Вакуумный молекулярный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В пазу 4 первого по ходу откачиваемого газа статорного диска /СД) 3 с возможностью перемещения установлена проставка, состоящая из упругих продольных гребней 7, высота которых равна глубине паза 4, дистанционных упругих гофрированных лент и раздвижных лепестковых диафрагм. Ленты раз- i (Л со ГЧ) чг /

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (191 (11) ()1) 4 Г 04 D 19 04 М »

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ енты раз15

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ НОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (61) 1267055 (21) 4087002/25-06 (22) 20.05.86 (46) 23.04.88. Бюл. 1(- 15 (7!) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им. Н.И. Лобачевского (72) В.П.Иванов (53) 621.527.8 (088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

Ф 1267055, кл. F 04 8 19/04, 1985. (54) ВАКУУМНЫЙ МОЛЕКУЛЯРНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса. В пазу 4 первого по ходу откачиваемого газа статорного диска (СД) 3 с возможностью перемещения установлена проставка, состоящая из упругих продольных гребней 7, высота которых равна глубине паза 4, дистанционных упругих гофрированных лент и раздвиж139О43 9

0,05r 5 Ь О, 143r, 20 мещены между гребнями и контактируют нижними торцами с днищем 5 паза 4, а диафрагмы размещены на верхних торцах лент. Стенки 6 паза снабжены направляющими 10, взаимодействующими с лентами. Ленты имеют высоту h, определяемую из уравнения h Ь, п/n(n +

+ 1), где n — ближайшее число, целое к выражению (Ь,/b — 1), Ь, — глубина паза первого по ходу откачиваемого газа СД; Ь вЂ” глубина пазов остальных СД. Ксрпус 1 насоса м.б. снабжен поворотным кольцом 11 с приводом, охватывающим первый по ходу откачиваемого газа СД 3, и подсоединен к проставке с воэможностью относительного перемещения. Привод кольИзобретение относится к вакуумной технике и касается усовершенствования «асоса по авт. св. 11 - 1267055.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик. 5

На фиг.l изображен молекулярный вакуумный насос, продольный разрез; на фиг.2 — поворотное кольцо с приводом; на фиг.3 - проставка;на фиг.4— то же, с раздвижными лепестковыми 10 диафрагмами.

Вакуумный молекулярный насос содержит цилиндрический корпус 1 и расположенные в нем гладкие роторные диски 2 и статорные диски 3 со спиральными пазами 4 с днищем 5 и стенками Ь, при этом пазы 4 имеют глубину, определяемую иэ соотношения где r — радиус роторных дисков 2, а паз 4 первого по ходу откачиваемого газа статорного диска 3 имеет глубину большую, чем у остальных дисков, причем первый по ходу откачиваемого газа статорный диск 3 снабжен проставкой, установленной в его пазу с возможностью перемещения и состоящей из упругих продольных гребней 7,имеющих высоту, равную глубине паза 4, размещенных между гребнями 7 дистанционных упругих гофрированных лент 8, контактирующих нижними торцами с дниna ll выполнен в виде штока и шарнир" но соединенного с ним рычага 13, жестко закрепленного на кольце. Упру. гие деформации лент обеспечивают уплотнение основания проставки с боковыми стенками 6 паза, что предотвращает обратную диффузию газа и ухудшение характеристик насоса. Диафрагмы препятствуют обратной диффузии в пределах отдельного гофра. Для каждого значения газовой нагрузки, меняющейся в процессе откачки и соразмерной с быстротой действия насоса, найдется такое положение проставки в пазах, при котором достигается наибольшая степень сжатия. 3 э.п. ф-лы, 4 ил. щем 5 паза 4, и раздвижных лепестковых диафрагм 9, размещенных на верхних торцах лент, а стенки 6 паза 4 снабжены направляющими 10,. взаимодействующими с упругими лентами 8.

Кроме того, гофрированные ленты 8 имеют высоту, определяемую иэ уравнения п

h — — — Ь

+ l 1в где n — ближайшее число к выражению

b1 (--- — — 1)

Ь, b — глубина паза первого по хо1 ду откачиваемого газа статор. ного диска;

b — глубина лазов остальных ста2 торных дисков.

Корпус 1 насоса может быть снабжен поворотным кольцом ll с приводом, охватывающим первый по ходу откачиваемого газа статорный диск 3 и подсоединен к проставке с возможностью относительного перемещения.

При этом привод кольца 11 выполнен в виде штока 12 и шарнирно соединенного с ним рычага 13, жестко закрепленного на кольце 11. Насос со" держит также входной 14 и выходной 15 патрубки.

