Светочувствительная композиция для травления

 

СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ КОМПОЗИЦИЯ ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, включающая поливиниловый спирт, двухромовокислый аммоний и дистиллированную воду, отличающаяся тем, что, с целью повыщения механической стойкости и кислотостойкости, она дополнительно содержит фенол при следующем соотношении компонентов, мас.%: Поливиниловый спирт 9,12-9,30 (сухой ) Двухромовокислый 0,52-0,56 0,41-0,47 Фенол Дистиллированная Остальное вода (Л

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИ4ЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (l9I SU (!1) (51)4 G 03 С !/68

1 "! ÉÎÇÐ @

13, " ц

БИБД81,:,, ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ABTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

0,52-0,56

0 41-0,47

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3637784/23-04 (22) 31.08.83 (46) 30.08.85. Бюл. Ф 32 (72) Д.А.Гильмутдинова, А.А.Закирова, Т.Н.Кривда, А.А.Еналеев и И.М.Магдеев (53) 771.5 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

9 864229, кл. С 03 С 1/68, 1979..

Авторское свидетельство СССР

9 890353, кл. С 03 С 1/66, 1979.

ОСТ4Г0.054.223 "Печатные платы.

Типовые технологические процессы, редакция 1-78, с. 156. (54) (57) СВЕТОЧУВСТВИТЕЛЬНАЯ КОМПОЗИц)1Я ДЛЯ ТРАВЛЕНИЯ, включающая поливиниловый спирт, двухромовокислый аммоний и дистиллированную воду, отличающаяся тем, что, с целью -повышения механической стойкости и кислотостойкости, она дополнительно содержит фенол при следующем соотношении компонентов, мас.7:

Поливиниловый спирт (сухой ) 9,12-9,30

Двухромовокислый аммоний

Фенол дистиллированная вода Остальное

1176292

Изобретение относится к светочувствительным материалам для получе— ния защитных слоев при формировании различных символов на металллческих поверхностях, в частности при глубоком травлении рельефа хромистых нержавеющих сталей, и может быть использовано в .вычислительной технике при производстве ленточных шрифтоносителей. 1О

Цель изобретения — повышение механической стойкости и кислотостойкости светочувствительной композиции для травления.

Пример. 15

Приготовление образцов производят следующим образом.

Для получения 1 л раствора светочувствительной композиции рабочую навеску поливинилового спирта (ГОСТ

10779-78, марка 11/2) 92 r заливают дистиллированной .водой 908мл, перемешивают и оставляют для набухания на время не менее 24 ч. Полученный раствор нагревают в закрытом сосуде, исключающем испарение при температуре кипения водяной бани в течение. 5 ч до образования устойчивого коллоида. Затем к образовавшемуся коллоиду добавляют фенол в

30 сухом виде в количестве 4,14 r u продолжают нагревать в течение 1 ч при непрерывном интенсивном перемешивании. Приготовленный таким образом раствор охлаждают и отфильтровывают через капроновую ткань для сит 5

Ф 67. Далее к фильтрату приливают при непрерывном перемешивании предварительно приготовленный и выдержанный в течение суток раствор аммония двухромовокислого 5,24 г. Рабочую вязкость светочувствительной композиции регулируют дистиллированной водой. Композицию тщательно перемешивают, выдерживают при комнатной температуре в течение суток и наносят на подложки иэ нержавеющей стали марки 40 13 Мо.

Достаточную адгезию светочувствителвного слоя к подложке обеспечивают.проведением следующих подготовительных операций.

Обезжиривание поверхности .- снятие жирных отложений производят вначале в холодном растворе трихлорэтилена, ТУ 6-09-3841-77"ч" (Т = 18о, 23 С, = 5 мин ), затем в парах трихлорэтилена (Т = 93 С, Г = 5 мин )., Для подтравливания используют раствор хлорного железа ГОСТ 11159-76 (с = 1,44-1,46 г/см, T = 36-38 С, С= 5 мин ).

Для повторного обезжиривания используют щелочной раствор следующего состава:

Едкий натр ГОСТ

4328-77 30 r

Глюконовая кислота

ТУ 6-09-13-790-79 20 r

Вода ГОСT 6709-72 50 г

{Т = 80-100 ° C =. 15 мин ).

Промывку производят в холодной проточной воде (Т = 18-23ОС, Г= — 5 мин).

Сушку производят метанолом ГОСТ

6995-77, затем сжатым азотом ГОСТ

9293-74.

Приготовленную описанным способом светочувствительную композицию наносят путем 2-кратного окунания с последующей сушкой каждого слоя при

45ОС в течение 20 мин. Толщина полученного светочувствительного слоя составляет 5+2 мкм. Светочувствительный слой экспонируют ртутной лампой высокого давления мощностью 2,53,0 кВт в течение 10-12 мин, проявляют проточной теплой водой (< =

= 45 С ). Проявленный слой подвергают химическому дублению IOX-ным раствором хромового ангидрида в течение

20 с, а затем термическому дублению о при 140 С в течение 30 мин.

Составы испытанных образцов предлагаемой и известной композиций представлены в табл. 1. В используемом ПВС массовая доля ацетатных

rрупп составляет 0,7-1,57.

Свойства защитных слоев приведены в табл. 2.

Механическую стойкость определяют воздействием травильного раствора на основе хлорного железа с плотностью 1,45-1,47 г/см до разруше3 ния защитного покрытия. Кислотостойкость определяют воздействием

20Х-ной серной кислоты до разрушения защитного покрытия.

11 76292

Таблица.1Содержание, вес.7, по примерам

Компоненты

8,0

9;30

9,21

9,12

Аммоний двухромовокислый

0,6

0,56

0 53

0,52

0,44

0,47

0,41 фенол

Спирт этиловый

4,0

89,82

87,4

89,67

89,95

Вода.Таблица 2

Состав светоДинамичесМеханическая стойчувствительной композиции кая вязкость 4Хкость, мин ного раствора ПВС по примерам

12.

76,3

5,0

77,6

6,0

60

80,9

6,5

71

80,0

6,5

Известный

Составитель Л.Богданова

Техред И.Асталош Корректор H.Ìóñêà.

Редактор К.Волощук

Заказ 5359/47 Тираж 448 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Спирт поливиниловый (сухой )

Толщина слоя, мкм

Кислотостойкость, мин