Вакуумная установка
Изобретение lui.iBo.uie мон1 1сч1ь iM.i;. ix HocTi, :)амера давления. Д.пя того ycip-iu) : для н; мереиня давления вьшолнен н вню конгакгно1 0 датчика 4, подключенного к внешней интегрирующей из.мери гельной не ни () Датчик 4 расно. южен с fio (можностыо взаимодействия с занорнмч :),(M Г) обратного кланана 2, усган.овленно D на вы ходе вакуумного насоса I. floc.ie выор(ча иорции откачиваемой среды клапан 2 .(а крывается, за.мыкая контакты .к пчика 4, iiin в цени () ипзникаег нмг;. |1ч-ныи ии.. Длительность нмчу.чьс,; чани ... or не личин i/ . Шнления на нас;,.-;. I и. (Л е САЗ со 00 а:
СОЮЗ СОВЕТСКИХ
СОЩ4АЛИСТИЧЕСКИХ
РЕСПУБЛИК
„„SU„„1341386
А1 (я) 4 04 (. 2 /О-
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ
К А BTOPGKOMY СВИ4ЕТЕЛЬСТВУ б — »
ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР
ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 3905124 )25-06 (22) 05.04.85 (46 ) 30. 09.87. Ь »о. . ¹ 36 (71) Мо< ковский и»! кенерно-физический институт (72) В. П. Шесгак и A. (:. Пряхин (53) 66.0<(3.4 (088 8) (56) Пауэр b.. 1,. Б!.!соковакуумные откачные устройства. М.: Энергия, 1969, с. 145. рис. 2 -23а.
154! 1ИКГ М11ЛЧ М;ТЛН(. И.Л (5) < 1 11 <0(>I)< T<. II II< II<)ив<).!я с l «)II »I< )I t, >«! <, НО»ЛЬ )аМЕра ааВ.!Еиня 1Ля эГОГ<> Гр-и ) лля !1:!."!ер(ни я «и в !< II II >I N) 111<).11!(II внегнней интегрирун>!це!1 изм< ри гс,п,н<>11 !ц пи (> 1»1тчик 4 распо i<)A«п (во <и<> кн<и г! к> взаимодействия < запор> ым э.!(и« ï<>м обратного клапана 2, ус T;II! >в !(и>!<)г > н«н;. ходе вакуумного васо< а 1 (I<)(.I< пыбр<;,;! порции откачиваемо»1 (р(ды к.>;1;! III 2 з;> крыв(!ется, замыкая I <)!11а>.ть> 1:!1 !ил,l 4, и( это"; в цепи 6 и >апик;!(1 пм»: .
Длительность им<» лье,: з;!ни.:1< ); ьч .!;1!!. I(»II »I на в . );I(!! i<;t. I 11
1341386
ФО1) мУли u::IîF)Ð(теииЯ (. »с и в> (ел .М> К ап и ни н
Релактор М. Бандура Текред .1 Вере(Ьорректо!> У> 11ожо
Заказ 4417/40 Тираж !>74 I1(> (èèñí(>(ВНИИПИ Государственного ко>литет < (.Т> н< ((.>ак. н>ос)р(тенни» !.ре,— н»
113035, Москва, Ж- -35, ;. (> (;,.>i (; 6, д 1!)
Производственно-полнграфинеско(пр:дпрн>пни, !. Уж! >1 д, )л 1,ро(к> нии, 4
Изобретение относится к вакуумной технике, в частности к вакуумным установкам.
Цель изобретения — повышение надежности замера давления. 5
На чертеже изображен ротор ный вакуумный насос вакуумной установки с устройством для измерения давления разр«жения, продольный разрез.
Вакуумная установка содержит сооб!ценный с вакуумной камерой роторный вакуумный насос 1, на выходе которого установлен обратный клапан 2 и устройство 3 для измерения давления разрежения, выполненное в виде контактного датчика 4, рап!оложенного с возможностью взаимодействия с запорным элементом 5 обратного клапана 2, и снабженное внешней интегрируюп!ей измерительной цепью 6, подключенной к к!Ht.dKTному датчику 4.
Вакуумная установка рабоra«t сг!«дую)цим образом.
При работе вакуумной уста!!Овки роторным вакуумным насосом 1 всасывается, затем сжимается и выбрасываегс H чсре:) Обратный клапан 2 некоторое колич««во (TKa чиваемой среды. При этом обратный клапан 2 поднимается и размыкает контакты,)атчика 4 устройства 3 для измер«ния давления разрежения. 11(сле выброса порции Огкачиваемой среды клапан 2 О !у«кается, занимая прежне(положение, il ко))такты датчика 4 замыкаются. ВО вн ill!I(и и!)гегриру!о!цей измерительной II! пи 6 возникает им!!ульсныи тОК, ПРИЧЕМ ДЛИтЕ(!1!)о«т<Ь ИМПУЛЬСа тОКа Зависит От вре лени нахож l(ния ко)лт!)ктно! О дат IHKd 4 и в за.лкнутом состоянии
Указанное время I . Вакуумная установка. содержащая вакуумную камеру. сообщенный с ней роторный Ва к>< 3 м 1 1 ы Й н (1(О(, 11 t>)>I#()))t Ki>70ÐÎ!(>, (. Гi) H0I3лс ны Обрагный кл;)нан H у("гройст и) для измер(ния данл. I!>!H 1)()зр«кения, <)) lu><à)<>u(аяся !ем, !то, с цельк) Ilot3I IIII«ния надежности )амера давления, устройство для измерения давления выполнено в вид«конт!)ктного датчика, рис Оложенного с возможнОсч I>)() в IdHмодеист))и я с )а ft()1)HI>t м эч(. ментом О61 атного кл(! н:)на, и сн !)F! Ж(но 13H(. шней инг()рируюшей изм(ритечьно)) ц(пьк), подклк) !виной к контактному датчику.
