Новый способ вытягивания слитков-монокристаллов

 

Pk 107653

Класс 21h, 12

СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТСРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

О. М. Оганесян

НОВЫЙ СПОСОБ ВЫТЯГИВАНИЯ СЛИТКОВ- МОНОКРИСТАЛЛОВ

Заявлено 15 июня 1956 г. за ¹ 553396 в Комитет ио делам изобретений и открытий прн Совете Миниетров СССР

Предлагается новый способ вытягивания слитков-монокристаллов из тигля того >ке материала с нагревом его бомбардировкой заряженными частицами, ускоряющимися и фокусирующимися с помощью электростатической, магнитной или электромагнитной оптики.

Установлено, что, если сам вытягиваемый материал одновременно является тиглем, исключаются окислительные процессы и загрязнение металла при вытягивании слитковмонокристаллов. ,1,ля осуществления способа предло>ксн э IcKTpoHHo-ионный нагреватель, работа и описание - которого показаны на фиг. 1 и 2.

HarpеВатель состоит из вакуумной камерь. 1, в которой устанавливается брусок 2, состоящий из материала Вь1тягивас ль1х слитков-монокр.lcTa,ялов. Брусок 2 I. îìåùàåòñÿ на !1латформе 3 и вращается вокруг оси 00. В вакуумной камере симметрично оси 00 установлены одна или несколько отдельных пушек, выбрасывавших заряженные частицы. .Вспху отделш1ым механизмом спускается затравка в центральную часть поверхности расплавленного металла, и прп помо1ци ее вытягивается слиток 4. Затравка вращается вокруг оси 00 и перемещается вдоль нее. Через щели охлаждаемой коробки 5 и 5а к пушкам заря>кенных частиц катода 6 подводится питание высокого напряжения, Прп помощи электрода 7 отсасываются заряжен!!ые частицы, дв!1: кение которых ускоряется электродом 8.

3. ектростатнческая оптическая система фокусирует ;l одновременно аправляет и -гок зарян.енных

11са p_#_i:0cTI= бруска 2.

Вс, !сдствнс прсВр ягцсния .Инсl!1ческ011 эпсргнп заряженных частиц в теплоi.óio, в бруске образуется раснлавлсп:1ая зона 9. Раз леры и ф;!p:.:а -.tai .ü о регулируются зилом н ннтс С11г ость!о охлаждения.

Ва! ",, —,".aмера ох,".яждастся вснаблюдснря за процессом имеются

1 Г

c,! T"., Выс скila . 11 1, Вякуузlо. ячк . 1!ров Вод !т я Icpcç окно 18.

T мп "l; a T р я ко:и р о.1ируется фо", о-., !åcl:T l оllllы,, тройство;I 14, прнВс " !1С " 111! О !- егх "!Всвянпе № 107653 и контроль осуществляется с точностью до + 1%. Фотоэлектронное устройство через усиливающее приспособление 15 воздействует на высокочастотный источник питания1б.

Источник питания соединен с электронными пушками. Накал электронных пушек стабилизируется отдельным устройством.

Электронно-ионный нагрев, по сравнению с индукционным методом нагрева, способствует осуществлению зонного расплавления металла. Одновременно этот способ позволяет получать чистый металл, так как при нем происходит расплавление непосредственно материала самого тигля. Поэтому его применяют для получения слитков или монокристаллов чистого металла.

Этот способ используется для получения полупроводниковых материалов, а также для голучения чистых металлов в черной и цветной металлургии.

Выгодность применения этого способа заключается в том, что он позволяет получать слитки-монокристаллы из тигля того же материала, используя при этом бестигельную плавку и электронно-ионный нагрев.

Предмет изобретения

Новый способ вытягивания слитков - монокристаллов, о т л и ч а ющийс я тем, что, с целью исключения окисления и загрязнения монокристаллов при их вытягивании, в нем используется в качестве металла шихты тигель того же материала, а нагрев металла осуществляется бомбардировкой тигля-металла заряженными частицами с ускорением движения, которые фокусируются с помощью электростатической, магнитной или электромагнитной оптики. № 107653

Фиг. 2

Отв. редактор Л. Г. Голандский

Стандартгиз. Поди. к печ. 25/III 1958 r. Объем 0,25 п. л. Тираж 800. Цена 50 коп. ."::поггафпя Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Москва, Нсглпнная, д. 23. Зак. 1273