Устройство для управления режимом электронно-лучевого испарителя

 

1. Устройство для управления режимом электронно-лучевого испарителя, содержащее источник постоянного напряжения, отрицательный вывод которого через по меньшей мере трехэлектродную электронную лампу подключен к катоду электронной пушки, датчик режима работы, первый и второй выходы которого соединены с соответствующими входами блока сравнения, связанного с управляющим электродом электронной лампы через регулятор режима испарения, содержащий гальваническую развязку, управляющий выпрямитель и ключевой элемент, отличающееся тем, что, с целью повышения качества покрытия путем стабилизации энергетического режима работы испарителя, регулятор режима испарения дополнительно снабжен элементом выборки и хранения информации, первый вход которого является входом регулятора режима испарения, второй вход соединен с выходом кварцевого генератора, а выход через решающий усилитель - со входом генератора прямоугольных импульсов с регулируемой скважностью, выход которого соединен с первым входом схемы 2И-НЕ, компаратором, вход которого соединен со вторым входом решающего усилителя и входом элемента выборки и контроля информации, а выход - со вторым входом схемы 2И-НЕ, выход схемы 2И-НЕ через последовательно соединенные гальваническую развязку, усилитель и ключевой элемент соединен со входом управляющего выпрямителя, выход которого является выходом регулятора режима испарения.

2. Устройство по п.1, отличающееся тем, что датчик режима работы представляет собой короткозамкнутый волновод, выполненный в виде прямоугольной камеры с расположенными друг против друга на узких стенках окнами, симметрично между которыми установлена металлическая лента в одной плоскости с которой в широкой стенке камеры встроены два СВЧ-коаксиальных ввода, причем к первому вводу, являющемуся первым выходом датчика, подключены СВЧ-генератор и детектор, а ко второму, являющемуся вторым выходом датчика, - детектор.



 

Похожие патенты:

Изобретение относится к злектротёхиике

Изобретение относится к электротехнике , а именно к установкам для нагрева тлеющим разрядом

Изобретение относится к термической и химико-термической обработке

Изобретение относится к области химического машиностроения и может быть использовано при получении тонкодисперсных материалов в химической и металлургической промышленности плазмохимическим способом

Изобретение относится к органическому и неорганическому полимерному листовому материалу, в частности к пленке, тканому или нетканому волокну, способу улучшения характеристик поверхности такого материала, способу генерирования плазмы тлеющего разряда для модифицирования поверхностных свойств органических и неорганических полимерных материалов и к устройству для инициирования плазмы тлеющего разряда

Изобретение относится к нагревательной технике и может быть использовано для нагрева поверхностей плит, утюгов, помещений, для технологического нагрева особо чистых элементов, сушки материала и других бытовых целей

Изобретение относится к электротермическому машиностроению, в частности к установкам для ионного азотирования
Наверх