Проекционный объектив с увеличением-0,1 @

 

ПРОЕКЦИОННЫЙ ОНЬЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ -0,1 ,содержащий диафрагму , две положительные линзы, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, положитель ный мениск, склеенный из двояко вог нутой и двояковыпуклой линз, положительную линзу, склеенную из мени и двояковыпуклой линзы, двояковыпуклую линзу и положительный менис склеенный из отрицательного и поло жительного менисков, обращенных вы Плоекаеть пре9мето9 Апертур f Г / пуклостями к предмету, о т л и чающийся тем, что, с целью уменьшения дисторсии и увеличения поля зрения, он снабжен положительным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным между второй положительной линзой и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету, отрицательным мениском, склеенным из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и установленным между склеенными положительным мениском и положительной, линзой, и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным последним, при этом расстояния между введенными менисками и преде щущими компонентами составляют соответственно 0,002 0,015 и 0,058 фокусного расстояния объектива, а диафрагма расположена перед первым отрицательным мениском, обращенным вьтуклостью к предмету, на расстоянии 0,00015 фокусного расстояния от него. Плоекаемь аф/юема 10

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4

ОПИСАНИЕ ИЭОБРЕТ

К ABTOPCHOtNV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Яеоекаета вреднетоВ Аиертуриая диарраека

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3691407/24-10 (22) 16.01.84 (46) 07.09.85. Бюл. ¹ 33 (72) Э.С.Гуревич, Л.П,Псикова и Г.В.Фокова (53) 771.351(088,8) (56) Авторское свидетельство СССР

¹ 651294, кл. G 02 В 13/24, 1977.

Авторское свидетельство СССР № 694826, кл. G 02 В 13/24, 1978.

Патент США - 4200352, кл. G 02 В 13/14, опублик.1980. (54)(57) ПРОЕКЦИОННЫЙ ОБЬЕКТИВ С

УВЕЛИЧЕНИЕМ -О, Р,содержащий диафрагму, две положительные линзы, отрицательный мениск, обращенный выпуклостью к предмету, положительный мениск, склеенный из двояковогнутой и двояковыпуклой линз, положительную линзу, склеенную из мениска и двояковыпуклой линзы, двояковыпуклую линзу и положительный мениск, скпеенный из отрицательного и положительного менисков, обращенных вы„„SU„„1177789 пуклостями к предмету, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью уменьшения дисторсии и увеличения поля зрения, он снабжен положительным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и установленным между второй положительной линзой и отрица тельным мениском, обращенным выпуклостью к предмету, отрипательным мениском, склеенным из двояковогнутой и двояковыпуклой линз и $c» тановленным между склеенными положительным мениском и положительной. линзой, и отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к предмету и

I установленным последним, при этом расстояния между введенными менисками и предыдущими компонентами составляют соответственно 0,002, 0,015 и 0,058 фокусного расстояния объектива, Я а диафрагма расположена перед первым отрицательным мениском, обращенным выпуклостью к гредмету, на расстоянии 0,00015 фокусного расстояния от него. с3 1

Яоожосмв с©

11777 положительная тива. ящая из отри- Спектр положительной апертура

50 из баритового 1 мкм, ди

Составитель В.Архип кая Техред Ж. Кастелевич линза, состо о мениска 9 и

Редактор О.Н)рковец

Корректор И Муска1

Изобретение относится к оптическим системам и .может найти применение в микроэлектронике в проекционных установках экспонирования.

Целью изобретения является уменьшение дисторсии и увеличение поля зрения.

На чертеже изображена оптическая схема проекционного объектива, Объектив состоит из четырнадца- 10 ти линз, собранных в десять компонентов..

Первый компонент — одиночный положительный мениск 1, обращенный вогнутостью к плоскости изображения, выполненный из сверхтяжелого крона с соотношением радиусов 1:2,4.

Второй компонент — одиночная положительная линза 2, выполненная из стекла КУ-1, с соотношением радиу- 20 сов 1:1,6.

Третий. компонент — одиночный положительный мениск 3, обращенный вогнутостью к пространству изображений, выполненный из сверхтяжелого 25 крона с соотношением радиусов 1:2,4, Четвертый компонент — одиночный отрицательный мениск 4, обращенный вогнутостью к плоскости изображений, выполненный из кварцевого стекла с соотношением радиусов 20,5:1.

Пятый компонент — положительный склеенный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, состоящий из отрицательной линзы 5 и по35 ложительной линзы б с соотношением радиусов 1,25:1, выполненный из баритового флинта и баритового крона.

Шестой компонент — склеенный ме40 ниск, состоящий из отрицательной линзы 7 и положительной линзы 8, обращенной вогнутостью к плоскости предметов,с соотношением радиусов 1:1,9, выполненный из тяжелого флинта и тя-. 5 желого крона.

Седьмой компонент— склеенная цательног, линзы 10, выполненная

89 2 флинта и баритового крона с соотношением радиуса 5:1.

Восьмой компонент — одиночная положительная линза 11, выполненная из кварцевого стекла с соотношением радиусов 1:9,3.

Девятый компонент — положительный склеенный мениск, состоящий из отрицательного мениска 12 и положительного мениска 13, выполненных из тяжелого крона и баритового флинта с соотношением радиусов 1:!,24.

Десятый компонент — отрицательный мениск 14, выполненный из кварцевого стекла, обращенный вогнутостью к пространству изображений, с соотношением радиусов 1,06:1.

Диафрагма расположена перед четвертым компонентом на расстоянии

0,00015 f объектива от него.

B объективе достигнута высокая степень коррекции кривизны поля, астигматизма, сферической аберрации, хроматизма увеличения и дисторсии, Коррекцию астигматизма на поле 140 мм осуществляют пятый и девятый компоненты. Третий и шестой компоненты служат для исправления дисторсии.

Коррекцию хроматизма выполняет шестой компонент, выполненный склеенным из отрицательной и положительной линз. Коррекции кривизны поля осуществляют четвертый и восьмой компоченты. Седьмой компонент со вместно с четвертым осуществляют коррекцию комы. Остальные компоненты несут силовую нагрузку.

При фокусном расстоянии 65,4 мм объектив имеет поле зрения 150 мм.

Качество изображения для края поля зрения Y = -70,7 мм характеризуется коэффициентом передачи конт-. раста Т = 0,15 для пространственной частоты 1 = 1000 лин/мм и Т = 0,4 для 4= 600 лин/мм, что практически совпадает с характеристиками идеального безаберрационного объекальный диапазон 350-370 нм, О,?5, разрешение 0,8сторсия 0,17. ов

Заказ 5551/47

Тираж 526 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д./5

Филиал ППП Патент, r.Óæãîðoä, ул.Проектная,4