Объектив телецентрический для ультрафиолетовой области спектра

 

ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ УЛЬТРАФИОЛЕТОВОЙ ОБЛАСТИ СПЕКТРА, содержащий диафраш му и восемь компонентов, из которых первый, второй, пятый, шестой, седьмой и восьмой - положительные линзы, а третий и четвертый - отрицательные линзы, первый, второй и шестой компоненты одиночные двояковыпуклые лвнзы, . третий, одиночный b восьмой - менисвл, обращенные вогнутостью к изо1)аженнх а пятый - мениск, обращенный вогнутостью к объекту, о т л и ч а ю щ в It с я тем, что, с целью уменьшения хроматизма положения и увеличения прсщускания в ультрафиолетовой области спектра, четвертый компонент выполнен в ваде двух положительных линз из материала с шжазателем преломления 1,43 и коэффвавгентом дисперсии 95, склеенных с расположенной между ними двояковогнутой линзой из материала с показателем преломления 1,6 и коэффициентом дисперсии 33, а седьмой компонент выполнен в вцде сщиночного мениска, обращенного ветвутастыо i к изображению, из материала с показател/У лем преломления 1,46 и крэф яанентом F дисперсии 68.

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU„„10121 7

ЗсЮ G 02 В 13/14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕП=ЛЬСТЕЦУ (2 1) 3317 176/18-10 (22) . 14.07.81: (-46) 15.04.83. Бюл. М 14 (72) А. П. Грамматин, А. А. Багдасаров, Е. Е. Яковлева и Н. Г.. Кувшинов (53) 771. 351.6(088.8). (5.6} 1. Авторское свидетельство СССР

34 527682, кл.Q 02 В 11/ОО, 1975.

2. Авторское свидетелвство СССР

М Ь71122, Kn. G 02 В 13/14, 1980 . (прототип). (54) (57) ТЕЛЕЦЕНТРИЧЕСКИЙ ОБЪЕКТИВ ДЛЯ УЛЪТРАФИОЛЕТОВОЙ

ОБЛАСТИ СПЕКТРА, содержащий диафраг.му и восемь компонейтов, из которых первый, второй, пятый, шестой, седьмой и восьмой - положительные линзы, а тре тий и четвертый - отрицательные линзы, причем первый, второй и шестой компоненты - одиночные двояковыпуклые линзы, третий, одиночный, и восьмой - мениски, обращенные вогнутос гью к изображению, а пятый — мениск, обращенный вогнутых тью к обьекту, о т л и ч а ю щ и В с я тем, что, с целью уменьшения хроматизма положения и увеличения працускания в ультрафиолетовой области спектра, четверmR компонент выполнен в внде двух положительных линз из материала с ажазателем преломления 1,43 и коэффициентом дисперсии 95, склеенных с расположенной между ними двояковогнутой мызой из материала с показателем првломления

1,6 и коэффициентом дисперсии 33, а седьмой компонент выполнен s виде оди- Е к изображению, кз материала с показателем преломления 1,46 и коэффициентом дисперсии 68.

1012177

Изобретение относится к оптическому . приборостроению, а именно к линзовым репродукционным объективам, и может быть использовано главным образом в генераторах изображений или в микрофотонаборных установках при производстве микро-электронных схем.

Известен объектив для ультрафиолетовой области спектра, содержаший восемь однолинзовых компонентов и диафрагму, расположенную между третьим и четвертым компонентами (1 J .

Однако этот объектив имеет недостаточно высокое качество изображения.

Известен телецентрический объектив для ультрафиолетовой области сектора, содержаший диафрагму и восемь компонентов, из которых первый, второй, пятый, шестой, седьмой и восьмой — положительные линзы, а третий и четвертыйотрицательные линзы, причем nepaazR, второй и шестой компоненты — одиночные двояковьптуклые линзы, третий одиночный и восьмой - мениски, обращенные вогну25 тостью к изображению, а пятый — мениск, обращенный вогнутостью к обьекту f2) .

Этот объектив имеет в пределах все.го поля изображения диаметром 3 мм разрешаюшую способность не менее

3000 л/мм, обладает телецентрическим ходом главных лучей в пространстве изображений, а его дисторсия не превышает в пределах всего поля изображения 0,1 мм.

В условиях современного микроэлек- Ç5 тронного производства при работе микрофотонаборных установок для выполнения операций автоматической фокусировки и совмещения необходимы высокоразрешающие репродукционные объективы с мини- 40 мальной величиной хроматизма положения в спектральной области 265-630 нм, охватывающей диапазон максимальной чувствительности фотослоя (A = 265 нм) и фотоприемника (Л = 630 нм). 45

Однако, достигнутую коррекцию хроматизма положения в этом обьективе нельзя считать удовлетворительной, поскольку

его величина равна 121 мм. Кроме того, высокая гигроскопичность используемого 50 для четвертого компонента материала ПпиСостави

Редактор М. Товтин Техред С водит к его,потемнению, из а чего значительно уменьшается коэффициент пропускания всего объектива в ультрафиолетовой области спектра.

Бель изобретения — уменьшение хроматизма положения и увеличение пропускания в ультрафиолетовой области спектра.

Поставленная цель достигается тем, что в объективе для ультрафиолетовой области спектра четвертый компонент выполнен в виде двух положительных линз из материала с показателем преломления 1,43 и коэффициентом дисперсии

95, склеенных с расположенной между ними двояковогнутой линзой из материала с показателем преломления 1,6 и коэффициентом дйсперсии 33, а седьмой компонент,выполнен в виде одиночного мениска, обращенного вогнутостью к изображению из материала с показателем преломления 1, 46 и коэффициентом дисперсии 68.

На чертеже представлена принципиальная оптическая схема объектива.

Объектив состоит из десяти линз, образующих восемь компонентов. Первый и второй компоненты — положительные двояковыпуклые линзы 1 и 2, третий ком- понент — отрицательный мениск 3, четвертый — мениск склеенный из трех линз, положительного мениска 4, двояковогнутой

5 и двояковыпуклой 6, пятый компонентположительный мениск 7, шестой - двояковыпуклая линза 8, а седьмой и восьмой компоненты - положительные мениски 9 и 10 соответственно.

Д,гя объектива с увеличением 0,11, числовой апертурой в пространстве изображений О, 4, полем изображения диаметром 3 мм, волновая аберрация по всему полю менее четверти длины волны, разрешающая способность не менее 3000 л/мм, при этом хроматизм положения по отноше. нию к известному устройству уменьшен в несколько раз.

Использование такого объектива в составе микрофотонаборной установки позволяет обеспечить производство интегральных схем с субмикронными элементами с выполнением операций автоматической фокусйровки и совмещения. тель В. Андреев

Мигунова Корректор А ИЛЬИН

Филиал ППП "Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Заказ 2755/56 Тираж 509 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж35, Раушская наб., д. 4/5