Проекционный объектив с увеличением -1/10 @

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК (51) 4 G 02 В 13/14

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ размещенной между третьим и четвертым К. Первый K выполнен в виде положительного мениска (М), обращенного вогнутостью к плоскости предметов, второй К вЂ” в виде отрицательного M обращенного вогнутостью к плоскости изображения, третий — отрицательный

М, обращенный вогнутостью к плоскости предметов. Четвертый и пятый К представляют собой двояковыпуклые линзы, шестой, седьмой и восьмой Кположительные M обращенные вогнутостью к плоскости изображения, а девятый К вЂ” отрицательным М, обращенный вогнутостью к плоскости изображений. Фокусное расстояние объектива

45,36 мм поле зрения — 56 мм, апертура 0,4. Объектив дает возможность получать субмикронные элементы порядка 0,6-0, 7 мкм на поле 4х4 мм. 1 ил.

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3818431/24-10 (22) 29. 11. 84 (46) 15.04.86. Бюл. Ф 14 (72) Э.С.Гуревич и Л.Д.Пигулевская (53) 77 1.35 1.7(088.8) (56) Панов -В.А.; Андреев Л.Н. Оптика микроскопов. Л.: Машиностроение, 1980, с. 416.

Авторское свидетельство СССР

Ф 873195, кл. G 02 В 13/24, 1979. (54) ПРОЕК11ИОННЫИ ОБЪЕКТИВ С УВЕЛИЧЕНИЕМ вЂ” -1—

10 (57) Изобретение может быть использо —. вано в микроэлектронике и проекционных системах экспонирования. Целью изобретения является увеличение поля зрения и рабочего отрезка объектива.

Проекционный объектив состоит из девяти компонентов (К) и диафрагмы,,.SUÄÄ1224770 А

1224770 z ций по всему полю, что дает возможность получать субмикронные элементы порядка 0,6-0,7 мкм на поле 4 х 4 мм.

Кроме того, объектив имеет рабочий отрезок, равный 0,4 фокусного расстояния объектива„ что важно при использовании предлагаемого объектива в установках мультипликации.

Изобретение относится к оптическим <истемам и может быть использовано в микроэлектронике и проекционных системах экспонирования.

Цель изобретения — увеличение поля зрения и рабочего отрезка.

На чертеже, изображена оптическая схема проекционного объектива.

Проекционный объектив состоит из девяти компонентов 1 — 9 и диафраг- 1р Фо p M ул а и з о бр ет ен ия мы 10. Первый компонент 1 — положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, второй компонент отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости 15 изображения, третий компонент 3 отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, четвертый компонент 4 — двояковыпуклая линза, пятый компонент 5 — двояковы- ур пуклая линза, шестой компонент 6— положительный мениск, обращенный вогнутостью и плоскости изображения, седьмой компонент 7 — положительный мениск, обращенный вогнутостью к 25 плоскости изображения, восьмой компонент 8 — положительный мениск. обращенный вогнутостью к плоскости изображения, девятый компонент 9 — отрицательный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости изображений. Проекционный объектив имеет поле зрения 29=

56 мм, апертуру A = 0,4, фокусное расстояние — F = 45,36 мм.

Проекционный объектив рассчитан для ультрафиолетовой области спектра при высокой степени коррекции аберраПроекционный объектив с увеличени1 ем — — содержащий семь компонен10 тов и диафрагму, установленную между третьим и четвертым компонентами, причем первый компонент — положительный мениск, обращенный вогнутостью к плоскости предметов, второй и тре-. тий-отрицательные мениски, обращенные вогнутостью друг к другу, четвертый и пятый — двояковыпуклые линзы, а шестой и седьмой — положительные мениски, обращенные вогнутостью к плоскости изображения, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью увеличения поля зрения и рабочего отрезка, в него введены два мениска, обращенных вогнутостью к плоскости изображения, первый из которых — положительный, установленный за седьмым компонентом на расстоянии, равном 0,1I1 фокусного расстояния объек" тива, а второй — отрицательный, установленный за первым введенным мениском на расстоянии,. равном 0,18 фокусного расстояния объектива. е ф

° ф

Ъ r

Составитель В. Архипов

Редактор A. Ревин Техред И.Гайдош, Корректор А. Патай

1949/46 Тираж 501 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ

Про;.in ;,.твенно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4