Устройство для обработки оптических поверхностей
Изобретение относится к ионной технологии формирования поверхности оптических деталей. Целью изобретения является повышение качества обрабатываемой поверхности при сохранении высокой производительности процесса обработки. Для достижения цели в устройство, содержащее вакуумную камеру 4 с размещенными в ней в устройстве 6 крепления обрабатываемым изделием 5, ионным источником 1, установленным на платформе 2 привода 3 перемещения, блок 8 управления и блок 9 сравнения. В состав последнего введен блок 12 сравнения по скорости распыления, сигнал с которого после сравнения в блоках 10, 11 с заданным по программе сигналом поступает на блок 14 управления ионным источником, входящей в состав блока 8. При работе устройства в процессе распыления поверхности сигнал, пропорциональный глубине распыленного слоя, от устройства 7 контроля поступает в блок 13 сравнения по глубине, а из него - в блок 12 сравнения по скорости распыления поверхности. Сравнение в последней блоке с опорным сигналом, задаваемым программным блоком 15, позволяет получить сигнал управления мощностью ионного пучка. Это позволяет производить программную обработку поверхности изделия 5 с максимальной производительностью и при этом исключить дефекты поверхности, связанные с тепловыми нагрузками от ионного пучка. По заданной программе ионный координатный блок 16 с помощью привода 3 обеспечивает равномерную обработку всей поверхности изделия 5. 1 ил.
Изобретение относится к ионной технологии формообразования поверхностей высокоточных оптических деталей. Цель изобретения - повышение качества обрабатываемой поверхности при сохранении высокой производительности процесса обработки. На чертеже представлена схема предлагаемого устройства для обработки оптических поверхностей изделий. Устройство содержит ионный источник 1, базовую платформу 2 привода 3 перемещения, вакуумную камеру 4, обрабатываемое изделие 5, устройство 6 крепления обрабатываемого изделия, устройство 7 контроля, блок 8 управления, блок 9 сравнения, включающий измерительный преобразователь 10, калибровочный блок 11, блок 12 сравнения по скорости распыления, блок 13 сравнения по глубине распыленного слоя, входящие в состав блока 8 управления блок 14 управления ионным источником, программный блок 15 управления и координатный блок 16. Устройство работает следующим образом. По программе, задаваемой программным блоком 15 управления, в блоке 8 управления формируются сигналы для координатного блока 16, блока 14 управления ионным источником, а также блоков 11, 12, 13 блока 9 сравнения, определяющие исходное положение привода 3 перемещения ионного источника 1, укрепленного на платформе 2, относительно обрабатываемого изделия 5 и уровни опорных сигналов в блоке сравнения. После запуска ионного источника 1 в процессе обработки поверхности изделия 5 устройство 7 контроля выдает в блок 9 сравнения сигнал, пропорциональный толщине распыленного слоя. Помимо сравнения этого сигнала с опорным в блоке 13 сравнения по глубине распыляемого слоя в блоке 12 он преобразуется в сигнал, пропорциональный скорости распыления, и сравнивается с соответствующим опорным сигналом. Сигнал сравнения из блока 12 сравнения по скорости распыления поступает в блок 14 управления ионным источником, в котором в соответствии с этим сигналом осуществляется регулировка мощности ионного пуска, поддерживаемая на уровне, соответствующем заданной программе. В соответствии с ней же происходит обход ионным источником всей обрабатываемой поверхности изделия 5. При этом использование системы сравнения по скорости распыляемого слоя обеспечивает режим работы источника с максимально возможной мощностью пучка, определяемой программой, при исключении различного рода дефектов поверхности от перегрева пучком, что и определяет повышенное качество обработки при сохранении высокой производительности процесса.
Формула изобретения
УСТРОЙСТВО ДЛЯ ОБРАБОТКИ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ изделий, содержащее вакуумную камеру с размещенным в ней ионным источником, снабженным приводом перемещения, приспособлением для крепления обрабатываемого изделия с приводом вращения его вокруг собственной оси, систему контроля за формообразованием обрабатываемой поверхности, блок управления, выходы которого соединены с ионным источником, приводом его перемещения и блоком сравнения, а вход блока управления соединен с выходом системы контроля через блок сравнения, отличающееся тем, что, с целью повышения качества обрабатываемых поверхностей при сохранении высокой производительности процесса обработки, в состав блока сравнения включена схема сравнения по скорости процесса распыления, выход которой соединен с системой управления мощности ионного источника в блоке управления.РИСУНКИ
Рисунок 1
