Молекулярный вакуумный насос

 

Изобретение позволяет повысить надежность насоса. Каждая спиральная перегородка 3 статорных дисков 2 выполнена из упругого материала и снабжена лепестками. Лепестки перекрывают друг друга в радиальном направлении и имеют высоту не менее 0,5 от высоты перегородки. Такое выполнение насоса, исключает повреждение роторных дисков при аварии, так как они, касаясь перегородок, не деформируются, а лепестки после торможения восстанавливают свою форму. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

СОЮЗ СОВЕТСКИХ

СОЦИАЛИСТИЧЕСКИХ

РЕСПУБЛИК

ni> 4 F 04 Р 19/04

ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ :

Н А BTOPCHOMY СВИДЕТЕЛЬСТВУ

ГОСУДАРСТВЕННЫЙ КОМИТЕТ СССР

ПО ДЕЛАМ ИЗОБРЕТЕНИЙ И ОТКРЫТИЙ (21) 4086964/25-06 (22) 20.05.86 (46) 15.01.88. Бюл. N 2 (71) Научно-исследовательский институт прикладной математики и кибернетики при Горьковском государственном университете им. Н.И.Лобачевского (72) В.П.Иванов и В.Н.Христачев (53) 621.52(088.8) (56) Авторское свидетельство СССР

У 1265400, кл. F 04 9 19/04,. 1985.

„„Я0„„1 6 710 А1 (54) ИОЛЕКУЛЯРНЫИ ВАКУУМНЫЙ НАСОС (57) Изобретение позволяет повысить надежность насоса. Каждая спиральная перегородка 3 статорных дисков 2 выполнена из упругого материала и снабжена лепестками. Лепестки перекрывают друг друга в радиальном направлении и имеют высоту не менее 0 5 от высоты перегородки. Такое выполнение насоса исключает повреждение роторных дисков при аварии, так как они, касаясь перегородок, не деформируются, а лепестки после торможения восстанавливают свою форму. 1 з.п. ф-лы, 2 ил.

1366710

Изобретение относится к вакуумной технике и может быть использовано в молекулярньп. вакуумных насосах.

Целью изобретения является повышение надежности.

На фиг.1 показана схема вакуумно го молекулярного насоса, продольный разрез; на фиг.2 — перегородка с лепестками.

Молекулярный вакуумный насос содержит корпус 1, размещенные в нем статорные диски 2 с торцовыми спиральными перегородками 3, образующими каналы 4, вертикальный ротор 5 с магнитным подвесом 6 и роторными дисками 7, причем каждая перегородка 3 выполнена иэ упругого материала и снабжена лепестками 8, перекрывающими друг друга в радиальном направлении.

Лепестки 8 имеют высоту не менее

0,5 высоты перегородки 3.

Насос содержит также входной па-трубок 9 и выходной патрубок 10.

Молекулярный вакуумный насос работает следующим образом.

Ротор 5 вывешивается в магнитном поле подвеса 6, поддерживается на заданном уровне с помощью электронной схемы регулирования ток подвеса 6 и раскручивается электродвигателем до рабочей частоты вращения (схема и двигатель не показаны).

Откачиваемый газ поступает во входной патрубок 9, далее на вход первой ступени, образованной поверхностью нижнего статорного диска 2 и нижней поверхностью нижнего роторного диска 7, и перемещается вдоль спиральных каналов 4 от центра к периферии насоса. Затем газ диффундирует на вход второй ступени откачки, образованной верхней поверхностью нижнего роторного диска 7 и нижней поверхностью среднего статорного диска, 1ð движется от периферии к центру насоса и далее до выхода через выходной патрубок 10. В аварийной ситуации роторные диски, касаясь других перегородок 3, не деформируются, а лепест1r ки 8 после торможения восстанавливают свою форму.

Таким образом, такое выполнение насоса исключает повреждение роторных дисков при аварии, за счет чего повышается надежность насоса.

Формула изобретения

1 Молекулярный вакуумный насос, содержащий корпус, размещенные в нем

25 статорные диски с торцовыми спиральными перегородками, образующими каналы, вертикальный ротор с магнитным подвесом и роторными дисками, о т— л и ч а ю шийся тем, что, с цеЗо лью повышения надежности, каждая перегородка выполнена из упругого материала и снабжена лепестками, перекрывающими друг друга в радиальном нанаправлении, 2. Насос по п.1, о т л и ч а ю — .

35 шийся тем, что лепестки имеют высоту не менее 0 5 высоты перегородки.

1366710

Составитель Е.Забугин

Техред М.,Цидык Корректор С.Шекмар

Редактор М.Бандура

Заказ 6804/33

Тирах 574 Подписное

ВНИИПИ Государственного комитета СССР по делам изобретений и открытий

113035, Москва, Ж-35, Рауаская наб., д.4/5

Производственно-полиграфическое предприятие, г.ухгород, ул.Проектная,4