Способ изготовления цельного вакуумного захвата из спекаемого материала

 

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (19) (и) А1 ()) 4 В 25 В 11

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3806589/25-28 (22) 29.10.84 (46) 30.06.86.Бюл. ¹ 24 (72) В.А.Иванов, Ю.И.Калинин, Л.А.Чиненков, Ю.И.Гужавин, Г.А.Гладиков, Г.Ф.Веденеев и М.И.Лебедев (53) 621.86.062(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 625517, кл. Н 01 ? 21/52, 1978. (54)(57) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЦЕЛЬНОГО ВАКУУМНОГО ЗАХВАТА ИЗ СПЕКАЕМОГО

МАТЕРИАЛА, заключающийся в том, что формируют заготовку с центральным отверстием и рабочей камерой в виде граненого раструба,.вскрывают рабочую камеру и подвергают опорные поверхности захвата механической обработке, отличающийся тем, что, с целью повьппения точности обработки, камеру вскрывают в углах в направлении обработки опорных поверхностей и доводят последние чистовой обработкой в указанном направлении.

1240566

Изобретение относится к машиностроению и может быть использовано дпя изготовления вакуумных захватов дпя полупроводниковых кристаллов.

Цель изобретения — повышение точности обработки захвата путем обеспечения обработки опорных поверхностей на проход.

На фиг..1 представлена заготовка вакуумного захвата, с опорной поверхностью в виде граненого раструба, общий вид; на,.фиг.2 — то же, .с опорной поверхностью, состоящей из отдельных плоскостей; на фиг.З вЂ” то же, с симметричными опорными поверхностями, на фиг.4 — вакуумный захват, вид со стороны рабочей камеры.

Заготовка выполнена с рабочей камерой 1 в виде граненого раструба 2 с центральным отверстием 3. Инструмент 4 предназначен для обработки опорных поверхностей 5 камеры 1 и для образования в углах камеры 1 канавок 6.

Способ реализуется следующим образом.

Формируют заготовку с центральным отверстием 3 и рабочей камерой

1 в виде граненого раструба 2, после чего заготовку обрабатывают термически до получения твердого плотного конгломерата заданной формы.

После термической .обработки заготовки обрабатывают опорные поверхности

5 камеры 1. Опорные поверхности 5

10 ориентируют в направлении продольной подачи станка. Инструмент 4 подводят со стороны торца камеры 1 и вскрывают рабочую камеру 1 таким образом, что дно канавки 6 и одна из ее стенок соответствуют профилю и являются продолжением опорной поверхности 5. После вскрытия рабочей камеры 1 и образования канавок 6 в стенках по обеим сторонам каждой из

gp опорных поверхностей 5 последние.шлифуют, а затем полируют профильными инструментами на проход.

В камере с несимметричным расположением опорных поверхностей их об2S работку проводят индивидуально, В камере с симметричным расположением опорных поверхностей их обработку проводят попарно.

1240566

Составитель Б.Махтин.

Редактор Л.Веселовская Техред О.Гортвай Корректор Л.Патай, Заказ 3436/10 Тираж 1031 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и отверстий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие,г..ужгород, ул.Проектная, 4