Фильтр

 

Использование: к области микрофильтрации газообразных и других сред в процессах микроэлектроники и других областях. Сущность изобретения: выполнение вкладыша с кольцевой проточкой обеспечивает возможность растекания газа по поверхности вставки , а выполнение вставки кольцевой и газопроницаемой позволяет производить равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, независимо от объемного расхода фильтруемого газа 1 з п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ сОциАлистических

РЕСПУБЛИК

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ

ПО ИЗОБРЕТЕНИЯМ И ОТКРЫТИЯМ

ПРИ ГКНТ СССР

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4843594/26

{22) 28.06.90 (46) 23.08,92, Бюл. N 31 (71) Научно-исследовательский институт точного машиностроения (72) А.Т. Буравцев, А.В. Барышев, А.А. Арендаренко и С.В. Лобыэов (56) Патент ФРГ N. 3313271, кл, В 01 О

13/00, 1983.

Авторское свидетельство СССР Ь

1282880, кл. В 01 О 46/54, 1985.

Изобретение относится к области микрофильтрации гаэообразованных и других сред в процессах микроэлектроники, и также может быть использовано в других областях.

Известен фильтр, содержащий фланцы, выполняющие роль корпуса, между которыми заключен фильтрующий элемент, В известной конструкции основная масса газа поступает из входного отверстия в центральную часть фильтрующего элемен-. та, что приводит к неравномерному распределению скорости газового потока по площади фильтрующего элемента и тем самым снижает пропускную способность фильтра, эффективность фильтрации. ресурс работы, а следовательно, технические характеристики фильтра.

Наиболее близким решением по технической сущности является фильтр, содержащий боковые крышки с опорными выступами, входной и выходной каналы, между боковыми крышкамиустановлен вкладыш s виде полого цилиндра с входной и выходной полостями, которые разделены вертикальной перегородкой, в полостях между опорными сетками,, Ы„„1755894 А1 (я)ю В 01 О 46/54 (54) ФИЛЬТР (57) Использование: к области микрофильтрации газообразных и других сред в процессах микроэлектроники и других областях. Сущность изобретения: выполнение вкладыша с кольцевой проточкой обеспечивает воэможность растекания газа по поверхности вставки, а выполнение вставки кольцевой и гаэопроницаемой позволяет производить равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, независимо ot объемного расхода фильтруемого газа. 1 з,п. ф-лы, 2 ил. расположены основной и дополнительный фильтрующие элементы. Во вкладыше пре- 7, дусмотрены входные и выходные каналы.

Связанное с наличием каналов распределение газового потока создает благоприятные условия для более равномерного его распределения. Однако скорость газа на по- ф верхности фильтрующих элементов остается переменной. Это объясняется неравномерно, стью и различием условий подачи элементов, а также различием гидравлических сопротив- (у лений основной и дополнительной ступени у фильтрации.

Все это приводит к снижению пропускной способности фильтра. При этом вкла- «О дыш имеет достаточно сложную форму, что Фь лриеодит K усложнению есее конструкции фильтра, Целью изобретения яеляется лоенюе- е ние пропускной способности фильтра при сохранении эффективности фильтрации.

Эта цель достигается тем, что фильтр, содержащий вкладыш с входным и выходным каналами для газа, боковые крышки с опорными выступами и фильтрующие элементы, снабжен газопроницаемой встав1755894 кой, размещенной между фильтрующими элементами, вкладыш выполнен с кольцевой проточкой, соединенной с входным каналом, при этом вставка установлена под проточкой, а ее ширина превышает ширину проточки, Эта цель достигается также и тем, что вставка выполнена в виде кольца из пористого материала.

На фиг . 1 йредставлен общий вид фильтра; на фиг, 2 — сечение А-А на фиг. 1.

Фильтр соДержит вкладыш 1 с входным

2 и выходным 3 кайалами, боковые крышки

4 и 5 с опорными выступами 6 и зазором 7.

Между ними во вкладыше 1 выполнена кольцевая проточка 8, соединенная с входным каналом 2, Под проточкой 8 симметрично размещена газопроницаемая кольцевая вставка 9 между фильтрующими элементами из пористого материала 10 и 11 и выполнена в виде кольца.

Фильтр работает следующим образом, Фильтрующий газ поступает через входной канал 2 вкладыша 1, затем в кольцевую проточку 8, из нее проходит через газопроницаемую кольцевую вставку 9, фильтрующие элементы 10 и 11, поступает в зазор между опорными выступами и затем в выходной канал 3 вкладыша 1, Снабжение газопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, выполнение ее кольцевой и размещение под проточкой с шириной, превышающей ширину проточки, обеспечивает равномерную подачу газа на фильтрующие элементы, практически независимо от обьемного расхода фильтруемого газа, а это повышает riponyскную способность фильтра при сохранении эффективности фильтрации..

Выполнение во вкладыше кольцевой проточки, соединенной с входным каналом, обеспечивает возможность равномерного растекания газа по поверхности вставки, что

5 также повышает пропускную способность фильтра при сохранении эффективности фильтрации.

Выполнение газопроницаемой вставки из пористого материала, например из пори10 стой нержавеющей стали, позволяет еще более увеличить равномерность распределения газовых потоков на фильтрующих элементах и, следовательно, повышает пропускную способность фильтра.

15 Кроме этого, предлагаемая конструкция фильтра обеспечивает повышение em срока службы за счет осуществления грубой фильтрации потока самой пористой вставкой, а также за счет более простого выполнения

20 вкладыша упрощена и сама конструкция фильтра.

Фсрмула изобретения

1. Ф ильтр, содержащий вкладыш с вход25 ным и выходным каналами для.газа, боковые крышки с опорными выступами и фильтрующие элементы, о т л и ч а ю щ и йс я тем, что, с целью повышения пропускной способности фильтра при сохранении

30 эффективности фильтрации, фильтр снабжен гаэопроницаемой вставкой, размещенной между фильтрующими элементами, вкладыш выполнен с кольцевой проточкой, соединенной с входным каналом, при этом

35 вставка установлена под проточкой, а ее ширина превышает ширину проточки;

2. Фильтр по и. 1, отличающийся тем, что вставка выполнена в виде кольца из пористого материала, 40

1755894

Составитель Н.Ковалева

Техред M.Моргентал Корректор П.Гереши

Редактор А.Зробок

Производственно-издательский комбинат "Патент", r. Ужгород, ул.Гагарина, 101

Заказ 3039 Тираж Подписное

8НИИПИ Государственного комитета по изобретениям и открытиям при ГКНТ СССР

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., 4/5