Устройство для измерения толщины пленок

Авторы патента:

Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверх ностью . Целью изобретения является измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, предназначенной для установки контролируемого объекта. Монохроматический пучок света от источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, преобразуется линзой 4 в дифракционную картину, которая регистрируется фотоприемником 5 и блоком 6 регистрации. Перёд измерением объекта формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны дифракционных экстремумов. После установки контролируемого объекта 9 дифракционная картина искажается. За счет перемещения плоскости 3 на « величину dh восстанавливается прежсл няя дифракционная картина. По значению &h однозначно определяют контролируемый параметр d.1 ил. ьо ю

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1

„„SU„„1272103 5ц 4 С 01 В l I /06

% ! у

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К ASTOPCHOIVIV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3755731/24-28 (22) 21.06.84, (46) 23.11.86. Бюл. Ф 43 (71) Алтайский политехнический институт им.И.И.Ползунова (72) П.И.Госьков и Б.В.Старостенко (53) 531.715.2 (088.83 (56) Авторское свидетельство СССР

Р 1035416, кл. G 01 В 11/06, 1982 ° ,(54) УСТРОЙСТВО ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНОК (5?) Изобретение относится к измерительной технике и может быть исполь зовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверхвЂ” ностью. Целью изобретения является измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, предназначенной для установки контролируемого объекта.

Монохроматический пучок света от источника l, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, преобразуется линзой 4 в дифракционную картину, которая регистрируется фотоприемником 5 и блоком 6 регистрации. Аеред измерением объекта формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны дифракционных экстремумов. После установки контролируемого объекта 9 . дифракционная картина искажается.

За счет перемещения плоскости 3 на величину дЬ восстанавливается прежвЂ” няя дифракционная картина. По значению дЬ однозначно определяют контролируемый параметр d.l ил.

По значению hh однозначно определяют толщину d контролируемого объекта 9.

Формула изобретени

Составитель Б.Потапов

Редактор Н.Тупица Техред 3Т.Сердюкова Корректор -I.Демчик

Заказ 6326/36 Тираж 670 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, r.ужгород, ул. Проектная, 4

1 12

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для измерения толщины непрозрачных пленок с отражающей поверхностью.

Цель изобретения вЂ” измерение непрозрачных пленок за счет образования дополнительной отражающей базы, 1 предназначенной для установки контролируемого объекта.

На чертеже представлена схема предлагаемого устройства.

Устройство для измерения толщины пленок содержит источник 1 монохроматического света, две плоскости 2 и 3, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направлению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источника, линзу 4, фотоприемник

5 и блок 6 регистрации дифракционной картины в плоскости 7.

Между плоскостями 2 и 3 под углом

Устройство работает следующим образом.

Монохроматический пучок света от источника 1, ограниченный с одной стороны плоскостью 2, падает на зеркало 8. Пучок света, отраженный от зеркала 8, ограничивается с другой стороны плоскостью 3 и преобразуется линзой 4 в дифракционную картину плоскости 7. Дифракционная картина регистрируется фотоприемником 5 и

72! 03 обрабатывается блоком Ь регистрации, С помощью механизма 10 плоскость 3 перемещается вдоль направления рас( пространения света до положения 3 при котором формируется дифракционная картина, не имеющая с одной стороны чередующихся экстремумов. При размещении измеряемого объекта 9 дифракционная картина изменяется: моно10 тонное изменение интенсивности смевЂ” няется набором экстремумов.

С помощью механизма IO плоскость

3 перемещается на расстояние йЬ до восстановления первоначальной дифракционной картины, не имеющей экстремумов с одной стороны.

Устройство для измерения толщины пленок, содержащее источник монохроматического света, две плоскости, расположенные одна относительно другой так, что они образуют щель в направлении, перпендикулярном направ30 лению распространения света, и сдвинутые друг относительно друга в направлении распространения света от источника, линзу, фотоприемник и блок регистрации дифракционной картины, о т л и ч а ю щ е е с я тем, что, с целью измерения непрозрачных пленок, оно снабжено зеркалом, установленным между плоскостями под углом с /2 к каждой из плоскостей, располо4Q женных под углом с одна относитель.но другой, причем вторая плоскость по ходу распространения света установлена с возможностью перемещения вдоль направления распространения

45 света.

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано для контроля толщины слоев пленки

Способ измерения толщины пленок на подложках // 1226042

Изобретение относится к измерительной технике, в частности, к измерению толщины пленок на подложках

Устройство для измерения толщины покрытий // 1218292

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для измерения толщины наружных полимерных покрытий на трубах в технологическом потоке

Способ контроля количества резины на валках каландра // 1206610

Изобретение относится к измерительной технике и предназначено для контроля количества резины ka валках каландра

Способ определения параметров диэлектрической пленки // 1193459

Способ определения толщины пленок,напыляемых в вакууме // 1188526

Двухлучевое интерференционное устройство для измерения толщины прозрачных пленок // 1165879

Способ контроля за нанесением слоев многослойных ультрафиолетовых покрытий // 1157350

Устройство для измерения линейных размеров // 1145244

Способ определения толщины пленки // 1128114

Устройство для неразрушающего измерения толщины диэлектрических и полупроводниковых пленок // 2102702

Интерферометрическое устройство для измерения физических параметров прозрачных слоев (варианты) // 2141621

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного измерения толщины и показателя преломления прозрачных слоев

Способ измерения толщины листового стекла и устройство для его осуществления // 2146355

Изобретение относится к измерительной технике и может быть использовано для бесконтактного автоматического измерения толщины прозрачных материалов, например листового стекла, в непрерывном производственном процессе

Интерферометрическое устройство для бесконтактного измерения толщины // 2147728

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к оптическим интерферометрам, и может быть использовано для непрерывного бесконтактного измерения геометрической толщины прозрачных и непрозрачных объектов, например листовых материалов (металлопроката, полимерных пленок), деталей сложной формы из мягких материалов, не допускающих контактных измерений (например, поршневых вкладышей для двигателей внутреннего сгорания), эталонных пластин и подложек в оптической и полупроводниковой промышленности и т.д

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2149353

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщин слоев прозрачных жидкостей и может быть использован для бесконтактного определения толщин слоев прозрачных жидкостей в лакокрасочной, химической и электронной промышленности, а также в физических и химических приборах

Способ измерения оптической толщины плоскопараллельных прозрачных объектов // 2152588

Изобретение относится к измерительной технике, а именно к интерференционным способам измерения оптической толщины плоскопараллельных объектов и слоев

Устройство для контроля линейных размеров по принципу триангуляции // 2153647

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и может быть использовано в черной и цветной металлургии для измерения толщины проката в условиях горячего производства без остановки технологического процесса

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения // 2157509

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины пленок, в частности в устройствах для измерения и контроля толщины пленок фоторезиста, наносимых на вращающуюся полупроводниковую подложку в процессе центрифугирования в операциях фотолитографии

Способ контроля толщины пленки в процессе ее нанесения и устройство для его реализации // 2158897

Изобретение относится к контрольно-измерительной технике и предназначено для неразрушающего контроля толщины и измерения разнотолщинности пленок, в частности в устройствах для нанесения фоторезиста в операциях фотолитографии

Способ измерения толщины тонкого слоя прозрачной жидкости // 2165071

Изобретение относится к оптическим способам измерения толщины слоя прозрачной жидкости