Система компенсации угловых смещений объекта для двухлучевых интерференционных измерителей перемещений

 

СИСТЕМА КОМПЕНСАЦИИ УГЛОВЫХ СМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА ДЛЯ ДВУХЛУЧЕВЫХ ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ , содержащая оптическую фокусирующую систему, расположенную в объектном пучке интерферометра , отличающаяся тем, что, с цепью повышения точности измерений, она снабжена линзой-и зеркалом, фокусирукицая система орйт ентируется таким образом, что ее оп-, тическая ось располагается под углом относительно объекта, линза размещается по ходу излучения, отражаемого от объекта, на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию, а зеркало устанавливается за линзой перпендикулярно ее оптической оси.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (И) СЮ 4

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И OTHPbiTHA! (21) 3620578/24-28 (22) 11.07.83 (46) 07. 12. 85. Бюл. В 45 (71) Институт прикладной физики

АН БССР (72) В.М. Аранчук, Ф.Г. Дрик, С.А. Зубко и В.Е. Карпов (53) 531.715 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 756194, кл. С 01 В 11/00, 1980. (54)(57) CHCTEMA KONHEHCAQHH УГЛОВЫХ

СМЕЩЕНИЙ ОБЪЕКТА ДЛЯ ДВУХЛУЧЕВЫХ

ИНТЕРФЕРЕНЦИОННЫХ ИЗМЕРИТЕЛЕЙ ПЕРЕМЕЩЕНИЙ, содержащая оптическую фокусирующую систему., расположенную в объектном пучке интерферометра, отличающаяся тем, что, с целью повыпения точности измерений, она снабжена линзой и зеркалом, фокусирующая система ори-. ентируется таким образом, что ее оп-, тическая ось располагается под углом относительно объекта, линза размещается rio ходу излучения, отражаемого от объекта, на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию, а зеркало устанавливается за линзой перпендикулярно ее оптической оси.

Составитель С. Грачев

Редактор Л. Зайцева ТехредЛ,Мартяшова Коррректор О. Луговая

Заказ 7553/38 Тираж 650 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Филиал ППП "Патент", r. Ужгород, ул. Проектная, 4! 1

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения перемещений объектов, параметров вибраций и т.п.

Цель изобретения — повышение точности измерений.

Система компенсации угловых смещений объекта для двухлучевых интерференционных измерителей перемещений содержит оптическую фокусирующую систему 1, расположенную в объектном пучке интерферометра, собирающую линзу 2, располагаемую по ходу излучения, отражаемого от объекта 3 на расстоянии, равном ее фокусному расстоянию, и плоское зеркало 4, расположенное перпендикулярно оптической оси линзы 2, а фокусирующая система 1 ориентируется.таким образом, что ее оптическая ось располагаемтя под углом относительно объекта 3.

Устройство работает следующим образом.

Объектный. пучок интерферометра падает на оптическую фокусирующую систему 1, которая фокусирует излучение на поверхности объекта 3.

Излучение отражается от объекта 3

196686 2, и падает на линзу 2. Так как линза 2 расположена на расстоянии от объекта 3, равном ее фокусному расстоянию, то после линзы 2 распространяется параллельный пучок излучения. При угловых смещениях объекта происходят наклоны пучка излучения, падающего на линзу 2.

При этом параллельный пучок излучения, распространяющийся после линзы 2, перемещается параллельно самому себе. Он падает на зеркало 4 и отражается им в обратном направлении на линзу 2, затем отражается объектом 3 в направлении, о6ратном направлению излучения объектного пучка.

Таким образом, при угловых смещен ниях объекта 3 отраженный от него пучок распространяется в направлении, обратном направлению падающего на него объектного пучка, независимо от угловых смещений. д Повышение точности компенсации угловых смещений объекта вызывает повышение точности измерений, производимых интерференционным измерителем перемещений.