Электровакуумный прибор

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК п9) (П), ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

H ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

А ь (21) 3269788/18-21 (22). 08,04.81 (46) 07. 10.83. Бюл.. У 37 (72) И.Р,Айнбунд (53)621.385.832 (088.8) (56) 1.. Никоненков Н.В. Использование микроканальннх пластин для детектирования ионов. ПТЭ, 1980, И 1, с.191-193 °

2. Патент С111А Н 3662207, кл. 313-104, опублик. 1972 (прототип) (54) {57) 1 . ЗЛЕКТРОВАКУУИНЫЙ ПРИБОР, . содержащий микроканальную пластину с двумя проводящими покрытиями, прилегающую одним торцом к держателю из изоляционного материала, имеющую токовводы, электрически соединенные с проводящими покрытиями пластины, о тл и ч а ю шийся тем, что, с це лью улучшения пространственного, временного и амплитудного разрешения, з(Я) H 01 31/50; Н О1 Т 4 /00 токовводы расположены в держателе напротив боковой поверхности пласти" ны, а проводящие покрытия выполнены с выступами, расположенными за пределами рабочих поверхностей торцов пластины напротив токовводов, и разделены зазором величиной не менее толщины пластины, при этом выступ покрытия на прилегающем к держателю торце пластины простирается по крайней мере до границы торца, а выступ покрытия с противоположного торца пластины простирается через границу торца по крайней мере на боковую поверхность пластины.

2. Прибор по п.1, о т л и ч а ю - Я шийся тем, что выступ покрытия с противоположного торца пластины простирается через границы торцов на боковую поверхность пластины и часть нерабочей поверхности торца, прилегающего к держателю.

20

1 10467

Изобретение относится к электровакуумным приборам (ЭВП), а конкретнее к приборам, содержащим микроканальные пластины (МКП), например фотоэлектронные умножители (ФЭУ), вторичноэлвктронные умножители (ВЭУ), усилители изображения (УИ) и др.

Известила конструкция ЭВП, содержащая систему электродов, включающих

МКП, в которых подвод напряжения питания к проводящим покрытиям на торцах МКП и их крепление осуществлено с помощью сочетания металлических и изоляционных колец, установленных между МКП и другими электродами прибора 1! ) .

В данном устройстве в случае использования тонких колец возможно обеспечение необходимых малых междуэлектродных расстояний, однак6 конструкция при этом механически непрочна, а в случае увеличения толщины крепежных колец для увеличения ме

97 2, больших значениях ускоряющих напряжений ухудшаются параметры приборов, зависящие от степени размытия электронных пучков: пространственное, амплитудное и временное разрешение.

Цель изобретения - улучшение пространственного, временного и амплитудного разрешения прибора.

Указанная цель достигается тем, что в электровакуумном приборе, со" держащем микроканальную пластину с двумя проводящими покрытиями, прилегающую одним торцом к держателю из изоляционного материала, имеющему токовводы, электрически соединенные с проводяцими покрытиями пластины, токовводы расположены в держателе на" против боковой поверхности пластины, а проводящие покрытия выполнены с выступами, расположенными за пределами рабочих поверхностей торцов пластины напротив токовводов, и разделены зазором, составляющим не менее толханической прочности увеличиваются междуэлектродные расстояния и соответственно ухудшаются параметры прибора.

Наиболее близким к предлагаемому по технической сущности является электровакуумный прибор, содержащий

МКП с двумя проводящими покрытиями, прилегающую одним торцом к держателю из изоляционного материала, имеющему

30 токовводы, электрически соединенные с проводящими покрытиями пластины.

B известной конструкции ЭВП обес35 печивается достаточно высокая механическая прочность. При этом одна из торцовых поверхностей МКП является свободной. Это позволяет располагать „ на очень малом расстоянии (до 0110,2 мм) от этой торцовой поверхности

МКП электрод прибора, например фотокатод в ФЭУ или УИ, что обест1ечивает . улучшение параметров приборов $ 2 ) .

