Способ функционального контроля интегральных схем
Изобретение относится к микро- , зондовой технике. Цель - повьпление достоверности контроля. Она достигается тем, что в способе функционального контроля интегральных схем (ИС) с помощью специального устройства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтрольное У микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повышает контрастность регистрируемой карты логических состояний ИС. Способ реализуется в У, содержащем электронно-оптическую колонну РЭМ с камерой образцов 1, буферный уси-. литель 2, блок (Б) 3 выборки-хранения , Б 4 вычитания, фильтр 5 низких частот, тактовый генератор 6, Б 7 § управления аналоговыми ключами и видеоконтрольное У 8. Изобретение может быть использовано для контроля работоспособности ИС. 1 ил. W С
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК (51) 4 С 01 R 31/28
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Н A ВТОРСНОМ У СВИДЕТЕЛЬСТВУ
Г
®С1 б" 1)» »1 ь о» б .";3 "" 4
ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3896097/24-21 (22) 15.05.85 (46) 23.01.87. Бюл. N -3 (71) Московский институт электронного машиностроения (72 ) Ю. В е Змеев, А. В . Сув ори нов, A.Н.Тихонов и С.Ю.Шахбазов (53) 621.317.799 (088.8) (56) Практическая растровая электронная микроскопия. Сборник. Пер. с англ. — М.: Мир, 1978, с. 275. (54) СПОСОБ ФУНКЦИОНАЛЬНОГО КОНТРОЛЯ
ИНТЕГРАЛЬНЫХ СХЕМ (57) Изобретение относится к микрозондовой технике. Цель — повышение достоверности контроля. Она достигается тем, что в способе функционального контроля интегральных схем (ИС) с помощью специального устройSU, 12 5414 А1 ства (У) из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах
I образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтрольное У микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повышает контрастность регистрируемой карты логических состояний ИС. Способ реализуется в У, содержащем электронно-оптическую колонну РЭМ с камерой образцов 1, буферный уси-. литель 2, блок (Б) 3 выборки-хранения, Б 4 вычитания, фильтр 5 низких частот, тактовый генератор 6, Б 7 ф управления аналоговыми ключами и видеоконтрольное У 8. Изобретение может быть испольвовеио Лля коитро- Сею ля работоспособности ИС. 1 ил.
Внииа
1285414 2
Тираж 730 Подписное
ВНИИПИ Заказ 7640/48
Произв.-полигр. пр-тие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4
Изобретение относится к микроэондовой технике и может быть использовано для контроля работоспособности интегральных схем (ИС) .
Цель изобретения — повышение до,— стоверности контроля за счет увели— чения контрастности при регистрации карты логических состояний ИС, Поставленная цель достигается тем, что с помощью специального устройства из сигнала, несущего информацию о топологии и потенциалах образца, исключается сигнал, соответствующий топографическому контрасту схемы, в результате чего на видеоконтрольное устройство микроскопа поступает видеосигнал, несущий информацию только о потенциалах образца, что повышает контрастность регистрируемой карты логических состояний ИС.
На чертеже приведена блок-схеМа устройства, реализующего предлагаемый способ. 25
Устройство содержит электроннооптическую колонну 1 РЭМ с камерой образцов, буферный усилитель 2, блок
3 выборки-хранения (БВХ), блок 4 вы- 3{) читания, фильтр 5 низких частот (ФНЧ)
1 тактовый генератор 6, блок 7 управления аналоговыми ключами, видеоконтрольное устройство (ВКУ) 8.
Блок 1 электрически связан с блоком 7 и усилителем 2, последний в свою очередь связан с блоками 4 и
3. Блок 3 управляется блоком 7, который работает от тактового генератора 6 и связан с блоком 4. Сигнал с блока 4 вычитания через ФНЧ 5 поступает на ВКУ 8.
Тактовый генератор 6 вырабатывает импульсы частотой на несколько порядксв больше, чем частота разверт45 киэлектронного луча, т.е. 80-150 кГц.
Они поступают на блок 7 управления, - который формирует последовательность управляющих импульсов, поступающих в противофазе на БВХ 3 исхему управления режимом исследуемой ИС. B момент, когда включен аналоговый ключ блока 3, на его выходе запоминается величина видеосигнала, соответствующая отключенной ИС и на выходе блока
4 вычитания формируется нулевое на— пряжение вследствие того, что вход— ные величины, поступающие на него совпадают. На следующем такте аналоговый ключ блока 3 размыкается и управляющее напряжение поступает на исследуемую ИС. Величина видеосигнала, поступающая на вход блока 4 вычитания, изменяется согласно карте логических состояний ИС, а величина сигнала на выходе блока 3 остается равной величине видеосигнала, соот— ветствующего отключенной ИС. Поэтому на выходе блока 4 формируется напряжение, соответствующее разности видеосигналов отключенной и включен— ной ИС. На следующем такте картина повторяется. Таким образом, вычитание видеосигнала происходит практи-. чески в одной точке и формируемая карта логических состояний содержит в себе информацию лишь о потенциалах ИС.
Формула из о бр ет ения
Способ функционального контроля интегральных схем, заключающийся в том, что на испытуемую интегральную схему подают напряжение питания и входное тестовое воздействие, сканируют поверхность интегральной схемы острофокусированным пучком электро- нов, регистрируют интенсивность вторичной электронной эмиссии и преобразовывают ее в электрический сигнал, формируют изображение карты логических состояний и контролируют ее параметры, о т л и ч а ю щ и й— с я тем, что, с целью повышения достоверности контроля, запоминают величину полученного электрического сигнала в каждой точке, отключают питание интегральной схемы, регистрируют вторичную электронную эмиссию, преобразуют ее в электрический сигнал, который вычитают иэ запомненного, по полученной разности формируют изображение карты логических состояний,
