Фильтр для агрессивных газов

 

Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам, предназначено для микроочистки газов в техпроцессах микроэлектроники , но может быть использовано и в других областях, например в процессах фильтрации; оно позволяет увеличить в два /7/if / J 72 раза эффективную площадь фильтрации, производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрессиБны.х средах. Фильтр включает фланцы 1, 2 с уплотнениями II, 16, стягивающее приспособление в виде съемного бандажа 17, вкладыш в виде полого цилидра 3 на боковых поверхностях которого размещены в.ход верхнего 13 и выход нижнего 12 каналов . Фильтр снабжен вертикальной разделительной перегородкой 6, прикрепленной к верхней и нижней противоположным частям боковой поверхности вкладыша, при этом выход верхнего канала 13 и вход нижнего канала 12 расположены на перегородке 6. Кроме того, фланцы, уплотнения, вкладьпп с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов. 1 з.п.ф-лы. 1 ил. /JJ SS // tsO 00 00 оо

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСНИХ

РЕСПУБЛИК

„„SU „„1282880 (б11 4 В Ol D 46/54

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ (21) 3882029/23-26 (22) 11.04.85 (46) 15.01.87. Бюл. № 2 (72) О. Л. Вестфаль, Е. B. Дмитриев, Т. В. Доронина, С. К. Ермашов, И. В. Затолока и Б. А. Раковский (53) 66.067.324 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР № 1000064, кл. В 01 D 46/00, 1981.

Авторское свидетельство СССР № 1163889, кл. В 01 D 46/42, 1983, (54) ФИЛЬТР ДЛЯ АГРЕССИВНЫХ ГА30В (57) Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам, предназначено для микроочистки газов в техпроцессах микроэлектроники, но может быть использовано и в других областях, например в процессах фильтрации; оно позволяет увеличить в два

17 1Е раза эффективную площадь фильтрации, производительность фильтра и обеспечивает высокую коррозионную стойкость в агрессивных средах. Фильтр включает фланцы !.

2 с уплотнениями 11, 16, стягивающее приспособление в виде съемного бандажа 17, вкладыш в виде полого цилидра 3 на боковых поверхностях которого размещены вход верхнего 13 и выход нижнего 12 каназов. Фильтр снабжен вертикальной разделительной перегородкой 6, прикрепленной и верхней и нижней противоположным частям ооковой поверхности вкладыша, при этом выход верхнего канала 13 и вход нижнего канала 12 расположены на перегородке 6.

Кроме того, фланцы, уплотнения, вкладыш с перегородкой и опорные сетки выполнены из термопластичных фторопластов.

1 з.п.ф-лы, 1 ил.

1282880 динамические сопротивления идентичны, что обеспечивает прохождение через фильтрующие элементы 9 и 10 одинакового количества газа.

Расположение проходных каналов 12 и

13 в периферийной части вкладыша 3 обусловливает равномерное распределение газового потока по поверхности фильтрующего элемента, что способствует увеличению производительности фильтра.

В фильтре для агрессивных газов, предназначенном для микроочистки, предварительная и тонкая очистка предусмотрена в самом фильтрующем элементе, который состоит из двух дисков: предфильтра на основе ультратонкого стекловолокна и чистого фильтрующего диска из пористого фторопласта с контролируемыми размером пор в диапазоне О,! — 0,5 мкм. Вкладыш с разделительной перегородкой и проходными каналами, на торцах которого укреплены фильтрующие элементы в опорных сетках, обеспечивает одновременную параллельную работу обоих фильтрующих элементов, что и обусловливает увеличение эффективной площади фильтрации, а следовательно, производительности фильтра по сравнению с фильтром одинарным., т.е. фильтром без вкладыша, при том же диаметре фильтрующего элемента.

Предлагаемый фильтр компактен, надежен и стабилен в эксплуатации, имеет высокую эффективность фильтрации и при этом удобен и прост в обслуживании и при замене фильтрую!них элементов.

