Компенсатор для контроля вогнутых асферических зеркал

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутой сферической поверхности. Целью изобретения является повьшет ие точности контроля. Компенсатор состоит из двух одинаковых линз, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью , линзы установлены одна по отношению к другой таким образом, что их верши{ш расположены на одной оси, вторые поверхности обоих линз выполнены сферическими выпуклой формы с маркой, нанесенной на каждой из сферических поверхностей линз, ориентированных вогнутыми поверхностями друг к другу и установленными между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности. Марки предназначены для вставки вершин линз на одну ось. Для этого последовательно подсвечивают одну из марок, строят ее изображение, отражаемое от вогнутой поверхности другой линзы, наблюдают смещение автоколлимационных изображений марки и по величине смещения ориентируют линзы, добиваясь устранения их децентрировки,1 ил. (Л to СП 4 tsD СО СО

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

COLlHAЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„.SU„„125429 (51)4 G О! В 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ 1;/

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

К А ВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 3783952/24-28 (22) 20.08.84 (46) 30.08.86. Бюл, 1 32 (71) Ленинградский ордена Ленина н ордена Трудового Красного Знамени государственный университет им. А.А.Жданова (72) В.В.Кузнецов и Г.М.Попов (53) 531.715.2 (088.8) (56) Appfied Ор ьсз, 1963, Р 2, с. 153-155 .. (54) КОМПЕНСАТОР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ВОГНУТЫХ АСФЕРИЧЕСКИХ ЗЕРКАЛ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутой сферической поверхности. Целью изобретения является повышение точности контроля.

Компенсатор состоит из двух одинаковых линз, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью, линзы установлены одна по отношению к другой таким образом, что их вершины расположены на одной оси, вторые поверхности обоих линз выполнены сферическими выпуклой формы с маркой, нанесенной на каждой иэ сферических поверхностей линз, ориентированных вогнутыми поверхностями друг к другу и установленными между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности. Марки предназначены для вставки вершин линз на одну ось. Для этого последовательно подсвечивают одну нз марок, строят ее изображение, отражаемое от вогнутой поверхности другой линзы, наблюдают смещение автоколлимационных изображений марки и по величине смещения ориентируют линзы, добиваясь устранения нх децентрировки.1 ил.

1254293

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля вогнутых асферических зеркал.

Целью изобретения является повы- 5 шение точности контроля за счет уменьшения децентрировки линз компенсатора.

На чертеже показана принципиальная схема компенсатора.

Компенсатор содержит первую вогнутую линзу 1„ вторую вогнутую линзу 2, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью, г линзы 1 и 2 установлены одна по отношению к другой таким образом, что их вершины расположены на одной оси.

Вторые поверхности обеих линз выполнены сферическими выпуклой формы,, на каждую из сферических поверхностей линз 1 и 2 нанесены марки 3 и 4.Линзы ориентированы вогнутыми поверхностями друг к другу и установлены между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности..

На чертеже также показаны точечный источник 5 монохроматического излучения, светоделительная пластчнка 6, контролируемая вогнутая сферическая поверхность 7, регистрирующая система 8.

Устройство работает следующим образом.

Предварительно юстируют между собой пространственно разнесенные линзы 1 и 2 компенсатора. Для этого подсвечивают точечным источником 5 одну из марок (например 3). Наблюдают в микроскоп (не показан) со стороны выпуклой поверхности линзы 1 щ автоколлимационное изображение марки 3 после отражения части излучения от вогнутой поверхности линзы 2„ Перемещая и наклоняя одну из линз 1,2, добиваются совмещения изображения марки с самой маркой.

Проверяют совмещение автоколлимационного изображения марки 4 с самой маркой для линзы 2. Добиваются совмещения каждой марки со своим автоколлимационным изображением, устраняя децентрировку линз компенсатора.

Затем направляют излучение от точечного источника 5 света. Гомоцентрический волновой фронт от точечного источника 5 отражается от светоделительной пластинки 6, последовательно проходит через линзы 1 и 2 компенсатора, деформируясь ими, отражается от контролируемой асферической поверхности 7. В обратном ходе излучения он вновь проходит линзы 1 и 2 компенсатора и светоделительную пластинку 6 и собирается в безаберрационной точке А. Локальные погрешности контролируемого зеркала переносятся на волновой фронт в удвоенном масштабе. Отраженный волновой фронт регистрируют системой 8 регистрации, например интерферометром.

После расшифровки интерферограммы получают ошибки волнового фронта, проецируемые на контролируемое зеркало.

Формула изобретения

Компенсатор для контроля вогнутых асферических зеркал, состоящий из двух одинаковых линз, каждая из которых выполнена с одной вогнутой сферической поверхностью, линзы установлены одна по отношению к другой таким образом, что их вершины расположены на одной оси, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью повышения точности контроля, другие поверхности обеихлинз выполнены сферическими выпуклой формы с маркой, нанесенной на каждой из сферических поверхностей линз, ориентированных вогнутыми поверхностями одна к другой и установленных между собой на расстоянии, равном радиусу вогнутой поверхности.

1254293

Составитель Я.Солоухин

Редактор А.Долинич Техред АЛравчук

Корректор А.Обручар

Заказ 4709/43 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое нредприятйе, г.Ужгород, ул.Проектная,4