Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей

 

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей. Цель изобретения - повьше.ние точности и производительности контроля за счет нерасстраиваемости оптической системы устройства в процессе контроля и автоматического отслеживания всей оптичес кой системы профиля контролируемой поверхности . Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей содержит последовательно расположенные оптический блок, включающий осветительную систему , плоские зеркала и узел сменных вспомогательных объективов в оправах с пробным стеклом, каретку, шпиндель, кронштейн, механизм динамической балансировки , разгрузочный механизм, стойку с направляющими, механизм перемещения каретки. Разгрузочный механизм выполнен в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом . Механизм динамической балансировки вьтолнен в виде штанги с разнесенными по радиусу -грузами и закреплен на кронштейне. Оптический блок, зеркала, узел сменных вспомогательных объективов в оправах, пробное стекло объединены кронштейном, шарнирно закрепленным на рычаге разгрузочного механизма. 1 ил. е (Л to 4: ел оо vj ю

СОЮЗ СОВЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИН (51) 4 С 01 В 9/029 11/24

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

И Д ВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3852037/24 — 28 (22) 1 7, 12 ° 84 (46) 23.07.86. Бюл. ¹ 27 (72) А.Г.Флейшер, Н.В.Константиновская и Н.А.Гойко (53) 531.715 ° 1(088.8) (56) Коломийцов Ю.B. Интерферометры.

Л.: Машиностроение, 1976, с. 205-219.

Авторское свидетельство СССР № 503125, кл, G 01 В 11/27, 1976. (54) ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ФОРMbI ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ КРУПНОГАBAPHTHblX ДЕТАЛЕЙ (57) Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля форми оптических поверхностей крупногабаритных деталей. Цель изобретения — повышение точности и производительности контроля за счет нерасстраиваемости оптической системы устройства в процессе контроля и автоматического отслеживания всей оптичес. SU 1245872 А1 кой системы профиля контролируемой поверхности. Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей содержит последовательно расположенные оптический блок, включающий осветительную систему, плоские зеркала и узел сменных вспомогательных объективов в оправах с пробным стеклом, каретку, шпиндель, кронштейн, механизм динамической балансировки, разгрузочный механизм, стойку с направляющими, механизм перемещения каретки. Разгрузочный механизм выполнен в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом. Механизм динамической баланси- 3 ровки выполнен в виде штанги с разнесенными по радиусу грузами и закреплен на кронштейне. Оптический блок, зеркала, узел сменных вспомогательных объективов в оправах, пробное стекло объединены общим кронштейном, Ь шарнирно закрепленным на рычаге разгрузочного механизма. 1 ил.

Дав

1245872

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей, Цель изобретения — повышение точности и производительности контроля за счет нерасстраиваемости оптической системы устройства в процессе контроля и автоматического отслежива- >О ,ния всей оптической системы профиля контролируемой поверхности.

На чертеже изображена принципиальная схема интерферометра для контроля формы оптических поверхностей крупногабаритных деталей.

Интерферометр содержит последовательно расположенные оптический блок

1, включающий приемную и осветительную системы, плоские зеркала 2 и 3 и узел 4 в оправах с пробным стеклом

5, каретку 6, шпиндель 7, кронштейн

8 (условно развернут в плоскость чертежа), механизм 9 динамической балансировки, разгрузочный механизм.10, стойку 11 с направляющими, механизм

12 перемещения каретки. Разгрузочный механизм 10 выполнен в виде шарнирно закрепленного на стойке рычага с противовесом. ЗО

Механизм 9 динамической балансировки выполнен в виде штанги с разнесепньгми по радиусу грузами и закреплен на кронштейне 8. Оптический блок 1, зеркала 2 и 3, узел 4 сменных вспомогательных объективов в oiiравах, пробное стекло 5 объединены общим кронштейном 8, шарнирно закрепленным на рычаге разгрузочного механизма 10 и снабженным механизмом 9,1п динамической балансировки. Рычаг, в свою очередь, закреплен на верхней части стойки 11, на которой расположена каретка 6 со шпинделем 7 для крепления контролируемой детали 13.

Каретка 6 установлейа на направляющих и может с помощью механизма

12 плавно перемещаться вдоль контролируемого диаметра детали 13. Кронштейн 8 находится в постоянном контакте с контролируемой деталью 13 посредством трех опор, вмонтированных в оправу пробного стекла 5.

Интерферометр работает следующим образом. 55

Устанавливают систему контроля, для чего, исходя из радиуса кривизны контролируемой поверхности, устанавливают необходимый вспомогательный об.ьектив из узла 4 с пробным стеклом 5 и перемещают в расчетное положение вдоль оптической оси оптический блок 1. Этими действиями обеспечивается освещение поверхности (рабочей) пробного стекла 5 и контролируемой поверхности по нормалям к ним. Затем на шпиндель 7 каретки 6 навинчивается "гриб" или чашка" с деталью 13, верхняя поверхность которой должна быть про— контролирована. Перемещая каретку 6 по направляющим стойкам 11 при помощи механизма 12, подводят деталь 13 под пробное стекло 5, которое своими опорными ножками самоустанавливается на контролируемой поверхнос— ти. Затем регулируют воздушный клин между пробныы стеклом 5 и поверхностью детали 13 до нужного вида интерференционной картины.

При контроле перемещают деталь 13 под пробным стеклом 5 с заданным шагом и регистрируют интерференционную картину на всех стоянках (различных участках поверхности). Контроль ведется по двум — восьми ее сечениям, поэтому шпиндель 7 выполнен с возможностью поворота вокруг своей оси. Дальнейшая обработка интерферограмм позволяет получить профиль контролируемой поверхности.

Формулаизобретения

Интерферометр для контроля формы оптических поверхностей крупногаба— ритных деталей, содержащий последовательно расположенные оптический блок, включающий приемную и осветительную системы, плосксе зеркало и узел сменных объективов с пробным стеклом, кронштейн, на котором закреплен узел сменных объективов, и стойку с направляющими, о т л и— ч а ю шийся тем, что, с целью повышения точности и производительности контроля, он снабжен кареткой

""-о шпинделем, установленной на направляюших, дополнительным плоским зеркалом, расположенным под углом к основанию и оптически с ним связанным, разгрузочным механизмом, выполненным в виде шарнирно закрепленного на стойке рьгчага с противовесом, механизмом динамической балансировки, 1245872

Составитель Л.Лобзова

Техред M.Ходанич Корректор В.Бутяга

Редактор А.Козориз

Тираж б70. Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Заказ 3985/31

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4 выполненным в виде штанги с разнесенными по радиусу грузами и закрепленным на кронштейне со стороны, противоположной оптическому блоку, а оптический блок и зеркала закреплены на кронштейне шарнирно с концом рычага, противоположным противовесу, так, что ось приемной системы приемно-осветительного узла перпендикулярна направляющим.