Турбомолекулярный вакуумный насос

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (19) (11) (51) 4 F 04 D 19/04

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ

/ ср,;,.„- =.

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (61) 918551 (21) 3778924/25-06 (22) 09.08 ° 84 (46) 30.01.86. Бюл. Р 4 (7 1) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им.Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов (53) 621.527.8(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

К 918551, кл, F 04 D 19/04, 1979. (54)(57) 1. ТУРБОМОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМ»

НЫЙ НАСОС по авт.св, Ф 918551, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с целью улучшения эксплуатационных харак« теристик путем снижения обратного воздействия роторов на корпус,он дополнительно содержит регулятор питания двигателей и опорный упругий элемент, снабженный датчиком деформации, подключенным к регулятору, а вал закреплен на корпусе при помощи упругого элемента.

2. Насос по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что опорный упругий элемент выполнен в виде подшипника качения и спиральной пружины, а датчик деформации — в виде тензодатчика закрепленного на пружине.

12083,1В

Составитель В.Кряковкин

Редактор Л.Повхан Техред A.A÷ Корректор А.Зимокосов

Заказ 226/46 ираж 587 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4,/5

Филиал ППП "Патент", г,ужгород, ул.Проектная, 4

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкции турбомолекулярных вакуумных насосов, и является дополнительным к основному авт.св. У 918551.

Целью изобретения является улучшение эксплуатационных характеристик путем снижения обратного воздействия роторов на корпус.

На чертеже представлен насос, вертикальный разрез.

Турбомолекулярный вакуумный насос содержит корпус 1 и установленные в нем на валу 2 внешний 3 и внутренний 4 роторы встречного вращения, снабженные приводными двигателями 5 и 6, причем внешний ротор 3 установлен на валу 2 посредством опор 7, выполненных в виде подшипников качения и расположенных по обе стороны от внутреннего ротора 4, вал 2 закреплен на корпусе 1, внутренний ротор 4 установлен на валу 2 посредством опор 8 в виде подшипников качения и приводной двигатель 6 внутреннего ротора 4 размещен между его опорами 8. При этом насос дополнительно содержит регулятор 9 питания . двигателей 5 и 6 и опорный упругий элемент, снабженный датчиком деформации, подключенным к регулятору 9, а вал 2 закреплен на корпусе 1 при помощи опорного упругого элемента, причем последний выполнен в виде подшипника качения 10 и спиральной пружины 11, а датчик деформации в виде тензодатчика 12, закрепленно го на пружине 11.

Насос работает следующим образом.

Приводные двигатели 5 и 6, установленные на валу 2, приводят во вращение в противоположных направленйях соответственно внешний 3 и внутренний 4 роторы. Для того, чтобы

10 обратное воздействие роторов на корпус в период их разгона отсутствовало, необходимо, чтобы воздействующие на вал 2 моменты сил инерции роторов компенсировали друг друга в

IS каждый момент времени. Это достигается регулированием ускорения роторов 3 и 4 путем реакции тензодатчика

-i2 на деформацию пружины ii имеющую ! место при нескомпенсированности мо20 ментов сил инерции роторов 3 и 4, и соответственное изМенение ускорений регулятором 9 питания двигателей 5 и

6. Кроме того, в случае, если роторы

3 и 4 сконструированы таким образом, 2; что их моменты инерции обратно пропорциональны их номинальным,скоростям вращения в рабочем режиме, время разгона роторов до номинальных скоростей одинаково, и в процессе работы обратное воздействие роторов на

ЗО корпус сводится к минимуму.

Таким образом, предлагаемый насос не воздействует на объекты, на которые устанавливается, что улучшает его эксплуатационные характеристики.