Сорбционный высоковакуумный насос

 

Эй 145297

Класс 27g, Зс

СССВ

OllVICAHVIE ИЗ0БРКТЕНИЯ

К АВТОРСКОМУ СВИДЕТЕЛЬСТВУ

Подписная грь|ппьь Лг0 129

Е. Н. Мартинсон, К. Н. Мызников, Н. М. Блинников и

В. А. Романенко

СОРБЦИОНЯЪ|й ВЫСОКОВАКУУМНЫЙ НАСОС

Заявлено 26 октября 1960 г. за № 683747/25 в Комитет по делам изобретений и открытий при Совете Министров СССР

Опубликовано в «Бк1ллетене изобретений>; Х 5 за 1962 г.

Известны высоковакуумные насосы с рабочим веществом в виде порошка, например графита.

Однако в этих насосах не обеспечивается получение порошка в насосе и охлаждение части его до температуры 196 .

Предлагаемый насос указанного недостатка не имеет. Это осуществляется тем, что в нем размещены шлифуемые на порошок стержни из указанных материалов и вращающийся шлифовальный диск.

Диск и стержни окружены экраном, охлаждаемым жидким азотом.

На фиг. 1 изображена принципиальная схема предлагаемого насоса; на фиг. 2 — корпус насоса в аксонометрической проекции.

Насос содержит неподвижный корпус 1 с коническим экраном 2 полыми стенками, внутрь которых подается азот по длинной трубке о, доходящей почти до дна экрана. Жидкий азот, поднимаясь вверх, Bblxoдит через другую трубку 4.

Такое конструктивное выполнение экрана дает возможность полностью заполнить междустенное пространство жидким азотом и обеспечить равномерность охлаждения внутри насоса. На внутренней поверхности экрана имеются желобки б шириной 5 мль, которые служат для равномерного распределения пыли, образующейся внутри конуса экрана насоса от шлифования стержней б из графита, титана и др, вращающимся на вертикальной оси диском 7. Наличие охлаждаемого жидким азотом экрана позволит работать части активной пыли при температуре порядка 196 . Это должно значительно повысить ее положительную способность по водороду, метану и инертным газам. Корпус насоса, держатели рабочих стержней и ось диска изготовляются из нержавеющей стали марки 1 X 18H9T. Материал диска избирается в зависимости от материала шлифуемых стержней, Не бывший в употреблении насос промывается чистым растворителем (бензин, четыреххлористый углерод), в него загружаются осво¹ 45297 божденные от газов посредством вакуума рабочие стержни, и насос откачивается парортутным насосом до давления

Затем насос освобождается от газов прогревом пр д у и 400 о становления в объеме при этой температуре давления не выше . р .

2.10 5 мм т. ст.

Затем насос охлаждается до комнатной температуры, в экран дается ток жидкого азота и включается мотор, вращающий шлифу щ " шли ю ий диск.

Отличительной особенностью предложенного высоковакуумного насоса является то, что его рабочее вещество в виде порошка графита, титана и других материалов получается в самом насосе, а не непрерывно загружается в него.

Для этого в насос помещены шлифовальный диск и шлифуемые стержни из указанных материалов. Кроме того, для увеличения поглотительной способности указанного порошка часть его охлаждается до температуры жидкого азота. Для чего шлифовальный диск и шлифуемые стержни окружены экраном, охлаждаемым жидким азотом.

Предмет и зоб р етения

Сорбционный высоковакуумный насос с рабочим веществом в виде порошка, например графита, отличаю щи и ся тем, что, с целью обеспечения получения порошка в насосе и охлаждения части его до температуры 196, в насосе размещены приводимый во вращение шлифовальный диск и шлифуемые на порошок стержни из указанного материала, окруженные экраном. охлаждаемым жидким азотом. К откачибаемоц ! объему Чу )45297

Составитель Е. С. Бредель

Корректор С. Ю. Цверннз

Объем 0,26 изд. л

Цена 4 коь.

Редактор Е. Г. Манежева Техред А. Л. Резник

15.((-62 г. Формат бум. 700;108 /(а

Поди. к печ.

Тираж 900

Зак 1443 при . н " и открытий

ЦБТИ при Комитете по делам изобретении и при Совете Министров СССР

Москва, Центр. М Черкасскии пер., д., . 26.

Типография 1 ф ЦВЕТИ Комитета по делам изобретений и открытий а, 14. при Совсте Министров СССР, Москва, Петровка,

Сорбционный высоковакуумный насос Сорбционный высоковакуумный насос Сорбционный высоковакуумный насос 

 

Похожие патенты:

Изобретение относится к вакуумной и криогенной технике и может быть использовано как в вакуумных насосах для получения глубокого вакуума, так и в рефрижераторах криосорбционной откачки рабочего тела, в частности для откачки 3He в рефрижераторах растворения

Изобретение относится к системам ультравысокого вакуума для обработки полупроводникового изделия, к геттерным насосам, используемым в них, и к способу обработки полупроводникового изделия
Изобретение относится к способам вакуумирования гермообъемов и преимущественно может быть использовано в холодильной, морозильной технике и устройствах кондиционирования и осушения воздуха с использованием термоэлектрических модулей на эффекте Пельтье, а также в измерительной технике, радиоэлектронной аппаратуре электровакуумных приборах и т.д
Изобретение относится к вакуумной технике, а именно к сорбционным (геттерным) насосам, и может быть использовано в вакуумных системах водородных стандартов частоты

Изобретение относится к криогенной технике, а именно к адсорбционным насосам, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газа из замкнутых объемов

Изобретение относится к насосам, работа которых основана на хемосорбции и предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенным для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов

Изобретение относится к области криогенной техники, а именно к устройствам адсорбционных насосов, предназначенных для поддержания вакуума путем поглощения молекул газов из замкнутых объемов
Наверх