Способ контроля толщины пленки

 

Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий . Цель изобретения - повьшение точности контроля толщины пленки достигается обеспечением возможности измерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения . При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыляемого на один участок образца, относительно вещества, напыляемого на другой участок образца. Образец освещают монохроматическим светом, измеряют интенсивности пучков, отраженньсх или прошедших оба участка образца, задают контрольную толщину, а коэффициент модуляции определяют «по заданной толщине. При достижении интенсивностей значений, удовлетворяющих установленным соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению. 1 3.п. ф-лы. (Л

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (5D 4 С 01 В 11/06

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМ,Ф СВИДЕТЕЛЬСТВУ (21) 4073791/24-28 (22) 16.04.86 (46) 15.04,88. Бюл, М - 14

ГОСУДАРСТ8ЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (71) Научно-производственное объединение "Система" и Всесоюзный научноисследовательский институт метрологии измерительных и управляющих систем (72) M.Ë,Tðóíoâ (53) 531.717(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

8 216275, кл. G 01 В 11/06, 1968. (54) СПОСОБ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПЛЕНКИ (57) Изобретение относится к измерительной технике и может использоваться для контроля толщин оптических покрытий. Цель изобретения — повышение точности контроля толщины пленки—

„„SU„„i 388709 А1 достигается обеспечением возможности измерения толщин, не кратных четверти длины волны контролируемого излучения. При напылении вещества на подложку и контрольный образец модулируют количество вещества, напыляемого на один участок образца, относительно вещества, напыпяемого на другой участок образца. Образец освещают монохроматическим светом, измеряют интенсивности пучков, отраженных или прошедших оба участка образца, задают контрольную толщину, а коэффициент модуляции определяют по заданной толщине ° При достижении интенсивностей значений, удовлетворяющих уста- . g новленным соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению.

1 э.п. ф-лы. 1388709 где

55 ком;

Изобретение относится к измерительной технике, точнее к способам измерения и контроля толщин оптических покрытий в процессе их изготов5. ления, и может использоваться в оптическом приборостроении при создании одно- и многослойных покрытий, Цель изобретения, — повышение точности контроля толщины пленок — до- 10 стигается обеспечением возможности измерения толщин на кратных четверти длины волны контролирующего излучения.

Способ осуществляют следующим об- 15 разом.

Задают значение контрольной толщины. При одновременном напылении вещества на подложку и контрольный образец уменьшают путем модуляции коли- 20 чество вещества, напыляемого на один участок контрольного образца, относительно вещества, напыляемого на другой участок образца, например, с помощью вращающегося прерывателя, вы- 25 полненного в виде модулятора с прорезью, который экранирует часть образца. Толщина пленки на этой части образца будет составлять p d, где

d — толщина пленки на участке, напыленном немодулированным потоком; р — коэффициент модуляции потока вещества, определяемый при помощи импульсного лазерного излучения. В процессе напыления освещают образец мо- З5 нохроматическим светом и измеряют интенсивности пучков, пблученных при отражении или пропускании света от участков с толщинами d u pd. При этом значения интенсивностей этих 4р пучков будут определяться коэффициентами отражения или пропускания участков образца, связанными с толщиной пленки. Коэффициенты являются пе- риодическими функциями тОлщины слОев 45 осажденных на этих участках. До .напыления пленки задают необходимую контрольную толщину, по заданной толщине определяют коэффициент модуляции потока вещества и производят напыление до тех пор, пока не будут выполняться соотношения где I — интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного немодулированным потоком;

I — интенсивность света, отраженного от участка контрольного образца, напыленного модулированным потоком;

d — толщина слоя на участке, напыленном немодулированным потоком;

11 — приращение толщины слоя; в - коэффициент модуляции потока вещества (О < p с 1) .

При достижении интенсивностей значений, удовлетворяющих этим соотношениям, толщина пленки соответствует заданному значению.

Формула изобретения

1. Способ контроля толщины пленки в процессе ее напыления, заключающийся в том, что одновременно производят напыление вещества на подложку и контрольный образец, имеющий два участка, освещают образец монохроматическим светом, модулируют поток веf вещества, напыляемого на один из участков образца, измеряют интенсивности пучков, полученных при отражении или пропускании света через оба участка и по соотношению интенсивностей судят о достижении контрольной толщины, отличающийся тем, что., с целью повышения точности контроля, перед модулированием потока вещества определяют коэффициент модуляции, соответствующий контрольной толщине, а контрольную толщину считают достигнутой, когда выполняются соотношения интенсивность света, отра1 женного от участка контрольного образца, напыленного немодулированным потоком

I — интесивность света, отра1 женного от участка контрольного образца, напыпенного модулированным пото1388709

Составитель А.Гордеев

Редактор А.Ревин Техред И.Верес Корректор Н. Король.Заказ 1570/42 Тирах 680 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035 ° Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие„, r. Ухгород, ул. Проектная, 4

d — толщина слоя на участке, напиленном немодулированным потоком;

h — - приращение толщины слоя; в — коэффициент модуляции потока вещества (О (р с 1).

2. Способ по п.1, о т л и ч а юшийся тем, что для определения коэффициента модуляции потока вещества используют импульсное лазерное излучение °