // 9419