Недостатком известной конструкции является то, что толщина участка дер" жателя под МКП является довольно значительной, так как она определяется механической прочностью использованного изоляционного материала, толщиной вводов и их электрической изоляцией, Толщина держателя под МКП достигает нескольких миллиметров и расстояние от второй торцовой поверхности МКП до электродов (например, до коллектора в ФЭУ, экрана в УИ, второй

МКП в ФЭУ или ВЭУ, ) оказывается большим. В реэультате этого даже при щины пластины, при этом выступ покрытия на прилегающем к держателю торце пластины простирается по крайней мере до границы торца, а выступ покрытия с, противоположного торца плас. тины простирается через границу торца. по крайней мере на боковую поверхность пластины.

Кроме того, выступ покрытия с про« тивоположного торца пластины прости" рается через границы торцов на боковую поверхность пластины и часть нерабочей поверхности торца, прилегаю- . ! щего к держателю.

На фиг.1 представлена схематически конструкция ЭВП (например, УИ); на фиг.2 - конфигурация проводящих покрытий на МКП; на фиг.3-4 - варианты расположения проводящих покрытий на МКП; на фиг.5 - схематически конструкция ЭВП с двумя МКП.

Устройство содержит фотокатод 1, МКП 2, люминесцентный экран 3, держатель 4, проводящие покрытия 5 и 6, токовводы 7 и 8, выступы 9 и 10 проводящих покрытий, проводящие участ ки 11 и 12 держателя, выступ 13 покрытия, нерабочую поверхность 14 тор" ца МКП, вторую МКП 15, коллектор 16 и дополнительные токовводы 17 и 18.

На фиг.1-4 также указаны диаметры 0 рабочих поверхностей фотокатода, МКП и экрана и зазоры а и в между прово,дящими покрытиями, В приборе типа УИ (фиг,1), содержащем Фотокатод 1, МКП 2 и люминесца на нерабочую поверхность 14 торца, прилегающего к держателю. При этом зазоро между выступом 10 и покрытием

5 не менее толщины МКП. Для приведенной на фиг.4 конфигурации проводящих

М с токовводами 7 и 8 осуществлено про" водящим клеем между торцом Ml(ll и дер" нами 9 и 10 покрытий 5 и б.

Проводящие покрытия 5 и 6 (c учетом их выступов) нанесены на МКП таким образом, что зазор между ними всегда больше толщины МКП. Это обеспечивает необходимую электрическую прочность.

Так, например, со стороны токовводов 7 зазор между проводящим покрытием 6 и выступом 9 покрытия 5 в конструкциях, изображенных на ность. Со стороны токоввода 8 в конструкции, изображенной на фиг.4, зазор между покрытием 5 и выступом покрытия 6 сделан не менее толщины дящего соединения токоввода 8 и выступа 10 покрытия б, являясь сам токопроводящим, может продлить выступ

10 покрытия 6 до конца боковой по" верхности, примыкающей к держателю (даже, если выступ 10 покрытия 6 заходит только частично на боковую поверхность МКП}. Поэтому целесообраз" но покрытия на МКП наносить таким образом, чтобы зазор 0 был не менее толщины МКП.

В случае использования в приборе двух МКП 2 и 15 (фиг.5), например в

ФЭУ, содержащем такие фотокатод 1 и . коллектор 16, обе МКП закреплены на держателе 4, содержащем кроме токовводов 7 и 8, обеспечивающих подачу напряжений на МКП 2, дополнительно фиг.5 примере проводящие покрытия на ИКП 2 и 15 нанесены аналогично покрытиям на фиг.3. Могут использоваться и варианты, приведенные на фиг.2 и 4.. Для обеспечения работы прибора, изображенного на фиг.1, между фдтоУ

