Способ получения фильтровального материала

 

СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ «ШЛЬТРОВАЛЬНОГО МАТЕРИАЛА по авт.св. № 740797, отличающийся тем, что, с целью повьшения пропускной способности .материала, предварительно-подложку , многократно натирают шерстью, хлопком, кижей или замшей в одном направлении под давлением.

„„ЯЦ„„1134576 А

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

4(51) С 08 J 9/28, С 08 L 77/00;

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н ABTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 740797 (21) 3486408!23-26 (22) 17.08.82 (46) 15.01.85. Бюл. М- 2 (72) B.Б. Ларин, Л.З. Жалковская. и Т.В. Гомза (53) 542.67(088.8) (56) 1. Авторское свидетельство СССР

Ф 740797, кл. С 08 У 9/28, 1978. (54) (57) СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ФИЛЬТРОВАЛЬНОГО МАТЕРИАЛА по авт.св. У 740797, отличающийся тем, что, с целью повышения пропускной способности .материала, предварительно .подложку многократно натирают шерстью, хлопком, кожей или замшей в одном направлении под давлением.

1134576

Составитель Н. Строганова

Техред С. Йовжий Корректор В. Синицкая

Редактор Т. Колб

Заказ 10027/23 THpam 475 Подписное

ВНИИПИ, Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к способу получейия фильтровального материала и может быть использовано в микроэлектронике, биологии и медицине.

Известен способ получения фильтро- 5 вального материала, включающий нанесение на подложку раствора, содержащего полиамид, муравьиную кислоту и воду, с последующим выдерживанием на воздухе при 20-25 С, обработку смесью этилового спирта или ацетона и воды при соотношении 3-60:40-97 в течение 4-6 мин, а также промывку, сушку, отжиг на воздухе при 150 С в течение 150-180 с с последующим отделением подложки $1). . Однако способ характеризуется недостаточно высокой пропускной способностью получаемого материала.

Цель изобретения - повышение про" 20 пускной способности материала.

Поставленная цель достигается тем, что согласно способу, включающему многократное натирание .подложки шерстью, хлопком, кожей или замшей в од- ном направлении под давлением, нанесение на нее раствора, содержащего полиамид, муравьиную кислоту и воду, с последующим выдерживанием на воздухе, обработку смесью этилового спирта 30 или ацетона и воды, промывку, сушку, отжиг на воздухе и отделение подложки, перед нанесением раствора полиамида подложку многократно натирают шерстью, хлопком, кожей или замшей в одном направлении под давлением.

Натирание поверхности в одном направлении позволяет упорядочить структуру поверхности подложки и создать однонаправленный рельеф поверхности. 4б

В результате этого обеспечивается однородность условий коагуляции раствора полиамида, что приводит к получению фильтровального материала с повышенной пропускной способностью.

Пример. Приготавливают раствор, содержащий, вес. .: полиамид

ПА-6-120-321 26, муравьиная кислота

62,9, вода 11,!. Стеклянную подложку размером 240х250 мм натирают шерстью (войлоком) 40 раз в одном направлении под давлением 0,7 10+Па.С помощью щелевой фильеры наносят раствор полиамида на подложку, выдерживают

0 на воздухе при 22 С в течение 5-6 с.

Коагуляцию проводят в растворе, содержащем 47,5 вес. . ацетона и 52,5.вес. воды. Затем подложку с нанесенной: пленкой отмывают в деионизованной воде в течение 10 мин, после чего помещают в раствор, содержащий

94 вес. ацетона и 6 вес. деионизованной воды, затем выдерживают в ацетоне в течение 5 мин, сушат на воздухе 10-12 мин и отжигают в термостате при 150 С в течение 3 мин. После этого подложку с полученной пленкой отмачивают в. ацетоне и снимают со стекла пленку, являющуюся фильтровальным материалом.

Средний диаметр пор полученного материала составляет 0,39 мкм, пори-.." стость 75,02 . Пропускная способность фильтровального материала, определен- . ная по скорости истечения этилового спирта под давлением 1 атм, составляет 40 мл/мин-см при отклонении от среднего значения 9,0 .. Дефектность фоторезиста составляет 0,5-0,6 дефект/см .

Фильтровальный материал, полученный известным способом, имеет средний диаметр пор 0,45-0,50 мкм, пористость 73,21-74,10, скорость истечения этилового спирта 3032 мл/мин см при отклонении от сред2 него значения 12-13 ., дефектность фоторезиста составляет 0,8- t,0 де-: фект/см.

Таким образом, предлагаемый способ обеспечивает получение фильтровального материала, обладающего повышенной пропускной способностью вследствие увеличения однородности используемой подложки.