Способ изготовления датчика холла

 

Изобретение относится к технике измерения магнитных полей. Цель - повышение точности измерения и повышение его стабильности. Способ изготовления датчика Холла реализован в устройстве, имеющем пластину Холла 2, на которой размещены токовые (Т) 4 электроды 1, холловские (X) злектро ды 3 и X контакты 4, внешний источник питания, датчик, измеритель напряжения (И). Цель достигается тем, что, определяя X контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазерный рез (ЛР) 5 в сторону Т электрода I с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного II Холла, начиная ЛР 5 от середины X злектрода 3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного Н Холла заданной минимальной величины. Если при этом оно не достигнуто, то дополнительно проводят ЛР 5 от середины X электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону Т электрода 1 с меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая, как в первом случае. Тем самым добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла . Изобретение позволяет снизить остаточное Н Холла до 0,01 мВ и в два раза увеличить его стабильность. I ил. i (Л

СОЮЗ С08ЕТСНИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

А1 (19! (И) (51) 4 G01 R33 06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

RO ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТНРЫТИЙ

Н A BT0PCH0MY СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 39! 4179/24-21 (22) 24.06.85 (46) 15,02.87. Бюп. Р 6 (7!) Отделение Всесоюзного научноисследовательского института электромеханики (72) Г.E.Ïoðòíoé и О.А.Болотин (53) 621.3!7.44(088.8) (56) Cote R,Е. et а1 "Effects of

laser trimming on thick film resistor stability", Circuits manufacturing, 1977, v. 17, У 7, р р.i4-23.

Овсеевич В.Л., Портной Г.Я. и др.

Электротехническая промьппленность.—

Сер, "Технология электротехнического производства". 1979, Р 10„ с.910. (54) СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ДАТЧИКА

ХОЛЛА (57) Изобретение относится к технике измерения магнитных полей. Цель— повышение точности измерения и повышение его стабильности. Способ изготовления датчика Холла реализован в устройстве, имеющем пластину Холла

2, на которой размещены токовые (Т}

3 У электроды 1, холловские (Х) электроды 3 и Х контакты 4, внешний источник питания, датчик, измеритель напряжения (Н). Цель достигается тем, что, определяя Х контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазерный pes (ЛР) 5 в сторону Т электрода l c большим потенциалом при одновременном измерении остаточного Н Холла, начиная ЛР 5 от середины Х электрода 3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного Н Холла заданной минимальной величины, Если при этом оно не достигнуто, то дополнительно проводят ЛР 5 от середины Х электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону Т электрода 1 с меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая, как в первом случае. Тем самым добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика Холла. Изобретение позволяет снизить остаточное Е! Холла до 0,01 мВ и в два раза увеличить его стабильность.

1 ил °

1290215

Изобретение относится к технике измерения магнитных полей и может быть использовано для изготовления высокоточных и стабильных датчиков

Холла. 5

Целью изобретения является повышение точности путем снижения остаточного напряжения Холла и повышение его стабильности.

На чертеже представлена схема t0 датчика Холла.

К токовым контактам 1 расположенным на пластине Холла 2, подключен внешний источник питания, создающий ток через датчик, а к холловским электродам 3, расположенным в области холловских контактов 4, подключен измеритель напряжения; лазерный рез показан цйфрой 5 °

В отсутствие внешнего магнитного поля датчик Холла беэ лазерного реза 5, включенный в измерительную схему, имеет остаточное напряжения Холла, связанное с неэквипотенциальностью Холловских контактов 4, что также эквивалентно несбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика, Определяя холловский контакт 4 с большим потенциалом, проводят лазер30 ный реэ 5 в сторону токового электрода 1 с большим потенциалом при одновременном измерении остаточного напряжения Холла, начиная лазерный реэ

5 от середины холловского электрода 35

3 перпендикулярно линиям тока и заканчивая его вдоль линий тока при достижении остаточного напряжения

Холла заданной минимальной величины, Если при этом не достигнуто минималь- 0 ное значение остаточного напряжения

Холла, то дополнительно проводят лазерный реэ 5 от середины холловского электрода 3 с меньшим потенциалом в сторону токового электрода 1 с 45 меньшим потенциалом, начиная его перпендикулярно линиям тока и заканчивая вдоль линий тока при достижении остаточного напряжения Холла задан ной минимальной величины. Тем самым SO добиваются сбалансированности моста внутренних сопротивлений датчика

Холла. Лазерные резы проводят вне активной области пластины Холла, не нарушая входного сопротивлений дат- 55

ВНИИПИ Заказ 7896/42

Произв.-полигр. пр-тие, r. чика и соответственно его режим работы.

Начало лазерного реза перпендикулярно линиям тока позволяет более эффективно уменьшать остаточное напряжение Холла. Кроме того, окончание лазерного реза вдоль линий тока позволяет повысить временную и температурную стабильность датчика Холла, связанную с возникновением и развитием микротрещин при проведении лазерного реза. Микротрещины, имеющие преимущественное направление вдоль направления лазерного реза, особенно в области его окончания, оказывают меньшее влияние на входное сопротивление датчика Холла, если лазерный рез заканчивают вдоль линий тока.

Таким образом, проведение лазерного реза в соответствии с изобретением позволяет снизить остаточное напряжение Холла до 0,01 мВ, что в 5 раз меньше, чем у прототипа, а также не менее чем в 2 раза позволяет увеличить стабильность датчика Холла.

Изобретение допускает автоматизацию изготовления датчика Холла.

Фор мул а из обретения

Способ изготовления датчика Холла, включающий изготовление пластины Холла, проведение лазерного реза на пластине Холла при одновременном измерении остаточного напряжения

Холла,отличающийся тем, что, с целью повышения точности путем снижения остаточного напряжения

Холла и повышения его стабильности, лазерный реэ ведут от центра холлов(/ ского электрода с большим потенциалом остаточного напряжения Холла, начиная его перпендикулярно линиям тока и направляя в сторону токового

Ф электрода с большим потенциалом, или лазерный рез ведут от центра холловского электрода с меньшим потенциалом остаточного напряжения

Холла, начиная его перпендикулярно линиям тока и направляя в сторону токового электрода с меньшим потенциалом, причем лазерный рез проводят вне активного участка пластины Холла.

Тираж ?52 Подписное

Ужгород, ул ° Проектная, 4