Изобретение относится к нанотехнологиям, в частности к изготовлению микроканальных пластин (МКП), и может быть использовано в разработке приборов оптоэлектронной техники. В один этап проводят операцию термоводородного восстановления при температуре 420-440°С в течение 6-10 часов с давлением водорода порядка одной атмосферы, последующий после операции восстановления отжиг пластин проводят в инертной атмосфере в течение часа при температуре 300°С, а окончательную вакуумную сушку пластин осуществляют при температуре 200°С.