3 1046797 4 центный экран 3, МКП закреплена одним торцом на держателе 4, выполненном из изоляционного материала, например керамики, Диаметры 0 рабочих поверхностей фотокатода, МКП и экрана одинаковы. На торцовых поверхностях МКП . покрытии их электрическое соединение нанесены проводящие покрытия 5 и 6 (фиг. 1 и 2), полностью охватывающие рабочие части поверхности торцов МКП, жателем непосредственно под выстуограниченные диаметром О, lO

В теле держателя 4 расположены токовводы 7 и 8, при ем таким образом, ° что их .концы расположены против боковой поверхности МКП 2, Покрытие

5, расположенное на прилегающем к дер-1 жателю 4 торце МКП 2, имеет выступ 9 по этому торцу до части границы торца, расположенной напротив токовводов 7, а с противоположной стороны .отделено зазором с1 от границы торца, расположенной напротив токоввода 8.

Покрытие 6, расположенное на противоположном торце МКП, имеет выступ 10 на боковую поверхность МКЯ 2 через часть периферии торца МКП, расположенную напротив токоввода 8. Токоввод 8 электрически соединен с выступом 10 покрытия б, а токоввод 7 - с выступом 9 покрытия 5, например, при помощи проводящего эпоксидного клея„ нанесенного в участках 11 (между бо- МКП, В конструкциях, изображенных ковой поверхностью МКП и.держателем) на фиг.1-3, участок 11 электропровои 12 (между торцом МКП и держателем).

Клей может обеспечивать также механически: прочное соединение МКП 2 с держателем 4. Возможно также исполь35 зование сочетания электропроводящего клея на участках 11 и 12 для создания электрического контакта и непроводящего клея на других участках для обеспечения механически прочного со40 единения МКП 2 и держателя 4.

На фиг,3 проводящее покрытие 5 имеет выступ 9, йростирающийся черезчасть границы торца на боковую поверхность, а покрытие 6 не доходит

45 до соответствующего участка границы торца так, что зазор между покрытиями сохраняется не ченее толщины МКП, Для приведенной на фиг.3 конфигурации проводящих покрытий электрические со- токовводы 17 и 18 для подачи напряединения обоих токовводов 7 и Я с жения на МКП 15. В приведенном на проводящими покрытиями 5 и 6 (точнее их выступами 13 и 10) осуществлены проводящим клеем между боковой поверхностью МКП и держателем.

На йг.4 проводящее покрытие 6 имеет выступ 10, простирающийся с 6оковой поверхности через границы торФ 1046797 б катодом,1, покрытием 6 (с помощью достаточно тонкой (например, 0,8 мм

;токоввода 8, проводящего участка 11 .Расплывание электромагнитного потока и выступа 10), покрытием 5 (e, по- на выходе MKll невелико и прибор мощью токоввода 7, проводящего участ- обеспечивает высокое разрешение. ка 12 и выступа 9) и экраном 3 со- 5 Предлагаемая конструкция ЭВП позздается ускоряющее электрическое поле. воляет обеспечить пви механически

Под действием этого поля фотоэлект" прочном закреплении ИКП малые зазоры роны, эмиттированные рабочим участ,- между МКП и электродами прибора. По ком фотокатода 1, ускоряются в направ. сравнению с известным решением, в ко" ленин МКП 2, После умножения внутри >О тором с одной стороны МКП зазор каналов МКП 2 электронный поток, вы- должен составлять несколько миллиходящий с торца МКП, на который нане" метров, в предлагаемой конструкции сено покрытие 5, ускоряется в направ" этот зазор может быть уменьшен в нелении экрана 3 и вызывает его свече- сколько раз и составлять 0,3-0,8 мм, ние. Благодаря тому, что толщина >5 что значительно улучшает разрешение участка держателя 4, расположенного приборов с МКП (пространственное, между МКП 2 и экраном 3, выполнена. временное и амплитудное).

1046797

Составитель Е.Пчелов

Техред И.Гайду Корректор А.Зимокосов

Редактор Ю.Ковач

Тираж 703 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

133035, HocKBà, Ж-З5, Раужская наб., д. 4/5

Заказ 7738/50

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4