Формула изобретения

1..Фильтр для агрессивных газов, содержащий входной и выходной фланцы с уплотнениями и стяги ва югци м приспособлением, вкладыш с одинаковыми по конфигурации верхним и»иж»им проходными ка»алами, последователь»о установленные в вкладыше и укрепленные в опорных сетках фильтрующие элементы, отличающийся тем, что, с целью увеличения площади фильтрации и производительности фильтра, он снабжен вертикальной разделительной перегородкой, прикрепленной к верхней и ниж»ей противоположным частям боковой поверх»ости вкладыша, выполненного в виде полого цилиндра, при этом вход верхнего и выход нижнего каналов размещены на торцах вкладыша, а выход верхнего и вход нижнего ка»алов — на перегородке.

2. Фильтр по п. 1. отличающийся тем, что, с целью обеспечения коррозионной стойкости, фланцы, уплотнения, вкладыш с перегородкой и опор»ые сетки выполнены из термопластич»ых фторо»ластов.

И. 11ерес h,орректор 1.З Рошко

656 11одписиое

ССС!д по делам изобрете ий и открытий

Ра1 !LIE. KdB иаб:, g. 1,15 едприитие, г. Ужгород, .ë . Ироектиии, 4

Изобретение относится к сменным мембранным фильтрам и предназначено для микроочистки газов в процессах микроэлектроники, а также может быть использовано и в других областях.

Цель изобретения — увеличение площа5 ди фильтрации и производительности фильтра при том же диаметре фильтрующего элемента и обеспечение коррозионной стойкости деталей фильтра к агрессивным средам. !О

Для обеспечения коррозионной стойкости в агрессивных средах детали фильтра, контактирующие с рабочими газами, выполнены из термопластичных фторопластов.

На чертеже изображен предлагаемый фильтр, общий вид.

Фильтр имеет входной 1 и выходной 2 фланцы, вкладыш 3, выполне»ный в виде полого цилиндра, с полостями 4 и 5, разделенными вертикальной разделительной перегородкой 6. Во вкладыше между опорными сетками 7 и о расположены фильтрую.цие элементы 9 и 10, отделяющие полости

4 и 5 вкладыша 3 от полостей фланцев.

Для герметизации полостей 4 и 5 служат уплотнения 11.

На периферийной части вкладыша 3 расположены нижний 12 и верхний 13 проход»ые каналы, имеюгцие оди»аковые конфигурацию и длину и соединяк>щие соответстве»но полость 4 вкладыша с полостью выходного фланца 2, а полость 5 вкладыша— с полостью входного фланца 1. На торцах вкладыша 3 имеются выступы 14, а во фланцах 1 и 2 — соответствую»!ие им впадины 15 для исключения от»ос»тельного поворота. Между вкладышем 3 и фланцами 1 и

2 установлены уплотнения 16, обеспечивающие герметичность полостей фильтра по отношению к окружающей среде.

Стягивающим приспособле11ием является с ьемный ба»даж 1 . который служит для соединения деталей фильтра. При работе фильтра газ, поступающий во входной 4р флг»ец, разлеляетс:I »а два по-;ока, один из которых проходи через фильтрующий элемент 9 в полость 4 »кладь »!а, и затем через проходные каналы 12 поступает в выходной фла»сц, а другой по каналам 13 поступает в полость 5 вкладыша и проходит 4 через фильтрующий элемент 10 в выходной фланец, где оба потока суммируются.

Фланцы, вкладыш с перегородкой, опорныс сетки и уплотнения изготовлеllhl из термопластичных фторопластов: литьевого и эластичного, причем фла»цы, опорные сетки

50 и фильтрующие элементы выполнены между собой взаимозаменяемыми.

Так как конфигурация и длина проходных каналов 12 и 13 одинаковы, их газоСоставите.ll> 1!. Ковале B

1 еда кто р Л. О га р Гехред

Заказ ЗI1,3 Тираж !

1НИк!1!И Государствеииого комитета

113035, Москва, Ж вЂ” 35, Г!роизводствеп I(!-полиграфическое Ilp