Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса и повысить технологичность его изготовления . Статорные диски 5 закреплены на корпусе 1 и размещены в кольцевых пазах 3. Перегородки, закрепленные на корпусе и размещенные в каждой ступени , снабжены пластинами 6 из материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора 2. Пластины 6 контактируют с боковыми стенками пазов 3 и внешней поверхностью ротора. Вследствие наличия статорных дисков и обеспечения минимальных зазоров в зоне размеще кия перегородок значительно сн11жаются обратные перетечки. Кроме того, отпадает необходимость прецизионной сборки насоса с обеспечением минимальных зазоров. 3 ил. (Л 00 4 4 СО ел с-рие.2

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК (SD 4 Р 04 D 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ

Н А BTOPCHOMV СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4060083/25-06 (22) 24.04.86 (46) 15.10.87. Бюл. N - 38 (71) МВТУ им. Н.Э.Баумана (72) Е.С.Фролов, Н.К.Никулин и N.Т.Попон (53) 621.527.8(088.8) (56) Дэшман С. Научные основы вакуумной техники. M.: Мир, 1964, с. 123. (54) МОЛЕКУЛЯРНЫЙ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение относится к вакуумной технике и позволяет улучшить откачные характеристики насоса и повысить технологичность его изготовления. Статорные диски 5 закреплены на

„„SU„„1344950 А1 корпусе и размещены в кольцевых пазах 3. Перегородки, закрепленные на корпусе и размещенные в каждой ступени, снабжены пластинами 6 из материала с пределом прочности меньшим,чем у материала ротора 2. Пластины 6 контактируют с боковыми стенками пазов

3 и внешней поверхностью ротора.

Вследствие наличия статорных дисков и обеспечения минимальных зазоров в зоне размещения перегородок значительно снижаются обратные перетечки.

Кроме того, отпадает необходимость прецизионной сборки насоса с обеспечением минимальных зазоров. 3 ил.

44950 2 ротором 2 и получан т импульс в паправлении откачки. Опи переносятся вдоль канала, образованноrn ротором

2 и статорными дисками 5 до пласти1 ны 6 в этой ступени. 1ереэ отверстие

7 молекулы газа попадают в следующую ступень и далее на сторону нагнетания насоса. Вследствие наличия статорных дисков, отделяющих ступени друг от друга, а также обеспечения минимальных зазоров в зоне размещения перегородок 4 обратные перетечки значительно снижаются, что приводит !

5 к улучшению откачных характеристик насоса. Кроме того, отсутствие необходимости прецизионной сборки насоса с обеспечением минимальных зазоров упрощает процесс сборки.

20 формула изобретения

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, установленный в нем по оси ротор 2 с кольцевыми пазами 3 на боковой поверхности, разделяющими ротор 2 на ряд ступеней, и размещенные в каждой ступени перегородки 4, закрепленные на корпусе 1. Насос дополнительно содержит стопорные диски

5, закрепленные на корпусе 1 и размещенные в кольцевых пазах 3, а перегородки 4 снабжены пластинами 6, контактирующими с боковыми стенками пазов 3 и внешней поверхностью ротора

2 и выполненными из материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора. В статорных дисках 6 между соседними перегородками выполнены отверстия 7, сообщающие отдельные ступени между собой.

Насос работает следующим образом.

После сборки насоса при плотном контакте пластин 6 с ротором 2 последний проворачивают, что приводит к образованию микрозазора вследствие истирания менее прочного материала пластины 6. При работе насоса молекулы газа, попадающие в первую ступень, взаимодействуют с быстровращающимся! 13

Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к конструкциям молекулярных вакуумных насосов.

Целью изобретения является улучшение откачных характеристик насоса и повышение технологичности его изготовления.

На фиг.1 представлен предлагаемый насос, поперечный разрез; на фиг.2 то же, продольный разрез; на фиг.3— сечение A-А на фиг.1.

Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус, установленный в нем

25 по оси ротор с кольцевыми пазами на боковой поверхности, разделяющими ротор на ряд ступеней, и размещенные в каждой ступени перегородки, закрепленные на корпусе, о т л и ч а ю— шийся тем, что, с целью улучшения откачньгх характеристик и повышения технологичности изготовления, насос дополнительно содержит статорные диски, закрепленные на корпусе

35 и Размещенные в кольцевых пазах, перегородки снабжены пластинами, контактирующими с боковыми стенками пазов и внешней поверхностью ротора и выполненными иэ материала с пределом прочности меньшим, чем у материала ротора.

1344950

Составитель В. Кряковкин

Редактор Т.Парфенова Техред И Попович о

К ч . орректор Л.Патай

Заказ 4901/35

Тираж 570 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Раушская наб., д. 4/5

Производственно-полиграфическое предприяти У. е, r. жгород, ул. Проектная, 4