Вакуумный сорбционный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные х-ки насоса и повысить его надежность. В кольцевом зазоре между сосудом 2 с хладагентом и сорбционным элементом (СЭ) 3 установлен радиационный теплообменник в виде дисков 5, 6. Диски 5 и 6 размещены относительно друг друга с осевыми зазорами 7, 8 и поочередно закреплены на СЭ 3 с тепловым контактом, что обеспечивает интенсивный теплоотвод от геттера и позволяет увеличить его поглотительную способность . Отсутствие контакта между СЭ 3 и сосудом 2 исключает возможность его аварийной остановки в процессе работы насоса. 2 ил. ю (Л to Oi 00 1 фиг. 2 СО со

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИН (5!) 4 Г 04 В 3702

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

8 7

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3927101/25-06 (22 ) 10. 07. 85. (46) 07.1!.86. Бюл. № 41 (71) Физико-технический институт низких температур АН УССР (72) Ю. А. Захарченко и И. Я. Фуголь (53) 621.528.3 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 559037, кл. F 04 В 37/02, 1975. (54) ВАКУУМНЫЙ СОРБЦИОННЫИ

НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные

„„SU„„1268799 х-ки насоса и повысить его надежность.

В кольцевом азоре между сосудом 2 с хладагентом и сорбционным элементом (СЭ)

3 установлен радиационный теплообменник в виде дисков 5, 6. Диски 5 и 6 размещены относительно друг друга с осевыми зазорами

7, 8 и поочередно закреплены на СЭ 3 с тепловым контактом, что обеспечивает интенсивный теплоотвод от геттера и позволяет увеличить его поглотительную способность. Отсутствие контакта между СЭ 3 и сосудом 2 исключает возможность его аварийной остановки в процессе работы насоса. 2 ил.!

268799

Фг)р 1(и.ги и:(ог)ретения

Щ7 f

С .ос! !H!! (елн f3 Кряковки((Тс: род И. !3срес Коррекrof) (с!ср(н(Тираж 586 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий! 13035, Москва, )!С вЂ” 35, Рау шская наб., д. 4/5

Филиал ППП «Патент», г. Ужгород, ул. Проектная, 4

Редактор М. !>ланар

Заказ 6010134

Изобретение относится к вак3умной тех. нике, а именно к к()нструкциям вак3у ных сорбционных насосов.

Цель изобретения — улучпц ние откачных характеристик насоса и (ювып(е(ис его надежности.

На фиг. представлен насос, попере IflbIH разрез; Itd (ри(ь 2 - - радиаци(»(ный теплooбмс ниик, осевое сечение.

Вакуумный сорбционный насос содержит корпус 1, разме)ценный в нем сосуд 2 охваты Ва 101ций

llbIH сорбционный элемент 3 и испарптсль 4 геттера. Горбционный элемент 3 уст)1)(овлен относительно сосуда 2 с кольцевым зазором, в котором расположен радиационный тсплообменник в виде набора .п(оков 6 и 6, размещс нных один относительно,(ругого с осевыми зазорами 7 и 8 и fioo÷cðå tflo закреплеftflt>lx с тепловым контактом Ild сорбционном элементе 3 и сосуде 2. ! !acne работает следующим образом. !

1редварительно полость корпуса вакуумируется внешним насосом lo OcTBTo lffof О

)tdt3, ния — 1О Г1а. В сосуд 2 за IHI)deTcH жидкий азот, включается испарптель 4 геттера и приводится во вра(пение вокру(co Vl)d 2 Cорбционный 3.1 i31CIIT 3). PBC:Ibl.IHемый иснарителсм 4 геттер осаждается на внешней поверхности элемента 3 в f)Hде тонкой пленки. Тепло от элемента 3 инfcff Hf3IIo ОтВОди гся к жи )f>oM)i аЗОт) В сосу; !(2

IIX òåì гс плсиlåðåíÎса )злу гс нием от lècêов

6 к дискам 5,с рез зазоры 7 и 8. ОхлажденI:dÿ гонкая плс нка гс1тсрногo материала и кти Вно погло(пает м Ол скулы газа, попад(1 IOIIIHC В по;1О(Ть I>Op I I) C(1 HBCOC3. И нТен— сп(зный теll,н)к)твод ol геттсра позволяет

l всличить его поглотигсльнуK) способность, и следовательно, улу1(шить его откачные характеристики. Отсутствие контакта между !

О сОрбциÎнным элеменT031 и сосудОм для хладагента исклк)чает возможность аварийной остановки элемента В процессе работы насоса, ITo обеспечивает повышение надежности.

Вакуумный с»рбц)ц)нный на(ос, содержащий корпус. размещеHHl>IH в нем сосуд

20 с х, Iib!агpHTo 1, Охваты()ак)(ции с1 0 но 1вижный сорбционный элемент и испаритель геттера, or)fñ>fàfoè èèoÿ тсм, что, с целью улучшения откачных характеристик и повышения надежности, сорбционный элемент установлен относительно сосу,ta с кольцевым

2S 3iI:30ðo3i и в последнем расположен ради() ltèонный тсплообмеHíик в виде набора

)3(СКО)3, РаЗМЕ(ЦЕННЫХ ОтНОСИтЕЛЬНО ДРУГ друга с осевыми зазорами и поочередно закрепленных с тепловым контактом на (орбционном элсменте и сосуде.