Вакуумный затвор

 

ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий корпус с проходными отверстиями, в котором размещена в плоскости, параллельной оси проходных отверстий, с возможностью качания под действием привода на закрепленной в основании корпуса оси рама с уплотнительным диском, свободно перекатывающимся по направляющим, выполненным в раме, механизм герметизации уплотняющего диска и исто.чник управляющего давления, отличающийся тем, что, с целью повыщения надежности, на основании корпуса установлены элементы отжатця, а рама размещена между механизмом герметизации и элементами отжатия с возможностью перемещения вдоль оси проходных отверстий. (Л ;о о to

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (si)4 F 16 К 3/02

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3501351/25-08 (22) 13.10.82 (46) 07 11.85. Бюл. № 41 (71) Московский институт электронного машиностроения (72) Т. А. Александрова, А. A. Горюнов и Б. Г. Львов (53) 621.646 (088.8) (56) Патент Франции № 2063738, кл. F 16 К 3/00, 1971. (54) (57) ВАКУУМНЫЙ ЗАТВОР, содержащий корпус с проходными отверстиями, в котором размещена в плоскости, параллель„„SU„„1190121 А ной оси проходных отверстий, с возможностью качания под действием привода на закрепленной в основании корпуса оси рама с уплотнительным диском, свободно перекатывающимся по направляющим, выполненным в раме, механизм герметизации уплотняющего диска и источник управляющего давления, отличающийся тем, что, с целью повышения надежности, на основании корпуса установлены элементы отжатия, а рама размещена между механизмом герметизации и элементами отжатия с возможностью перемещения вдоль оси проходных отверстий.

1190121

Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумной коммутационной аппаратуре, и предназначено для использования в высоковакуумных системах технологического и научного оборудования.

Целью изобретения является повышение надежности за счет того, что рама выполнена с возможностью перемещения вдоль оси проходных отверстий, что не требует дополнительного герметизированного ввода движения для подачи энергоносителя.

На фиг. 1 представлен вакуумный затвор в разрезе; на фиг. 2 — разрез А — А на фиг. 1; на фиг. 3 — разрез Б — Б фиг. 1; на фиг. 4 — разрез  — В на фиг. 2; на фиг. 5 — разрез à — Г на фиг. 3; на фиг. 6— разрез Д вЂ” Д на фиг. 3.

Затвор состоит из герметического корпуса, образованного основаниями 1 и 2 с проходными отверстиями 3 и проставкой 4.

Внутри корпуса размещена рама 5 с отверстием 6, в направляющем продольном пазу которой расположен уплотнительный диск 7 с прокладкой 8. Рама 5 установлена с возможностью качания на оси 9, закрепленной на основании 2, и имеет винтовой упор 10 и штырь 11 с пазом 12. Между рамой 5 и основанием 2 на осях 9 и 13 размещены элементы отжатия, выполненные в виде пружин 14.

Механизм поворота рамы 5 герметично укреплен на проставке 4 и представляет собой изогнутый по окружности упруго-деформированный трубчатый элемент 15 (трубка

Бурдона), подвижный конец которого встав2 лен в паз 12 штыря 11. Внутренняя полость неподвижного конца элемента 15 соединена с источником управляющего давления (не показан) .

Механизм герметизации состоит из четырех пневматических сильфонных домкратов 16, размещенных между основанием 1 и рамой 5 и соединенных трубками 17 с полым трубчатым кольцом 18, которое расположено в пазу основания 1 и сообщено че1О рез герметично укрепленную трубку 19 с источником давления (не показан).

Затвор работает следующим образом.

При открытии затвора давление сжатого воздуха в сильфонных домкратах 16 снимается и пружины 14 перемещают поступательно вдоль осей 9 и 13 раму 5 с диском 7 от уплотнительной поверхности основания 2 до образования гарантированного зазора между прокладкой 8 и основанием 2. После этого полость трубки 15 соединяют с ис О точником сжатого воздуха и подвижной конец трубки, воздействуя на штырь 11, поворачивает раму 5 вокруг оси 9, заставляя диск 7 перекатываться по направляющему пазу рамы и тем самым полностью освобождая проходные отверстия 3.

При закрытии затвора давление сжатого воздуха в трубке 15 снимается и она, воздействуя силой собственной упругости, поворачивает раму 5. При этом диск 7, перекатываясь, перекрывает отверстия 3, после зо чего полость домкратов 16 соединяют с источником сжатого воздуха и они, перемещая раму 5 поступательно, герметизируют затвор.

1190121 иг.

В-В

1190121

Г-Г

Фиг.5

Редактор П. Коссей

Заказ 6955/39

Составитель С. Нестеренко

Техред И. Верес Корректор Л. Пилипенко

Тираж 897 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП <Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4