Устройство для нанесения фоторезиста на пластины

 

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АBTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

У lб У Я!7

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3865391/23-05 (22) 07.03.85 (46) 07.0?.86. Бюл. № 25 (72) Д. И. Лившиц и М. Д. Лившиц (53) 678.056(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 555917, кл. В 05 С 11/02, 1977.

Авторское свидетельство СССР № 751439, кл. В 04 В 5/00, 1978. (54) (57) 1. УСТРОЙСТВО ДЛЯ НАНЕСЕНИЯ ФОТОРЕЗИСТА НА ПЛАСТИНЫ, содержащее сборник фоторезиста, установленную в нем перфорированную оправку с соединенной со средствами вакуумирования полостью и привод ее вращения, отличающе„„SU„„1242261 А1 (gg 4 В 05 С 11/02, В 04 В 5/00 еся тем, что, с целью повышения надежности крепления пластины и качества покрытия, средства вакуумирования выполнены в виде обхватывающей оправку гильзы с равномерно расположенными по периметру вертикальными каналами, каждый из которых снизу соединен со штуцером для подвода сжатого воздуха, а сверху — с эжектором, сообщающимся боковым отверстием с полостью оправки, причем гильза над эжектором снабжена закрывающей канал заглушкой и имеет отверстия на боковой поверхности для соединения его с атмосферой.

2. Устройство по п. 1, отличающееся тем, что канал над эжектором заполнен фильтрующим материалом.

1242261

Составитель М. Осипова

Редактор A. Сабо Техред И. Верее Корректор .!. 11 ы ай

Заказ 3645/13 Тираж 631 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Раушская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», r. Ужгород, ул. Проектная, 4

Изобретение относится к устройствам для нанесения покрытий с помощью центробежной силы и может быть использовано для нанесения светочувствительного слоя (фоторезиста) на пластины при фотолитографии.

Цель изобретения — повышение надежности крепления пластины и качества покрытия.

На чертеже изображено устройство для нанесения фоторезиста на пластины.

Устройство содержит гильзу I,сборник 2 фоторезиста, оправку 3 с вакуумной полостью 4 и отверстиями 5, привод вращения оправки 3, состоящий из электродвигателя 6 и ременной передачи 7.

Гильза 1 по периферии выполнена с вертикальными каналами 8, каждый из которых па одном конце соединен со штуцером 9 для подачи сжатого газа, а с другим — с эжектором, состоящим из втулок 10 и 11, боковым отверстием 12 соединенным с полостью оправки 3. Канал 8 за эжектором заглушен заглушкой 13 и заполнен пористым фильтровальным материалом 14, причем гильза имеет боковые отверстия 15 для соединения с атмосферой.

Устройство работает следующим образом.

Пластину устанавливают на торец оправки 3. Через штуцер 9 по каналу 8 на эжектор подается сжатый газ. Пройдя через втулки 10 и 11 эжектора и заполнитель (материал) 14, газ выходит через отверстия 15 в полость сборника 2 фоторезиста. При этом в полости 4 создается разрежение и пластина через отверстия 16 присасывается к оправке 3. Одновременно включается двигатель 6 через передачу 7, вращаюш,ий оправку 3, и на повер,H0cTb пластины наносят дозу фоторезиста. Под действием центробежной силы фоторезист растекается по поверхности пластины ровным слоем. При этом избыток фоторезиста, стекающий с пластины, отбрасывается на стенки сборника 2 потоком воздуха из отверстий 15. Затем двигатель 6 отключается и прекращается подача газа к штуцерам 9.

Пластина удаляется и цикл можно повторитьь.

Предлагаемое устройство обеспечивает бо лее надежное крепление пластины к оправке, особенно на различных скоростях вра20 щения оправки, причем подаваемый на обратную сторону пластины воздух через фильтр повышает прецизионность процесса и снижает уровень шума. Кроме того, значительно снижены энергозатраты HB процесс нанесения фоторезиста, так как крепление пластины и защита ее тыльной стороны производятся от одного энергоносителя. Наличие только одного электропривода упрощает TBKже и систему управления, так как отпадает необходимость в синхронизации работы двух приводов.