Пток 12 может быть подсоединен через сильфон 16 к муфте 17 с винтом 18 и рукояткой 19. Винт 18

10 сопряжен г. t aö Alt ?(), вафик«nI«н:ni ной относительно корпус а 1.

На каждом статорном диске 3 можеr быть несколько спиральных назон 4.

Насос работает следующим образом.

Откачиваемый газ «ере з входной патрубок 14 поступает к спиральному пазу 4 первого по ходу откачки статорного диска 3.

Нижний роторный диск 2 перемещает газ вдоль пазов 4 с прос.тавкой с гребнями 7, разделяющих основной паз

4 на n + 1 более мелких на периферии насоса. !

Затем через радиальный зазор между роторным диском ? и поворотным кольцом I! газ диффундирует на вход второй ступени и так далее к выходному патрубку 15, откуда газ удаляется

20 вспомни ательным форвакуумным насосом, При откачке положение проставки в пазу 4 настраивается до получения минимального давления в откачинаемой камере. Настройка производится вращением винта 18 (фиг.2) вручную рукояткой 19 или двигателем (не показа«).

Винт 18 ввинчивается в гайку 20 (или вывинчивается из нее) и через муфту

17 передает поступательное движение

30 штоку 12,,который перемещает рычаг 13 вместе с кольцом II.

Поворот кольца Il вызывает перемещение проставки вдоль пазов 4. Перемещение проставки вдоль дна паза 4 обеспечивается направляющими 10 на боковых стенках 6 пазов 4. Возможность искривления проставки при движении вдоль паза обеспечивается упругостью гребней 7 и гофрированных лент 8. Упругие деформации лент 8 обеспечивают уплотнение основания проставки с боковыми стенками 6 паза 4, что предотвращает обратную диф" фузию газа и ухудшение характеристик насоса. Этому способствует покрытие

45 гофрированных лент 8 лепестковыми диафрагмами 9, которые препятствуют обратной диффузии в пределах отдельного гофра, но не препятствуют поперечным изгибам проставки, благодаря взаимной подвижности налегающих друг на друга лепестковых диафрагм 9.

При выдвижении проставки в паз 4 степень сжатия увеличивается, а быстрота откачки уменьшается. 1!ри втягивании про< кавки на периферию диска 3 степень сжатия уменьшаеTcÿ, а быстрота откачки возрастает. Пля каж" дс го значения газовой нагрузки, ме.няющейся и процессе откачки и соразмерной с быстротой действия насоса, найдется такое положение проставки в пазах, при котором достигается наибольшая степень сжатия.

Предложенная перестройка первой по ходу откачиваемого газа ступени молекулярного насоса позволяет значительно уменьшить предельное остаточное давление насоса.

С о р м у л а и з о 6 р е т е н и я

1. Вакуумный молекулярный насос по авт. св. Р" 1267055, о т л и ч а ю ш и и с я тем, что, с целью улучшения откачных характеристик, первый по ходу откачиваемого газа статорный диск снабжен проставкой, установленной в его пазу с возможностью переме" щения и состоящей из упругих продольных гребней, имеющих высоту, равную глубине паза, размещенных между гребнями дистанционных упругих гофрированных лент, контактирующих нижними торцами с днищем паза, и раздвижных лепестковых диафрагм, размещенных на верхних торцах лент, а стенки паза снабжены направляющими, взаимодействующими с упругими лентами.

2. Насос по п.1, о т л и ч а ю— шийся тем, что гофрированные ленты имеют высоту, определяемую из урав ения и

h =-- — --- Ъ

n + 1 где п — ближайшее целое число к выражению

Ь (- — - — I )

Ь

Ь, — глубина паза первого по ходу откачиваемогo газа статорного диска;

Ь вЂ” глубина пазов остальных статорных дисков.

3 ° Насос по и. 1, о т л и ч а ю " шийся тем, что корпус снабжен поворотным кольцом с приводом, охватывающим первый по ходу откачиваемого газа статорный диск, и подсоединен к проставке с возможностью относительного перемещения.

4. Насос по и. 3, о т л и ч а ю— шийся тем, что привод кольца выполнен в виде штока и шарнирно соединенного с ним рычага, жестко закрепленного на кольце.

) ) g(ll) 1 Ч

12

Фиг.2

I 39О419

977

Фиг. Я

Фиг. 4

Составитель Е.Забугин

Редактор Г. Волкова Техред Л.Олийнык Корректор И.Муска

Заказ 1754/38 Тираж 574 Подписное

БНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д, 4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г. Ужгород, ул. Проектная, 4