Способ изготовления тонкослойных непроволочных электрических сопротивлений

 

№ «134306

Класс 21с, 54вв

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная группа. М 91

Б. А, Бочкарев

СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ТОНКОСЛОЙНЪ|Х НЕПРОВОЛОЧНЫХ

ЭЛЕКТРИЧЕСКИХ СОПРОТИВЛЕНИЙ

Заявлено 14 марта 1960 г. за № 658335/24 в Комитет по делам изобретений и открв тпн при Совете Мш ветров СССР

Опубликова в «Ьюллетене изобретении» ¹ 2-1 за 1960 г.

Общим недостатком известных типов тонкослойных непроволочных электрических сопротивлений является то, что увеличение сопротивления неизбежно связано с уменьшением толщины проводящего слоя

Применение для получения проводящего слоя HQBblx оолее высокоомных материалов (силицидов железа, никеля и хрома) позволило увеличить толщину проводящего слоя высокоомных сопротивлений до нескольких сотых долей микрона. Настоящее изобретение относится к способам изготовления таких сопротивлений из металлосилнциевых сплавов. Предлагается в состав металлосилициевых сплавов вводить лантзноиды в количестве до 20, Введение лантаноидов позволяет изготовлять тонкослойные сопротивления с высоким удельным электрическим сопротивлением проводящего слоя и обеспечивает возможность получения весьма малой зависимости температурного коэффициента сопротивления (ТКС) от температуры, Вследствие того, что лантаноиды обладают температурами самовоспламенения значительно ниже температур плавления ингредиентов, входящих в наиболее употребительные для непроволочных сопротивлений системы металлосилиция, введение их в общий сплав представляет известные технические трудности. Поэтому предлагается к порошку металлосилиция. предназначенному к возгонке в вакууме, добавлять некоторое количество порошка окисла лантаноида, который вводится в проводящий металлосилициевый слой. Такая смесь порошков после тщательного перемешивания наносится на испаритель в количестве, обеспечивающем требуемую толщину проводящего слоя. По достижении в металлизационном приборе вакуума порядка 10 4 .ял испаритель нагревается электрическим током, в результате чего нанесенная на него порошковая смесь плавится и возгоняется, покрывая изоляционные основания сопротивлений, .находящихся в вакуумной камере. В процессе плавления и возгонки между окислом лантаноида и кремнием, входящим в металлосилиций, протекает реакция типа

М 134306

Предмет изобретения

1. Способ изготовления тонкослойных непроволочных электрических сопротивлений из металлосилициевых сплавов, отличающийся тем, что, с целью повышения удельного сопротивления проводящего слоя, в состав указанных сплавов вводят лантаноиды в количестве до 20%.

2. Способ по п. 1, отличающийся тем, что проводящий слой получают путем возгонки в вакууме механической смеси порошков металлосилиция и окислов лантаноидов.

Редактор В. М. Парнес Техред А. А Камышникова

Корректор О. Филиппова

Поди. к пея. 10.11-6! г

Зак. 1593

Формат бум. 70К108 l>s

Тираж 900

LIETH при Комитете по делам изобретений и при Совете Министров СССР

Москва, Центр, М. Черкасский пер., д.

Объем 0,17 усл. п. л.

Цена 3 Ko!l. открытий

2/6

Типография ЦБТИ Комитета по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР, Москва, Петровка, 14.

ЛаОв 4Si=ЛаЯз+2ЯО

При этой реакции получающиеся силицид лантаноида и моноокись кремния испаряются одновременно с нанесенным на испаритель металлосилицием. Для придания проводящему слою необходимых электрических свойств он подвергается кратковременной (10 — 30 мин) прокалке при температуре 700 — 800 с повышением температуры и длительности прокалки (повышается положительный ТКС слоя), Количество окислов лантаноида, вводимых в порошок металлосилиция, зависит от состава последнего и от того, какой:применяется лантаноид.