Устройство для изготовления фаски на круглых пластинах
(19)RU(11)1123474(13)C(51) МПК 5 H01L21/304Статус: по данным на 10.01.2013 - прекратил действиеПошлина:
(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ
Изобретение относится к механической обработке твердых хрупких тел и может быть использовано для формирования фаски на круглых полупроводниковых пластинах и кристаллах. Известно устройство для изготовления фаски на круглых пластинах/ содержащее столик с закрепленной на нем обрабатываемой пластиной и инструмент конической формы/ внутренняя поверхность которого оснащена абразивсодержащим покрытием/ причем столик и инструмент выполнены с возможностью вращения один относительно другого [1]. Недостатком этого устройства является низкая эффективность обработки пластин маленького диаметра/ так как в этом случае мала линейная скорость инструмента в зоне контакта с пластиной/ что увеличивает время обработки и приводит к быстрому износу инструмента. Наиболее близким по технической сущности к предлагаемому является устройство для изготовления фаски на круглых пластинах/ содержащее притир/ способный вращаться вокруг своей оси/ головку с наклонными цилиндрическими отверстиями/ цилиндрические держатели обрабатываемых пластин/ способные входить в отверстия головки/ и привод вращения держателей [2]. Недостатком этого устройства является невозможность регулирования величины усилия на обрабатываемую пластину/ вследствие чего при достаточно высокой скорости обработки качество пластин ухудшается из-за наличия сколов и трещин. Цель изобретения - повышения качества обработки пластин за счет обеспечения возможности регулирования усилия прижатия пластины к притиру в процессе формирования фаски. Поставленная цель достигается тем/ что в устройстве для изготовления фаски на круглых пластинах/ содержащем притир/ имеющий возможность вращаться вокруг своей оси/ головку с наклонными цилиндрическими отверстиями/ стальные цилиндрические держатели обрабатываемых пластин/ имеющие возможность входить в отверстия головки/ и привод вращения держателя/ каждое цилиндрическое отверстие снабжено подвижной немагнитной втулкой/ соосно с которой в верхней и нижней частях головки установлены электромагниты. На чертеже изображено устройство для изготовления фаски на круглых пластинах. Устройство состоит из головки 1/ электромагнитов 2 и 3/ держателей 4/ немагнитных втулок 5/ притира 6 и обрабатываемого изделия 7. Устройство работает следующим образом. Держатели 4 с обрабатываемым изделием 7 устанавливают во втулки 5 до касания изделием 7 шлифовального притира 6. Затем включают одновременно подачу абразивной суспензии/ приводы вращения притира и держателей и нижние электромагниты 2. Таким образом/ сошлифовывание фаски производится не только под действием веса держателя 4/ но и за счет усилия втягивания его магнитным полем/ создаваемым электромагнитом 2 и направленным вниз/ на прижим к притиру. В таком режиме нагружения изделие обрабатывают определенное время/ отрабатываемое экспериментально для каждого типа изделия/ в течение которого происходит основной съем обрабатываемого полупроводникового материала. По истечении его производят отключение нижних электромагнитов 2 (автоматически/ например/ с помощью реле времени) и на этой финишной стадии обработку изделий производят под действием силы тяжести держателя 4 (в режиме выхаживания с небольшой нагрузкой) также в течение заданного времени. По окончании его обработка заканчивается/ держатель 4 внимают/ снимают изделие 7/ и далее цикл повторяется. Возможен второй вариант обработки в режиме выхаживания/ когда силу тяжести держателя 4 можно уменьшить/ включая верхний электромагнит 3 в момент отключения нижнего электромагнита 2. Создаваемое им магнитное поле воздействует на держатель 4 так же/ как и нижнее/ только сила направлена в обратном направлении (вверх)/ частично (в заданной степени) уменьшая воздействие силы тяжести держателя 4 на изделие 7. При обоих описанных режимах выхаживания обработку можно заканчивать автоматическим отводом держателем вверх/ включая верхние электромагниты в режиме создания ими магнитного поля/ достаточного для преодоления силы тяжести держателя/ самого изделия и силы трения при его перемещении во втулке. Использование описываемого устройства позволяет повысить выход годных изделий на 3 % при одновременном улучшении их электрических параметров.
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ФАСКИ НА КРУГЛЫХ ПЛАСТИНАХ, содержащее притир, имеющий возможность вращаться вокруг своей оси, головку с наклонными цилиндрическими отверстиями, стальные цилиндрические держатели обрабатываемых пластин, имеющие возможность входить в отверстия головки, и привод вращения держателей, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обработки, каждое цилиндрическое отверстие снабжено подвижной немагнитной втулкой, соосно с которой в верхней и нижней частях головки установлены электромагниты.РИСУНКИ
Рисунок 1MM4A Досрочное прекращение действия патента Российской Федерации на изобретение из-за неуплаты в установленный срок пошлины за поддержание патента в силе
Номер и год публикации бюллетеня: 23-2001
Извещение опубликовано: 20.08.2001
